6inch GaN-On-ନୀଳମଣି |

ସଂକ୍ଷିପ୍ତ ବର୍ଣ୍ଣନା:

ସିଲିକନ୍ / ନୀଳମଣି / ସିସି ଏପି-ଲେୟାର୍ ୱେଫର୍ ଗାଲିୟମ୍ ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍ ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ୱେଫର୍ ଉପରେ 150 ମିମି 6inch GaN |

6-ଇଞ୍ଚ ନୀଳମଣି ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ୱେଫର୍ ହେଉଛି ଏକ ଉଚ୍ଚ-ଗୁଣାତ୍ମକ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ପଦାର୍ଥ ଯାହାକି ନୀଳମଣି ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉପରେ ବ grown ଼ିଥିବା ଗାଲିୟମ୍ ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍ (GaN) ସ୍ତରଗୁଡ଼ିକୁ ନେଇ ଗଠିତ | ପଦାର୍ଥର ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ପରିବହନ ଗୁଣ ରହିଛି ଏବଂ ଉଚ୍ଚ-ଶକ୍ତି ଏବଂ ଉଚ୍ଚ-ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସି ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉପକରଣ ଉତ୍ପାଦନ ପାଇଁ ଆଦର୍ଶ |


ଉତ୍ପାଦ ବିବରଣୀ

ଉତ୍ପାଦ ଟ୍ୟାଗ୍ସ |

ସିଲିକନ୍ / ନୀଳମଣି / ସିସି ଏପି-ଲେୟାର୍ ୱେଫର୍ ଗାଲିୟମ୍ ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍ ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ୱେଫର୍ ଉପରେ 150 ମିମି 6inch GaN |

6-ଇଞ୍ଚ ନୀଳମଣି ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ୱେଫର୍ ହେଉଛି ଏକ ଉଚ୍ଚ-ଗୁଣାତ୍ମକ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ପଦାର୍ଥ ଯାହାକି ନୀଳମଣି ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉପରେ ବ grown ଼ିଥିବା ଗାଲିୟମ୍ ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍ (GaN) ସ୍ତରଗୁଡ଼ିକୁ ନେଇ ଗଠିତ | ପଦାର୍ଥର ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ପରିବହନ ଗୁଣ ରହିଛି ଏବଂ ଉଚ୍ଚ-ଶକ୍ତି ଏବଂ ଉଚ୍ଚ-ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସି ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉପକରଣ ଉତ୍ପାଦନ ପାଇଁ ଆଦର୍ଶ |

ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରଣାଳୀ: ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ନୀଳମଣି ସବଷ୍ଟ୍ରେଟରେ GaN ସ୍ତର ବ growing ଼ିବା ସହିତ ଧାତୁ-ଜ organic ବ ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା ​​(MOCVD) କିମ୍ବା ମଲିକୁଲାର ବିମ୍ ଏପିଟାକ୍ସି (MBE) ଭଳି ଉନ୍ନତ କ ques ଶଳ ବ୍ୟବହାର କରି ଜଡିତ | ଉଚ୍ଚ ସ୍ଫଟିକ୍ ଗୁଣ ଏବଂ ୟୁନିଫର୍ମ ଫିଲ୍ମ ନିଶ୍ଚିତ କରିବାକୁ ନିୟନ୍ତ୍ରିତ ଅବସ୍ଥାରେ ଜମା ପ୍ରକ୍ରିୟା ଚାଲିଥାଏ |

6inch GaN-On-sapphire ପ୍ରୟୋଗଗୁଡ଼ିକ: ମାଇକ୍ରୋୱେଭ୍ ଯୋଗାଯୋଗ, ରାଡାର ସିଷ୍ଟମ, ବେତାର ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ଏବଂ ଅପ୍ଟୋଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ସରେ 6-ଇଞ୍ଚ ନୀଳମଣି ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଚିପ୍ସ ବହୁଳ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ |

କିଛି ସାଧାରଣ ପ୍ରୟୋଗଗୁଡ଼ିକ ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ କରେ |

1। Rf ପାୱାର୍ ଏମ୍ପ୍ଲିଫାୟର୍ |

2। ଏଲଇଡି ଆଲୋକ ଶିଳ୍ପ |

ବେତାର ନେଟୱାର୍କ ଯୋଗାଯୋଗ ଉପକରଣ |

ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ପରିବେଶରେ ବ Elect ଦ୍ୟୁତିକ ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକ |

5 ଅପ୍ଟୋଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକ |

ଉତ୍ପାଦ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟତା |

- ଆକାର: ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ବ୍ୟାସ 6 ଇଞ୍ଚ (ପ୍ରାୟ 150 ମିମି) |

- ପୃଷ୍ଠଭୂମି ଗୁଣ: ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଦର୍ପଣ ଗୁଣ ଯୋଗାଇବା ପାଇଁ ଭୂପୃଷ୍ଠକୁ ସୂକ୍ଷ୍ମ ଭାବରେ ପଲିସ୍ କରାଯାଇଛି |

- ମୋଟା: GaN ସ୍ତରର ଘନତା ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ଆବଶ୍ୟକତା ଅନୁଯାୟୀ କଷ୍ଟମାଇଜ୍ ହୋଇପାରିବ |

- ପ୍ୟାକେଜିଂ: ପରିବହନ ସମୟରେ କ୍ଷତି ନହେବା ପାଇଁ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଆଣ୍ଟି-ଷ୍ଟାଟିକ୍ ସାମଗ୍ରୀ ସହିତ ଯତ୍ନର ସହିତ ପ୍ୟାକ୍ ହୋଇଛି |

- ପୋଜିସନ୍ ଏଜ୍: ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ର ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ପୋଜିସନ୍ ଏଜ୍ ଅଛି ଯାହା ଡିଭାଇସ୍ ପ୍ରସ୍ତୁତି ସମୟରେ ଆଲାଇନ୍ମେଣ୍ଟ ଏବଂ କାର୍ଯ୍ୟକୁ ସହଜ କରିଥାଏ |

- ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ପାରାମିଟରଗୁଡିକ: ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ପାରାମିଟରଗୁଡିକ ଯେପରିକି ପତଳା, ପ୍ରତିରୋଧକତା ଏବଂ ଡୋପିଂ ଏକାଗ୍ରତା ଗ୍ରାହକଙ୍କ ଆବଶ୍ୟକତା ଅନୁଯାୟୀ ସଜାଡିହେବ |

ସେମାନଙ୍କର ଉନ୍ନତ ବସ୍ତୁ ଗୁଣ ଏବଂ ବିବିଧ ପ୍ରୟୋଗ ସହିତ, 6-ଇଞ୍ଚ ନୀଳମଣି ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ୱାଫର୍ ବିଭିନ୍ନ ଶିଳ୍ପରେ ଉଚ୍ଚ କ୍ଷମତା ସମ୍ପନ୍ନ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉପକରଣର ବିକାଶ ପାଇଁ ଏକ ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟ ପସନ୍ଦ |

ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ |

6 ”1mm <111> p- ପ୍ରକାର Si |

6 ”1mm <111> p- ପ୍ରକାର Si |

Epi ThickAvg |

~ 5um

~ 7um

Epi ThickUnif |

<2%

<2%

ଧନୁ

+/- 45um

+/- 45um

କ୍ରାକିଂ

<5 ମିମି

<5 ମିମି

ଭୂଲମ୍ବ BV |

> 1000 ଭି

> 1400V

HEMT Al%

25-35%

25-35%

HEMT ThickAvg

20-30nm

20-30nm

ଇନସୁଟୁ ସିଏନ୍ କ୍ୟାପ୍ |

5-60nm

5-60nm

2DEG conc

~ 1013cm-2

~ 1013cm-2

ଗତିଶୀଳତା |

~ 2000cm2/ Vs (<2%)

~ 2000cm2/ Vs (<2%)

Rsh

<330ohm / sq (<2%)

<330ohm / sq (<2%)

ବିସ୍ତୃତ ଚିତ୍ର

6inch GaN-On-ନୀଳମଣି |
6inch GaN-On-ନୀଳମଣି |

  • ପୂର୍ବ:
  • ପରବର୍ତ୍ତୀ:

  • ତୁମର ବାର୍ତ୍ତା ଏଠାରେ ଲେଖ ଏବଂ ଆମକୁ ପଠାନ୍ତୁ |