8 ଇଞ୍ଚ SiC ଉତ୍ପାଦନ ଗ୍ରେଡ୍ ୱେଫର 4H-N SiC ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍
ନିମ୍ନଲିଖିତ ସାରଣୀ ଆମର 8 ଇଞ୍ଚ SiC ୱେଫରର ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟକରଣ ଦର୍ଶାଉଛି:
| 8 ଇଞ୍ଚ N-ଟାଇପ୍ SiC DSP ସ୍ପେକ୍ସ | |||||
| ସଂଖ୍ୟା | ଆଇଟମ୍ | ୟୁନିଟ୍ | ଉତ୍ପାଦନ | ଗବେଷଣା | ଡମି |
| 1: ପାରାମିଟରଗୁଡ଼ିକ | |||||
| ୧.୧ | ପଲିଟାଇପ୍ | -- | 4H | 4H | 4H |
| ୧.୨ | ପୃଷ୍ଠ ଦିଗନିର୍ଦ୍ଦେଶ | ° | <11-20> ୪±୦.୫ | <11-20> ୪±୦.୫ | <11-20> ୪±୦.୫ |
| 2: ବୈଦ୍ୟୁତିକ ପାରାମିଟର | |||||
| ୨.୧ | ଡୋପାଣ୍ଟ | -- | n-ଟାଇପ୍ ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ | n-ଟାଇପ୍ ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ | n-ଟାଇପ୍ ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ |
| ୨.୨ | ପ୍ରତିରୋଧକତା | ଓମ ·ସେମି | ୦.୦୧୫~୦.୦୨୫ | ୦.୦୧~୦.୦୩ | NA |
| 3: ଯାନ୍ତ୍ରିକ ପାରାମିଟର | |||||
| ୩.୧ | ବ୍ୟାସ | mm | ୨୦୦±୦.୨ | ୨୦୦±୦.୨ | ୨୦୦±୦.୨ |
| ୩.୨ | ଘନତା | μମି | ୫୦୦±୨୫ | ୫୦୦±୨୫ | ୫୦୦±୨୫ |
| ୩.୩ | ନଚ୍ ଓରିଏଣ୍ଟେସନ୍ | ° | [୧- ୧୦୦]±୫ | [୧- ୧୦୦]±୫ | [୧- ୧୦୦]±୫ |
| ୩.୪ | ନଚ୍ ଗଭୀରତା | mm | ୧~୧.୫ | ୧~୧.୫ | ୧~୧.୫ |
| ୩.୫ | ଏଲଟିଭି | μମି | ≤5(୧୦ମିମି*୧୦ମିମି) | ≤5(୧୦ମିମି*୧୦ମିମି) | ≤୧୦(୧୦ମିମି*୧୦ମିମି) |
| ୩.୬ | ଟିଟିଭି | μମି | ≤୧୦ | ≤୧୦ | ≤୧୫ |
| ୩.୭ | ଧନୁ | μମି | -୨୫~୨୫ | -୪୫~୪୫ | -୬୫~୬୫ |
| ୩.୮ | ୱାର୍ପ୍ | μମି | ≤30 | ≤୫୦ | ≤୭୦ |
| ୩.୯ | ଏଏଫ୍ଏମ୍ | nm | ରା≤0.2 | ରା≤0.2 | ରା≤0.2 |
| ୪: ଗଠନ | |||||
| ୪.୧ | ମାଇକ୍ରୋପାଇପ୍ ଘନତ୍ୱ | ଇଏ/ସେମି2 | ≤2 | ≤୧୦ | ≤୫୦ |
| ୪.୨ | ଧାତୁ ସାମଗ୍ରୀ | ପରମାଣୁ/ସେମି2 | ≤1E୧୧ | ≤1E୧୧ | NA |
| ୪.୩ | ଟିଏସଡି | ଇଏ/ସେମି2 | ≤୫୦୦ | ≤1000 | NA |
| ୪.୪ | ବିପିଡି | ଇଏ/ସେମି2 | ≤୨୦୦୦ | ≤୫୦୦୦ | NA |
| ୪.୫ | ଟେଡ୍ | ଇଏ/ସେମି2 | ≤୭୦୦୦ | ≤୧୦୦୦୦ | NA |
| ୫. ସମ୍ମୁଖ ଗୁଣବତ୍ତା | |||||
| ୫.୧ | ଆଗ | -- | Si | Si | Si |
| ୫.୨ | ପୃଷ୍ଠ ସମାପ୍ତି | -- | ସି-ଫେସ୍ CMP | ସି-ଫେସ୍ CMP | ସି-ଫେସ୍ CMP |
| ୫.୩ | କଣିକା | ଇଏ/ୱେଫର | ≤100(ଆକାର≥0.3μm) | NA | NA |
| ୫.୪ | ରାମ୍ପୁଡ଼ିବା | ଇଏ/ୱେଫର | ≤5, ମୋଟ ଲମ୍ବ≤200ମିମି | NA | NA |
| ୫.୫ | ଧାର ଚିପ୍ସ/ଇଣ୍ଡେଣ୍ଟ/ଫଟା/ଦାଗ/ସଂକ୍ରମଣ | -- | କିଛି ନୁହେଁ | କିଛି ନୁହେଁ | NA |
| ୫.୬ | ପଲିଟାଇପ୍ କ୍ଷେତ୍ର | -- | କିଛି ନୁହେଁ | କ୍ଷେତ୍ରଫଳ ≤୧୦% | କ୍ଷେତ୍ରଫଳ ≤30% |
| ୫.୭ | ଆଗ ଚିହ୍ନ | -- | କିଛି ନୁହେଁ | କିଛି ନୁହେଁ | କିଛି ନୁହେଁ |
| ୬: ପଛକୁ ଗୁଣବତ୍ତା | |||||
| ୬.୧ | ପଛ ଶେଷ | -- | ସି-ଫେସ୍ MP | ସି-ଫେସ୍ MP | ସି-ଫେସ୍ MP |
| ୬.୨ | ରାମ୍ପୁଡ଼ିବା | mm | NA | NA | NA |
| ୬.୩ | ପଛ ପଟେ ତ୍ରୁଟି ଥିବା ଧାର ଚିପ୍ସ/ଇଣ୍ଡେଣ୍ଟସ୍ | -- | କିଛି ନୁହେଁ | କିଛି ନୁହେଁ | NA |
| ୬.୪ | ପିଠି ରୁକ୍ଷତା | nm | ରା≤5 | ରା≤5 | ରା≤5 |
| ୬.୫ | ପଛକୁ ଚିହ୍ନିବା | -- | ନଚ୍ | ନଚ୍ | ନଚ୍ |
| ୭:ଧାର | |||||
| ୭.୧ | ଧାର | -- | ଚାମ୍ଫର | ଚାମ୍ଫର | ଚାମ୍ଫର |
| ୮: ପ୍ୟାକେଜ୍ | |||||
| ୮.୧ | ପ୍ୟାକେଜିଙ୍ଗ୍ | -- | ଭାକ୍ୟୁମ୍ ସହିତ ଏପି-ରେଡି ପ୍ୟାକେଜିଙ୍ଗ୍ | ଭାକ୍ୟୁମ୍ ସହିତ ଏପି-ରେଡି ପ୍ୟାକେଜିଙ୍ଗ୍ | ଭାକ୍ୟୁମ୍ ସହିତ ଏପି-ରେଡି ପ୍ୟାକେଜିଙ୍ଗ୍ |
| ୮.୨ | ପ୍ୟାକେଜିଙ୍ଗ୍ | -- | ମଲ୍ଟି-ୱେଫର କ୍ୟାସେଟ୍ ପ୍ୟାକେଜିଂ | ମଲ୍ଟି-ୱେଫର କ୍ୟାସେଟ୍ ପ୍ୟାକେଜିଂ | ମଲ୍ଟି-ୱେଫର କ୍ୟାସେଟ୍ ପ୍ୟାକେଜିଂ |
ବିସ୍ତୃତ ଚିତ୍ର
ଆପଣଙ୍କ ବାର୍ତ୍ତା ଏଠାରେ ଲେଖନ୍ତୁ ଏବଂ ଆମକୁ ପଠାନ୍ତୁ।