ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ପ୍ରଯୁକ୍ତିର ନିରନ୍ତର ବିକାଶ ସହିତ, ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଶିଳ୍ପ ଏବଂ ଏପରିକି ଫଟୋଭୋଲ୍ଟାଇକ୍ ଶିଳ୍ପରେ, ୱାଫର ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ କିମ୍ବା ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ସିଟ୍ ର ପୃଷ୍ଠ ଗୁଣବତ୍ତା ପାଇଁ ଆବଶ୍ୟକତାଗୁଡ଼ିକ ମଧ୍ୟ ବହୁତ କଠୋର। ତେଣୁ, ୱାଫର ପାଇଁ ଗୁଣବତ୍ତା ଆବଶ୍ୟକତାଗୁଡ଼ିକ କ’ଣ? ଗ୍ରହଣ କରିବାନୀଳମଣି ୱାଫରଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, ୱେଫରର ପୃଷ୍ଠ ଗୁଣବତ୍ତା ମୂଲ୍ୟାଙ୍କନ କରିବା ପାଇଁ କେଉଁ ସୂଚକଗୁଡ଼ିକୁ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଇପାରିବ?
ୱେଫର୍ସ ମୂଲ୍ୟାଙ୍କନ ସୂଚକଗୁଡ଼ିକ କ’ଣ?
ତିନୋଟି ସୂଚକ
ନୀଳାକୃତି ୱେଫର୍ସ ପାଇଁ, ଏହାର ମୂଲ୍ୟାଙ୍କନ ସୂଚକଗୁଡ଼ିକ ହେଉଛି ମୋଟ ଘନତା ବିଚ୍ୟୁତି (TTV), ବଙ୍କା (ଧନୁ) ଏବଂ ୱାର୍ପ (ୱାର୍ପ)। ଏହି ତିନୋଟି ପାରାମିଟରଗୁଡ଼ିକ ସିଲିକନ୍ ୱେଫର୍ସର ସମତଳତା ଏବଂ ଘନତା ସମାନତାକୁ ପ୍ରତିଫଳିତ କରେ, ଏବଂ ୱେଫର୍ସର ଲହରୀ ଡିଗ୍ରୀ ମାପିପାରେ। ୱେଫର୍ସ ପୃଷ୍ଠର ଗୁଣବତ୍ତା ମୂଲ୍ୟାଙ୍କନ କରିବା ପାଇଁ କର୍ଗେସନକୁ ସମତଳତା ସହିତ ମିଶ୍ରଣ କରାଯାଇପାରିବ।
TTV, BOW, Warp କ'ଣ?
TTV (ମୋଟ ଘନତା ପରିବର୍ତ୍ତନ)
TTV ହେଉଛି ଏକ ୱାଫରର ସର୍ବାଧିକ ଏବଂ ସର୍ବନିମ୍ନ ଘନତା ମଧ୍ୟରେ ପାର୍ଥକ୍ୟ। ଏହି ପାରାମିଟର ହେଉଛି ଏକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ସୂଚକାଙ୍କ ଯାହା ୱାଫର ଘନତା ସମାନତା ମାପିବା ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ। ଏକ ଅର୍ଦ୍ଧଚାଳକ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ, ୱାଫରର ଘନତା ସମଗ୍ର ପୃଷ୍ଠରେ ବହୁତ ସମାନ ହେବା ଆବଶ୍ୟକ। ସାଧାରଣତଃ ୱାଫରର ପାଞ୍ଚଟି ସ୍ଥାନରେ ମାପ କରାଯାଏ ଏବଂ ପାର୍ଥକ୍ୟ ଗଣନା କରାଯାଏ। ଶେଷରେ, ଏହି ମୂଲ୍ୟ ୱାଫରର ଗୁଣବତ୍ତା ବିଚାର କରିବା ପାଇଁ ଏକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ଆଧାର।
ଧନୁ
ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ନିର୍ମାଣରେ ଧନୁ ଏକ ୱାଫରର ବଙ୍କାକୁ ବୁଝାଏ, ଯାହା ଏକ ଅନକ୍ଲାମ୍ପଡ୍ ୱାଫରର ମଧ୍ୟବିନ୍ଦୁ ଏବଂ ରେଫରେନ୍ସ ପ୍ଲେନ ମଧ୍ୟରେ ଦୂରତାକୁ ମୁକ୍ତ କରିଥାଏ। ଏହି ଶବ୍ଦଟି ସମ୍ଭବତଃ ଏକ ବସ୍ତୁର ଆକୃତିର ବର୍ଣ୍ଣନାରୁ ଆସିଛି ଯେତେବେଳେ ଏହା ବଙ୍କା ହୋଇଥାଏ, ଯେପରି ଏକ ଧନୁ ର ବକ୍ର ଆକୃତି। ଧନୁ ମୂଲ୍ୟ ସିଲିକନ୍ ୱାଫରର କେନ୍ଦ୍ର ଏବଂ ଧାର ମଧ୍ୟରେ ବିଚ୍ୟୁତି ମାପ କରି ପରିଭାଷିତ ହୁଏ। ଏହି ମୂଲ୍ୟ ସାଧାରଣତଃ ମାଇକ୍ରୋମିଟର (µm) ରେ ପ୍ରକାଶିତ ହୁଏ।
ୱାର୍ପ୍
ୱାର୍ପ୍ ହେଉଛି ୱେଫର୍ସର ଏକ ବିଶ୍ୱସ୍ତରୀୟ ଗୁଣ ଯାହା ଏକ ମୁକ୍ତ ଭାବରେ ଅଣକ୍ଲାମ୍ପଡ୍ ୱେଫର୍ ଏବଂ ରେଫରେନ୍ସ ପ୍ଲେନର ମଧ୍ୟଭାଗ ମଧ୍ୟରେ ସର୍ବାଧିକ ଏବଂ ସର୍ବନିମ୍ନ ଦୂରତା ମଧ୍ୟରେ ପାର୍ଥକ୍ୟ ମାପ କରେ। ସିଲିକନ୍ ୱେଫର୍ ପୃଷ୍ଠରୁ ପ୍ଲେନ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ଦୂରତାକୁ ପ୍ରତିନିଧିତ୍ୱ କରେ।
ଟିଟିଭି, ବୋ, ୱାର୍ପ ମଧ୍ୟରେ କ’ଣ ପାର୍ଥକ୍ୟ?
TTV ଘନତାରେ ପରିବର୍ତ୍ତନ ଉପରେ ଧ୍ୟାନ ଦିଏ ଏବଂ ୱେଫରର ବଙ୍କା କିମ୍ବା ବିକୃତି ସହିତ ଜଡିତ ନୁହେଁ।
ଧନୁ ମୁଖ୍ୟତଃ କେନ୍ଦ୍ର ବିନ୍ଦୁ ଏବଂ ଧାରର ବଙ୍କା ଉପରେ ଧ୍ୟାନ ଦେଇ ସାମଗ୍ରିକ ବଙ୍କା ଉପରେ ଧ୍ୟାନ ଦିଏ।
ୱାର୍ପ୍ ଅଧିକ ବ୍ୟାପକ, ଯେଉଁଥିରେ ସମଗ୍ର ୱାଫର ପୃଷ୍ଠକୁ ବଙ୍କା ଏବଂ ମୋଡ଼ିବା ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ।
ଯଦିଓ ଏହି ତିନୋଟି ପାରାମିଟର ସିଲିକନ୍ ୱେଫରର ଆକୃତି ଏବଂ ଜ୍ୟାମିତିକ ଗୁଣ ସହିତ ଜଡିତ, ସେଗୁଡିକୁ ଭିନ୍ନ ଭାବରେ ମାପ ଏବଂ ବର୍ଣ୍ଣନା କରାଯାଇଛି, ଏବଂ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ପ୍ରକ୍ରିୟା ଏବଂ ୱେଫର ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ଉପରେ ସେମାନଙ୍କର ପ୍ରଭାବ ମଧ୍ୟ ଭିନ୍ନ।
ତିନୋଟି ପାରାମିଟର ଯେତେ ଛୋଟ ହେବ, ସେତେ ଭଲ ଏବଂ ପାରାମିଟର ଯେତେ ବଡ଼ ହେବ, ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ପ୍ରକ୍ରିୟା ଉପରେ ସେତେ ଅଧିକ ନକାରାତ୍ମକ ପ୍ରଭାବ ପଡ଼ିବ। ତେଣୁ, ଜଣେ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଅଭ୍ୟାସକାରୀ ଭାବରେ, ଆମକୁ ସମଗ୍ର ପ୍ରକ୍ରିୟା ପ୍ରକ୍ରିୟା ପାଇଁ ୱେଫର ପ୍ରୋଫାଇଲ୍ ପାରାମିଟରଗୁଡ଼ିକର ଗୁରୁତ୍ୱକୁ ଅନୁଭବ କରିବାକୁ ପଡିବ, ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ପ୍ରକ୍ରିୟା କରିବାକୁ ପଡିବ, ବିବରଣୀ ପ୍ରତି ଧ୍ୟାନ ଦେବାକୁ ପଡିବ।
(ସେନ୍ସରିଂ)
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ଜୁନ୍-୨୪-୨୦୨୪