ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ସାମଗ୍ରୀରେ ତିଆରି ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ସିଲିକନ୍ ୱେଫର୍ କିମ୍ବା ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପରୀକ୍ଷା କରିବା ସମୟରେ, ଆମେ ପ୍ରାୟତଃ ବୈଷୟିକ ସୂଚକଗୁଡ଼ିକର ସମ୍ମୁଖୀନ ହେଉଛୁ ଯେପରିକି: TTV, BOW, WARP, ଏବଂ ସମ୍ଭବତଃ TIR, STIR, LTV, ଇତ୍ୟାଦି। ଏଗୁଡ଼ିକ କେଉଁ ପାରାମିଟରଗୁଡ଼ିକୁ ପ୍ରତିନିଧିତ୍ୱ କରେ?
TTV — ମୋଟ ଘନତା ପରିବର୍ତ୍ତନ
ନତମସ୍ତକ - ନତମସ୍ତକ
ୱାର୍ପ୍ — ୱାର୍ପ୍
TIR — ମୋଟ ସୂଚିତ ପଠନ
STIR — ସାଇଟ୍ ମୋଟ ସୂଚିତ ପଠନ
LTV — ସ୍ଥାନୀୟ ଘନତା ପରିବର୍ତ୍ତନ
୧. ମୋଟ ଘନତା ପରିବର୍ତ୍ତନ - TTV
ଯେତେବେଳେ ୱାଫର କ୍ଲାମ୍ପ ହୋଇଥାଏ ଏବଂ ନିକଟ ସଂସ୍ପର୍ଶରେ ଥାଏ, ସେତେବେଳେ ରେଫରେନ୍ସ ପ୍ଲେନ ତୁଳନାରେ ୱାଫରର ସର୍ବାଧିକ ଏବଂ ସର୍ବନିମ୍ନ ଘନତା ମଧ୍ୟରେ ପାର୍ଥକ୍ୟ। ଏହାକୁ ସାଧାରଣତଃ ମାଇକ୍ରୋମିଟର (μm) ରେ ପ୍ରକାଶ କରାଯାଏ, ଯାହାକୁ ପ୍ରାୟତଃ ଏହି ଭାବରେ ଦର୍ଶାଯାଏ: ≤15 μm।
୨. ନତମସ୍ତକ - ନତମସ୍ତକ
ଯେତେବେଳେ ୱାଫର ଏକ ମୁକ୍ତ (ଅନକ୍ଲାମ୍ପଡ୍) ଅବସ୍ଥାରେ ଥାଏ, ସେତେବେଳେ ୱାଫର ପୃଷ୍ଠର କେନ୍ଦ୍ର ବିନ୍ଦୁରୁ ସନ୍ଦର୍ଭ ସମତଳକୁ ସର୍ବନିମ୍ନ ଏବଂ ସର୍ବାଧିକ ଦୂରତା ମଧ୍ୟରେ ବିଚ୍ୟୁତି। ଏଥିରେ ଅବତଳ (ନକାରାତ୍ମକ ଧନୁ) ଏବଂ ଉତ୍ତଳ (ଧନାତ୍ମକ ଧନୁ) ଉଭୟ ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ। ଏହାକୁ ସାଧାରଣତଃ ମାଇକ୍ରୋମିଟର (μm) ରେ ପ୍ରକାଶ କରାଯାଏ, ପ୍ରାୟତଃ ଏହି ଭାବରେ ପ୍ରତିନିଧିତ୍ୱ କରାଯାଏ: ≤40 μm।
୩. ୱାର୍ପ୍ — ୱାର୍ପ୍
ଯେତେବେଳେ ୱାଫର ଏକ ମୁକ୍ତ (ଅନକ୍ଲାମ୍ପଡ୍) ଅବସ୍ଥାରେ ଥାଏ, ସେତେବେଳେ ୱାଫର ପୃଷ୍ଠରୁ ରେଫରେନ୍ସ ପ୍ଲେନ (ସାଧାରଣତଃ ୱାଫରର ପଛ ପୃଷ୍ଠ) ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ସର୍ବନିମ୍ନ ଏବଂ ସର୍ବାଧିକ ଦୂରତା ମଧ୍ୟରେ ବିଚ୍ୟୁତି। ଏଥିରେ ଉଭୟ ଅବତଳ (ନକାରାତ୍ମକ ୱାର୍ପ) ଏବଂ ଉତ୍ତଳ (ଧନାତ୍ମକ ୱାର୍ପ) କେସ୍ ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ। ଏହାକୁ ସାଧାରଣତଃ ମାଇକ୍ରୋମିଟର (μm) ରେ ପ୍ରକାଶ କରାଯାଏ, ପ୍ରାୟତଃ ଏହି ଭାବରେ ପ୍ରତିନିଧିତ୍ୱ କରାଯାଏ: ≤30 μm।
୪. ମୋଟ ସୂଚିତ ପାଠ - TIR
ଯେତେବେଳେ ୱାଫରକୁ କ୍ଲାମ୍ପ କରାଯାଏ ଏବଂ ନିକଟ ସଂସ୍ପର୍ଶରେ ରଖାଯାଏ, ଏକ ରେଫରେନ୍ସ ପ୍ଲେନ ବ୍ୟବହାର କରି ଯାହା ୱାଫର ପୃଷ୍ଠରେ ଗୁଣବତ୍ତା କ୍ଷେତ୍ର କିମ୍ବା ଏକ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ସ୍ଥାନୀୟ କ୍ଷେତ୍ର ମଧ୍ୟରେ ସମସ୍ତ ବିନ୍ଦୁର ଅନ୍ତରକ୍ଷେପର ସମଷ୍ଟିକୁ ସର୍ବନିମ୍ନ କରିଥାଏ, TIR ହେଉଛି ୱାଫର ପୃଷ୍ଠରୁ ଏହି ରେଫରେନ୍ସ ପ୍ଲେନକୁ ସର୍ବାଧିକ ଏବଂ ସର୍ବନିମ୍ନ ଦୂରତା ମଧ୍ୟରେ ବିଚ୍ୟୁତି।
TTV, BOW, WARP, ଏବଂ TIR ଭଳି ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ସାମଗ୍ରୀ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟକରଣରେ ଗଭୀର ବିଶେଷଜ୍ଞତା ଉପରେ ପ୍ରତିଷ୍ଠିତ, XKH କଠୋର ଶିଳ୍ପ ମାନଦଣ୍ଡ ଅନୁଯାୟୀ ସଠିକ୍ କଷ୍ଟମ୍ ୱେଫର ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ସେବା ପ୍ରଦାନ କରେ। ଆମେ ନୀଳାଫିମ୍, ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ (SiC), ସିଲିକନ୍ ୱେଫର, SOI, ଏବଂ କ୍ୱାର୍ଟଜ୍ ସମେତ ଉଚ୍ଚ-କାର୍ଦକ୍ଷତା ସାମଗ୍ରୀର ଏକ ବିସ୍ତୃତ ପରିସର ଯୋଗାଇଥାଉ ଏବଂ ସମର୍ଥନ କରୁ, ଯାହା ଅପ୍ଟୋଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ସ, ପାୱାର ଡିଭାଇସ୍ ଏବଂ MEMS ରେ ଉନ୍ନତ ପ୍ରୟୋଗ ପାଇଁ ଅସାଧାରଣ ସମତଳତା, ଘନତା ସ୍ଥିରତା ଏବଂ ପୃଷ୍ଠ ଗୁଣବତ୍ତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ। ଆପଣଙ୍କର ସବୁଠାରୁ ଦାବି କରୁଥିବା ଡିଜାଇନ୍ ଆବଶ୍ୟକତା ପୂରଣ କରୁଥିବା ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟ ସାମଗ୍ରୀ ସମାଧାନ ଏବଂ ସଠିକ୍ ମେସିନିଂ ପ୍ରଦାନ କରିବାକୁ ଆମକୁ ବିଶ୍ୱାସ କରନ୍ତୁ।
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ଅଗଷ୍ଟ-୨୯-୨୦୨୫