ସୂଚୀପତ୍ର
୧. FOUP ର ସାରାଂଶ ଏବଂ ମୁଖ୍ୟ କାର୍ଯ୍ୟ
୨. FOUP ର ଗଠନ ଏବଂ ଡିଜାଇନ୍ ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟଗୁଡ଼ିକ
3. FOUP ର ବର୍ଗୀକରଣ ଏବଂ ପ୍ରୟୋଗ ନିର୍ଦ୍ଦେଶାବଳୀ
୪. ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉତ୍ପାଦନରେ FOUP ର କାର୍ଯ୍ୟ ଏବଂ ଗୁରୁତ୍ୱ
୫.ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଚ୍ୟାଲେଞ୍ଜ ଏବଂ ଭବିଷ୍ୟତ ବିକାଶ ଧାରା
6.XKH ର କଷ୍ଟମାଇଜ୍ଡ ସମାଧାନ ଏବଂ ସେବା ସମର୍ଥନ
ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ନିର୍ମାଣ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ, ଫ୍ରଣ୍ଟ ଓପନିଂ ୟୁନିଫାଏଡ୍ ପଡ୍ (FOUP) ହେଉଛି ଏକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ କଣ୍ଟେନର ଯାହା ୱାଫରଗୁଡ଼ିକୁ ସୁରକ୍ଷା, ପରିବହନ ଏବଂ ସଂରକ୍ଷଣ ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ। ଏହାର ଭିତର ଅଂଶରେ 300mm ୱାଫରର 25 ଖଣ୍ଡ ସ୍ଥାନ ପାଇପାରିବ, ଏବଂ ଏହାର ମୁଖ୍ୟ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକ ମଧ୍ୟରେ ଏକ ଫ୍ରଣ୍ଟ-ଓପନିଂ କଣ୍ଟେନର ଏବଂ ଖୋଲିବା ଏବଂ ବନ୍ଦ କରିବା ପାଇଁ ଏକ ଉତ୍ସର୍ଗୀକୃତ ଦ୍ୱାର ଫ୍ରେମ୍ ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ। FOUP ହେଉଛି 12 ଇଞ୍ଚ ୱାଫର ଫାବ୍ସ ମଧ୍ୟରେ ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ ପରିବହନ ବ୍ୟବସ୍ଥାରେ ଏକ ମୂଳ ବାହକ। ଏହା ସାଧାରଣତଃ ଏକ ବନ୍ଦ ଅବସ୍ଥାରେ ପରିବହନ କରାଯାଏ ଏବଂ କେବଳ ଉପକରଣ ଲୋଡ୍ ପୋର୍ଟକୁ ଠେଲି ଗଲେ ଖୋଲିଥାଏ, ଯାହା ୱାଫରଗୁଡ଼ିକୁ ଉପକରଣର ଲୋଡିଂ/ଅନଲୋଡିଂ ପୋର୍ଟରେ ସ୍ଥାନାନ୍ତରିତ କରିବାକୁ ଅନୁମତି ଦିଏ।
FOUP ର ଡିଜାଇନ୍ ସୂକ୍ଷ୍ମ-ପରିବେଶ ଆବଶ୍ୟକତା ସହିତ ଅନୁକୂଳିତ। ଏଥିରେ ୱାଫର ଇନସର୍ସନ୍ ପାଇଁ ପଛ ପାର୍ଶ୍ୱରେ ସ୍ଲଟ୍ ଅଛି, ଏବଂ ଢାଙ୍କୁ ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ଭାବରେ ଓପନର କ୍ଲାମ୍ପ ସହିତ ମେଳ ଖାଉଥିବା ପାଇଁ ଡିଜାଇନ୍ କରାଯାଇଛି। ୱାଫର-ହ୍ୟାଣ୍ଡଲିଂ ରୋବୋଟ୍ ଏକ ଶ୍ରେଣୀ 1 ସ୍ୱଚ୍ଛ ବାୟୁ ପରିବେଶରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରେ, ଏହା ନିଶ୍ଚିତ କରେ ଯେ ପରିବହନ ସମୟରେ ୱାଫରଗୁଡ଼ିକ ଦୂଷିତ ନହୁଏ। ଏହା ବ୍ୟତୀତ, FOUP କୁ ଏକ ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ ସାମଗ୍ରୀ ପରିଚାଳନା ପ୍ରଣାଳୀ (AMHS) ମାଧ୍ୟମରେ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକ ମଧ୍ୟରେ ସ୍ଥାନାନ୍ତରିତ କରାଯାଏ। ଆଧୁନିକ ୱାଫର ଫ୍ୟାବ୍ ମୁଖ୍ୟତଃ ପରିବହନ ପାଇଁ ଓଭରହେଡ୍ ରେଳ ସିଷ୍ଟମ ବ୍ୟବହାର କରନ୍ତି, ଯେତେବେଳେ କିଛି ପୁରୁଣା ଫ୍ୟାବ୍ ଭୂମି-ଆଧାରିତ ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ ନିର୍ଦ୍ଦେଶିତ ଯାନ (AGV) ବ୍ୟବହାର କରିପାରନ୍ତି।
FOUP କେବଳ ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ ୱାଫର ସ୍ଥାନାନ୍ତରକୁ ସକ୍ଷମ କରେ ନାହିଁ ବରଂ ଏକ ସଂରକ୍ଷଣ କାର୍ଯ୍ୟ ମଧ୍ୟ କରେ। ଅନେକ ଉତ୍ପାଦନ ପଦକ୍ଷେପ ଯୋଗୁଁ, ୱାଫରଗୁଡ଼ିକ ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ପ୍ରକ୍ରିୟା ପ୍ରବାହକୁ ସମାପ୍ତ କରିବାକୁ ମାସ ମାସ ସମୟ ନେଇପାରେ। ଉଚ୍ଚ ମାସିକ ଉତ୍ପାଦନ ପରିମାଣ ସହିତ ମିଶ୍ରିତ, ଏହାର ଅର୍ଥ ହେଉଛି ଯେ ଏକ ଫ୍ୟାବ୍ ମଧ୍ୟରେ ହଜାର ହଜାର ୱାଫର ଯେକୌଣସି ସମୟରେ ନିରନ୍ତର ପରିବହନ କିମ୍ବା ଅସ୍ଥାୟୀ ସଂରକ୍ଷଣରେ ରହିଥାଏ। ସଂରକ୍ଷଣ ସମୟରେ, FOUPଗୁଡ଼ିକୁ ସମୟ ସମୟରେ ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ସହିତ ପରିଷ୍କାର କରାଯାଏ ଯାହା ପ୍ରଦୂଷକମାନଙ୍କୁ ୱାଫର ସହିତ ସମ୍ପର୍କ କରିବାରୁ ରୋକିଥାଏ, ଏକ ପରିଷ୍କାର ଏବଂ ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟ ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ।
1. FOUP ର କାର୍ଯ୍ୟ ଏବଂ ଗୁରୁତ୍ୱ
FOUPର ମୁଖ୍ୟ କାର୍ଯ୍ୟ ହେଉଛି ୱାଫରଗୁଡ଼ିକୁ ବାହ୍ୟ ଆଘାତ ଏବଂ ପ୍ରଦୂଷଣରୁ ରକ୍ଷା କରିବା, ବିଶେଷକରି ସ୍ଥାନାନ୍ତର ସମୟରେ ଉତ୍ପାଦନ ଉପରେ ପ୍ରଭାବକୁ ଏଡାଇବା। ଏହା ଗ୍ୟାସ ପ୍ୟୁରିଜିଂ ଏବଂ ସ୍ଥାନୀୟ ବାୟୁମଣ୍ଡଳ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ (LAC) ଭଳି ପଦ୍ଧତି ମାଧ୍ୟମରେ ଆର୍ଦ୍ରତାକୁ ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଭାବରେ ପ୍ରତିରୋଧ କରିଥାଏ, ପରବର୍ତ୍ତୀ ଉତ୍ପାଦନ ପଦକ୍ଷେପ ଅପେକ୍ଷା କରିବା ସମୟରେ ୱାଫରଗୁଡ଼ିକ ସୁରକ୍ଷିତ ଅବସ୍ଥାରେ ରହିବାକୁ ନିଶ୍ଚିତ କରିଥାଏ। ଏହାର ସିଲ୍ ଏବଂ ନିୟନ୍ତ୍ରିତ ବ୍ୟବସ୍ଥା କେବଳ ଆବଶ୍ୟକୀୟ ଯୌଗିକ ଏବଂ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକୁ ପ୍ରବେଶ କରିବାକୁ ଅନୁମତି ଦିଏ, ଯାହା ୱାଫର ଉପରେ VOC, ଅମ୍ଳଜାନ ଏବଂ ଆର୍ଦ୍ରତାର ପ୍ରତିକୂଳ ପ୍ରଭାବକୁ ଉଲ୍ଲେଖନୀୟ ଭାବରେ ହ୍ରାସ କରିଥାଏ।
ଯେହେତୁ 25ଟି ୱେଫରରେ ପୂର୍ଣ୍ଣ ଲୋଡ୍ ହୋଇଥିବା ଏକ FOUP 9 କିଲୋଗ୍ରାମ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ଓଜନ କରିପାରିବ, ଏହାର ପରିବହନ ଏକ ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ ସାମଗ୍ରୀ ପରିଚାଳନା ପ୍ରଣାଳୀ (AMHS) ଉପରେ ନିର୍ଭର କରିବାକୁ ପଡିବ। ଏହାକୁ ସହଜ କରିବା ପାଇଁ, FOUP କୁପ୍ଲିଂ ପ୍ଲେଟ୍, ପିନ୍ ଏବଂ ଗର୍ତ୍ତର ବିଭିନ୍ନ ମିଶ୍ରଣ ସହିତ ଡିଜାଇନ୍ କରାଯାଇଛି, ଏବଂ ସହଜ ଚିହ୍ନଟ ଏବଂ ବର୍ଗୀକରଣ ପାଇଁ RFID ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ଟ୍ୟାଗ୍ ସହିତ ସଜ୍ଜିତ। ଏହି ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ ପରିଚାଳନା ପାଇଁ ପ୍ରାୟ କୌଣସି ମାନୁଆଲ୍ କାର୍ଯ୍ୟ ଆବଶ୍ୟକ ନାହିଁ, ଯାହା ତ୍ରୁଟି ହାରକୁ ବହୁ ପରିମାଣରେ ହ୍ରାସ କରେ ଏବଂ ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟାର ସୁରକ୍ଷା ଏବଂ ସଠିକତାକୁ ବୃଦ୍ଧି କରେ।
2. FOUP ର ଗଠନ ଏବଂ ବର୍ଗୀକରଣ
ଏକ FOUP ର ସାଧାରଣ ପରିମାପ ପ୍ରାୟ 420 mm ପ୍ରସ୍ଥ, 335 mm ଗଭୀରତା ଏବଂ 335 mm ଉଚ୍ଚତା। ଏହାର ମୁଖ୍ୟ ସାଂରଚନିକ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକ ମଧ୍ୟରେ ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ: ଓଭରହେଡ୍ ହୋଷ୍ଟ ପରିବହନ ପାଇଁ ଏକ ଉପର OHT (ମସରୁମ୍ ହେଡ୍); ଉପକରଣ ୱାଫର ପ୍ରବେଶ ପାଇଁ ଏକ ସମ୍ମୁଖ ଦ୍ୱାର; ପାର୍ଶ୍ଵ ହ୍ୟାଣ୍ଡେଲଗୁଡ଼ିକ, ପ୍ରାୟତଃ ବିଭିନ୍ନ ପ୍ରଦୂଷଣ ସ୍ତର ସହିତ ପ୍ରକ୍ରିୟା କ୍ଷେତ୍ରଗୁଡ଼ିକୁ ପୃଥକ କରିବା ପାଇଁ ରଙ୍ଗକୋଡ୍; ବାର୍ତ୍ତା କାର୍ଡ ରଖିବା ପାଇଁ ଏକ କାର୍ଡ କ୍ଷେତ୍ର; ଏବଂ ଏକ ତଳ RFID ଟ୍ୟାଗ୍ ଯାହା FOUP ପାଇଁ ଅନନ୍ୟ ଚିହ୍ନଟକାରୀ ଭାବରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରେ, ଯାହା ଉପକରଣ ଏବଂ ଓଭରହେଡ୍ ହୋଷ୍ଟଗୁଡ଼ିକୁ ଏହାକୁ ଚିହ୍ନଟ କରିବାକୁ ଅନୁମତି ଦିଏ। ଉପକରଣ ସହିତ ମେଳ କରିବା ଏବଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା କ୍ଷେତ୍ରଗୁଡ଼ିକୁ ପୃଥକ କରିବା ପାଇଁ ଆଧାରରେ ଚାରୋଟି ଚିହ୍ନଟ ଏବଂ ସ୍ଥିତି ଗର୍ତ୍ତ ମଧ୍ୟ ସଜ୍ଜିତ।
ବ୍ୟବହାର ଉପରେ ଆଧାର କରି, FOUP ଗୁଡ଼ିକୁ ତିନି ପ୍ରକାରରେ ବର୍ଗୀକୃତ କରାଯାଇଛି: PRD (ଉତ୍ପାଦନ ପାଇଁ), ENG (ଇଞ୍ଜିନିୟରିଂ ୱେଫର୍ସ ପାଇଁ), ଏବଂ MON (ମନିଟର ୱେଫର୍ସ ପାଇଁ)। PRD FOUP ଗୁଡ଼ିକୁ ଉତ୍ପାଦ ନିର୍ମାଣ ପାଇଁ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଇପାରିବ, ENG ପ୍ରକାରଗୁଡ଼ିକ R&D କିମ୍ବା ପରୀକ୍ଷଣ ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ, ଏବଂ MON ପ୍ରକାରଗୁଡ଼ିକ CMP ଏବଂ DIFF ଭଳି ପଦକ୍ଷେପ ପାଇଁ ପ୍ରକ୍ରିୟା ମନିଟରିଂ ପାଇଁ ଉତ୍ସର୍ଗୀକୃତ। ଏହା ମନେ ରଖିବା ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ଯେ PRD FOUP ଗୁଡ଼ିକୁ ENG ଏବଂ MON ଉଭୟ ଉଦ୍ଦେଶ୍ୟରେ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଇପାରିବ, ଏବଂ ENG ପ୍ରକାରଗୁଡ଼ିକ MON ପାଇଁ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଇପାରିବ, କିନ୍ତୁ ବିପରୀତ କାର୍ଯ୍ୟ ଗୁଣାତ୍ମକ ବିପଦ ସୃଷ୍ଟି କରେ।
ପ୍ରଦୂଷଣ ସ୍ତର ଅନୁସାରେ ବର୍ଗୀକୃତ, FOUPଗୁଡ଼ିକୁ FE FOUP (ଫ୍ରଣ୍ଟ-ଏଣ୍ଡ ପ୍ରକ୍ରିୟା, ଧାତୁ-ମୁକ୍ତ), BE FOUP (ବ୍ୟାକ୍-ଏଣ୍ଡ ପ୍ରକ୍ରିୟା, ଧାତୁ ଧାରଣ କରେ), ଏବଂ NI FOUP, CU FOUP, ଏବଂ CO FOUP ଭଳି ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ଧାତୁ ପ୍ରକ୍ରିୟା ପାଇଁ ବିଶେଷଜ୍ଞତାରେ ବିଭକ୍ତ କରାଯାଇପାରିବ। ବିଭିନ୍ନ ପ୍ରକ୍ରିୟା ପାଇଁ FOUPଗୁଡ଼ିକୁ ସାଧାରଣତଃ ପାର୍ଶ୍ୱ ହ୍ୟାଣ୍ଡେଲ କିମ୍ବା ଦ୍ୱାର ପ୍ୟାନେଲର ରଙ୍ଗ ଦ୍ୱାରା ପୃଥକ କରାଯାଇଥାଏ। ଫ୍ରଣ୍ଟ-ଏଣ୍ଡ ପ୍ରକ୍ରିୟାରୁ FOUPଗୁଡ଼ିକୁ ବ୍ୟାକ୍-ଏଣ୍ଡ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଇପାରିବ, କିନ୍ତୁ ବ୍ୟାକ୍-ଏଣ୍ଡ FOUPଗୁଡ଼ିକୁ କେବେବି ଫ୍ରଣ୍ଟ-ଏଣ୍ଡ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ବ୍ୟବହାର କରାଯିବା ଉଚିତ୍ ନୁହେଁ, କାରଣ ଏହା ପ୍ରଦୂଷଣ ବିପଦ ସୃଷ୍ଟି କରିବ।
ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉତ୍ପାଦନରେ ଏକ ପ୍ରମୁଖ ବାହକ ଭାବରେ, FOUP, ଉଚ୍ଚ ସ୍ୱୟଂଚାଳିତତା ଏବଂ କଠୋର ପ୍ରଦୂଷଣ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ମାଧ୍ୟମରେ, ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟା ସମୟରେ ୱେଫରଗୁଡ଼ିକର ସୁରକ୍ଷା ଏବଂ ପରିଷ୍କାରତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ, ଏହାକୁ ଆଧୁନିକ ୱେଫର ଫ୍ୟାବ୍ସରେ ଏକ ଅପରିହାର୍ଯ୍ୟ ଭିତ୍ତିଭୂମି କରିଥାଏ।
ଉପସଂହାର
XKH ଗ୍ରାହକମାନଙ୍କୁ ଅତ୍ୟନ୍ତ କଷ୍ଟମାଇଜ୍ଡ ଫ୍ରଣ୍ଟ-ଓପନିଂ ୟୁନିଫାଏଡ୍ ପଡ୍ (FOUP) ସମାଧାନ ପ୍ରଦାନ କରିବାକୁ ପ୍ରତିବଦ୍ଧ, ଆପଣଙ୍କର ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଆବଶ୍ୟକତା ଏବଂ ଉପକରଣ ଇଣ୍ଟରଫେସ୍ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟକରଣକୁ କଡ଼ାକଡ଼ି ପାଳନ କରୁଛି। ଉନ୍ନତ ସାମଗ୍ରୀ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ଏବଂ ସଠିକ୍ ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟାକୁ ବ୍ୟବହାର କରି, ଆମେ ନିଶ୍ଚିତ କରୁ ଯେ ପ୍ରତ୍ୟେକ FOUP ଉତ୍ପାଦ ଅସାଧାରଣ ବାୟୁ ନିବିଡ଼ତା, ପରିଷ୍କାରତା ଏବଂ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ସ୍ଥିରତା ପ୍ରଦାନ କରେ। ଆମର ବୈଷୟିକ ଦଳ ଗଭୀର ଶିଳ୍ପ ବିଶେଷଜ୍ଞତା ହାସଲ କରିଛନ୍ତି, ଯାହା ବ୍ୟାପକ ଜୀବନଚକ୍ର ସହାୟତା ପ୍ରଦାନ କରନ୍ତି - ଚୟନ ପରାମର୍ଶ ଏବଂ ଗଠନାତ୍ମକ ଅପ୍ଟିମାଇଜେସନ୍ ଠାରୁ ଆରମ୍ଭ କରି ସଫା ଏବଂ ରକ୍ଷଣାବେକ୍ଷଣ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ - FOUP ଏବଂ ଆପଣଙ୍କର ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ ସାମଗ୍ରୀ ପରିଚାଳନା ପ୍ରଣାଳୀ (AMHS) ଏବଂ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ଉପକରଣ ମଧ୍ୟରେ ନିର୍ବିଘ୍ନ ଏକୀକରଣ ଏବଂ ଦକ୍ଷ ସହଯୋଗ ନିଶ୍ଚିତ କରିବା। ଆମେ ଆମର ମୂଳ ଉଦ୍ଦେଶ୍ୟ ଭାବରେ ୱେଫରର ସୁରକ୍ଷା ଏବଂ ଉତ୍ପାଦନ ଉତ୍ପାଦନ ବୃଦ୍ଧିକୁ ନିରନ୍ତର ପ୍ରାଥମିକତା ଦେଉଛୁ। ଅଭିନବ ଉତ୍ପାଦ ଏବଂ ସମସ୍ତ-ବ୍ୟାପୀ ବୈଷୟିକ ସେବା ମାଧ୍ୟମରେ, ଆମେ ଆପଣଙ୍କର ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟା ପାଇଁ ଏକ ଦୃଢ଼ ଗ୍ୟାରେଣ୍ଟି ପ୍ରଦାନ କରୁ, ଶେଷରେ ଉତ୍ପାଦନ ଦକ୍ଷତା ଏବଂ ଉତ୍ପାଦ ଉତ୍ପାଦନ ବୃଦ୍ଧିକୁ ବୃଦ୍ଧି କରୁ।
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ସେପ୍ଟେମ୍ବର-୦୮-୨୦୨୫