8inch SiC ଉତ୍ପାଦନ ଗ୍ରେଡ୍ ୱେଫର୍ 4H-N SiC ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ |

ସଂକ୍ଷିପ୍ତ ବର୍ଣ୍ଣନା:

ଉଚ୍ଚ-ଶକ୍ତି ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ଉପକରଣରେ 8-ଇଞ୍ଚ୍ ସିସି ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଏ ଯେପରିକି ପାୱାର୍ MOSFETs (ମେଟାଲ୍ ଅକ୍ସାଇଡ୍ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଫିଲ୍ଡ ଇଫେକ୍ଟ ଟ୍ରାନଜିଷ୍ଟର), ସ୍କଟ୍କି ଡାୟୋଡ୍ ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ପାୱାର୍ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉପକରଣ |


ଉତ୍ପାଦ ବିବରଣୀ

ଉତ୍ପାଦ ଟ୍ୟାଗ୍ସ |

ନିମ୍ନଲିଖିତ ସାରଣୀଟି ଆମର 8inch SiC ୱାଫର୍ ର ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟତା ଦେଖାଏ |

8inch N- ପ୍ରକାର SiC DSP ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ |

ସଂଖ୍ୟା ଆଇଟମ୍ | ୟୁନିଟ୍ ଉତ୍ପାଦନ ଅନୁସନ୍ଧାନ | ଡମି
1: ପାରାମିଟରଗୁଡିକ |
1.1 ପଲିଟାଇପ୍ | -- 4H 4H 4H
1.2। 1.2 ପୃଷ୍ଠଭୂମି ° <11-20> 4 ± 0.5 <11-20> 4 ± 0.5 <11-20> 4 ± 0.5
୨: ବ Elect ଦ୍ୟୁତିକ ପାରାମିଟର |
2.1 ଡୋପାଣ୍ଟ | -- n- ପ୍ରକାର ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ | n- ପ୍ରକାର ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ | n- ପ୍ରକାର ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ |
2.2 ପ୍ରତିରୋଧକତା | ohm · cm 0.015 ~ 0.025 0.01 ~ 0.03 NA
3: ଯାନ୍ତ୍ରିକ ପାରାମିଟର |
3.1 ବ୍ୟାସ mm 200 ± 0.2 200 ± 0.2 200 ± 0.2
3.2 ମୋଟା | μm 500 ± 25 500 ± 25 500 ± 25
3.3 ଖଣ୍ଡ ଆଭିମୁଖ୍ୟ | ° [1- 100] ± 5 [1- 100] ± 5 [1- 100] ± 5
3.4 ଖଣ୍ଡ ଗଭୀରତା | mm 1 ~ 1.5 1 ~ 1.5 1 ~ 1.5
3.5। 3.5 LTV μm ≤5 (10mm * 10mm) ≤5 (10mm * 10mm) ≤10 (10mm * 10mm)
3.6 TTV μm ≤10 ≤10 ≤15
3.7 ଧନୁ μm -25 ~ 25 -45 ~ 45 -65 ~ 65
3.8 ଯୁଦ୍ଧ μm ≤30 ≤50 ≤70
3.9 AFM nm Ra≤0.2 Ra≤0.2 Ra≤0.2
4: ଗଠନ
4.1 ମାଇକ୍ରୋପାଇପ୍ ସାନ୍ଧ୍ରତା | ea / cm2 ≤2 ≤10 ≤50
4.2 ଧାତୁ ବିଷୟବସ୍ତୁ | ପରମାଣୁ / cm2 ≤1E11 ≤1E11 NA
4.3 TSD ea / cm2 ≤500 ≤1000 NA
4.4 BPD ea / cm2 ≤2000 ≤5000 NA
4.5 TED ea / cm2 ≤7000 ≤10000 NA
5. ଫ୍ରଣ୍ଟ୍ ଗୁଣବତ୍ତା |
5.1 ଆଗ -- Si Si Si
5.2 ଭୂପୃଷ୍ଠ ସମାପ୍ତ -- ସି-ମୁହଁ CMP ସି-ମୁହଁ CMP ସି-ମୁହଁ CMP
5.3 କଣିକା ea / wafer ≤100 (ଆକାର ≥0.3μm) NA NA
5.4 scratch ea / wafer ≤5, ମୋଟ ଲମ୍ବ ≤200 ମିମି | NA NA
5.5 ଧାର
ଚିପ୍ସ / ଇଣ୍ଡେଣ୍ଟସ୍ / ଫାଟ / ଦାଗ / ପ୍ରଦୂଷଣ |
-- କିଛି ନୁହେଁ | କିଛି ନୁହେଁ | NA
5.6 ପଲିଟାଇପ୍ କ୍ଷେତ୍ରଗୁଡିକ | -- କିଛି ନୁହେଁ | କ୍ଷେତ୍ର ≤10% | କ୍ଷେତ୍ର ≤30% |
5.7 ଆଗ ମାର୍କିଂ -- କିଛି ନୁହେଁ | କିଛି ନୁହେଁ | କିଛି ନୁହେଁ |
6: ପଛ ଗୁଣ |
6.1 ପଛକୁ ଶେଷ -- ସି-ମୁଖ ସାଂସଦ | ସି-ମୁଖ ସାଂସଦ | ସି-ମୁଖ ସାଂସଦ |
6.2 scratch mm NA NA NA
6.3 ପଛ ଦୋଷ ଧାର
ଚିପ୍ସ / ଇଣ୍ଡେଣ୍ଟସ୍ |
-- କିଛି ନୁହେଁ | କିଛି ନୁହେଁ | NA
6.4 ପଛ ରୁଗ୍ଣତା | nm Ra≤5 Ra≤5 Ra≤5
6.5 ପଛ ମାର୍କିଂ | -- ଖଣ୍ଡ ଖଣ୍ଡ ଖଣ୍ଡ
7: ଧାର
7.1 ଧାର -- ଚାମ୍ଫର୍ | ଚାମ୍ଫର୍ | ଚାମ୍ଫର୍ |
8: ପ୍ୟାକେଜ୍ |
8.1 ପ୍ୟାକେଜିଂ -- ଶୂନ୍ୟସ୍ଥାନ ସହିତ ଏପି-ପ୍ରସ୍ତୁତ |
ପ୍ୟାକେଜିଂ
ଶୂନ୍ୟସ୍ଥାନ ସହିତ ଏପି-ପ୍ରସ୍ତୁତ |
ପ୍ୟାକେଜିଂ
ଶୂନ୍ୟସ୍ଥାନ ସହିତ ଏପି-ପ୍ରସ୍ତୁତ |
ପ୍ୟାକେଜିଂ
8.2 ପ୍ୟାକେଜିଂ -- ମଲ୍ଟି ୱେଫର୍ |
କ୍ୟାସେଟ୍ ପ୍ୟାକେଜିଂ |
ମଲ୍ଟି ୱେଫର୍ |
କ୍ୟାସେଟ୍ ପ୍ୟାକେଜିଂ |
ମଲ୍ଟି ୱେଫର୍ |
କ୍ୟାସେଟ୍ ପ୍ୟାକେଜିଂ |

ବିସ୍ତୃତ ଚିତ୍ର

asd (1)
asd (2)
asd (3)

  • ପୂର୍ବ:
  • ପରବର୍ତ୍ତୀ:

  • ତୁମର ବାର୍ତ୍ତା ଏଠାରେ ଲେଖ ଏବଂ ଆମକୁ ପଠାନ୍ତୁ |