ସିଲିକନ୍ / ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ (SiC) ୱେଫର୍ ଚାରି-ଷ୍ଟେଜ୍ ଲିଙ୍କ୍ଡ୍ ପଲିସିଂ ଅଟୋମେସନ୍ ଲାଇନ୍ (ଇଣ୍ଟିଗ୍ରେଟେଡ୍ ପୋଷ୍ଟ-ପୋଲିସ୍ ହ୍ୟାଣ୍ଡଲିଂ ଲାଇନ୍)

ଏହି ଚାରି-ଷ୍ଟେଜ୍ ଲିଙ୍କ୍ଡ୍ ପଲିସିଂ ଅଟୋମେସନ୍ ଲାଇନ୍‌ ଏକ ସମନ୍ୱିତ, ଇନ-ଲାଇନ୍ ସମାଧାନ ଯାହା ପାଇଁ ଡିଜାଇନ୍ କରାଯାଇଛିପୋଷ୍ଟ-ପଲିସ୍ / ପୋଷ୍ଟ-CMPର କାର୍ଯ୍ୟସିଲିକନ୍ଏବଂସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ (SiC)ୱେଫର୍ସ। ଚାରିପାଖରେ ନିର୍ମିତସିରାମିକ୍ କ୍ୟାରିଅର୍ (ସିରାମିକ୍ ପ୍ଲେଟ୍), ଏହି ସିଷ୍ଟମ ଏକାଧିକ ଡାଉନଷ୍ଟ୍ରିମ୍ କାର୍ଯ୍ୟକୁ ଗୋଟିଏ ସମନ୍ୱିତ ରେଖାରେ ମିଶ୍ରଣ କରେ - ଫ୍ୟାବ୍ସଗୁଡ଼ିକୁ ମାନୁଆଲ୍ ହ୍ୟାଣ୍ଡେଲିଂ ହ୍ରାସ କରିବାରେ, ଟାକ୍ଟ ସମୟକୁ ସ୍ଥିର କରିବାରେ ଏବଂ ପ୍ରଦୂଷଣ ନିୟନ୍ତ୍ରଣକୁ ସୁଦୃଢ଼ ​​କରିବାରେ ସାହାଯ୍ୟ କରେ।

ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉତ୍ପାଦନରେ,CMP ପରବର୍ତ୍ତୀ ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ସଫାସୁତୁରାପରବର୍ତ୍ତୀ ପ୍ରକ୍ରିୟା ପୂର୍ବରୁ ତ୍ରୁଟି ହ୍ରାସ କରିବା ପାଇଁ ଏକ ପ୍ରମୁଖ ପଦକ୍ଷେପ ଭାବରେ ବ୍ୟାପକ ଭାବରେ ସ୍ୱୀକୃତିପ୍ରାପ୍ତ, ଏବଂ ଉନ୍ନତ ପଦ୍ଧତି (ଯେଉଁଥିରେମେଗାସୋନିକ୍ ସଫା କରିବା) କଣିକା ଅପସାରଣ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତାକୁ ଉନ୍ନତ କରିବା ପାଇଁ ସାଧାରଣତଃ ଆଲୋଚନା କରାଯାଏ।

ବିଶେଷକରି SiC ପାଇଁ, ଏହାରଉଚ୍ଚ କଠୋରତା ଏବଂ ରାସାୟନିକ ଜଡ଼ତାପଲିସିଂକୁ ଚ୍ୟାଲେଞ୍ଜପୂର୍ଣ୍ଣ କରିଥାଏ (ପ୍ରାୟତଃ କମ୍ ସାମଗ୍ରୀ ଅପସାରଣ ହାର ଏବଂ ପୃଷ୍ଠ/ପୃଷ୍ଠଭାଗ କ୍ଷତିର ଅଧିକ ବିପଦ ସହିତ ଜଡିତ), ଯାହା ସ୍ଥିର ପଲିସ୍ ପରବର୍ତ୍ତୀ ସ୍ୱୟଂଚାଳିତକରଣ ଏବଂ ନିୟନ୍ତ୍ରିତ ସଫା/ପରିଚାଳନାକୁ ବିଶେଷ ଭାବରେ ମୂଲ୍ୟବାନ କରିଥାଏ।