AlN-on-NPSS ୱେଫର: ଉଚ୍ଚ-ତାପମାନ, ଉଚ୍ଚ-ଶକ୍ତି, ଏବଂ RF ପ୍ରୟୋଗ ପାଇଁ ଅଣ-ପଲିସ୍ ହୋଇଥିବା ନୀଳମଣି ସବଷ୍ଟ୍ରେଟରେ ଉଚ୍ଚ-କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଆଲୁମିନିୟମ ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍ ସ୍ତର
ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟଗୁଡିକ
ଉଚ୍ଚ-କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା AlN ସ୍ତର: ଆଲୁମିନିୟମ ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍ (AlN) ଏହାର ପାଇଁ ଜଣାଶୁଣାଉଚ୍ଚ ତାପଜ ପରିବାହୀତା(~୨୦୦ ୱାଟ୍/ମି·କେଲିଟାର),ଓସାରିଆ ବ୍ୟାଣ୍ଡଗ୍ୟାପ୍, ଏବଂଉଚ୍ଚ ଭାଙ୍ଗିବା ଭୋଲଟେଜ, ଏହାକୁ ଏକ ଆଦର୍ଶ ସାମଗ୍ରୀ କରିଥାଏଉଚ୍ଚ-ଶକ୍ତି, ଉଚ୍ଚ-ଆବୃତ୍ତି, ଏବଂଉଚ୍ଚ-ତାପମାନଆପ୍ଲିକେସନ୍ଗୁଡ଼ିକ।
ପଲିସ୍ ନନ୍-ସଫାୟାର ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ (NPSS): ପଲିସ୍ ନ ହୋଇଥିବା ନୀଳମଣି ଏକ ପ୍ରଦାନ କରେକମ ଖର୍ଚ୍ଚୀ, ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଭାବରେ ଦୃଢ଼ଆଧାର, ପୃଷ୍ଠ ପଲିସିଂର ଜଟିଳତା ବିନା ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ବୃଦ୍ଧି ପାଇଁ ଏକ ସ୍ଥିର ମୂଳଦୁଆ ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ। NPSS ର ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଗୁଣ ଏହାକୁ ଚ୍ୟାଲେଞ୍ଜିଂ ପରିବେଶ ପାଇଁ ସ୍ଥାୟୀ କରିଥାଏ।
ଉଚ୍ଚ ତାପଜ ସ୍ଥିରତା: AlN-on-NPSS ୱେଫର ଅତ୍ୟନ୍ତ ତାପମାତ୍ରା ପରିବର୍ତ୍ତନକୁ ସହ୍ୟ କରିପାରେ, ଏହାକୁ ବ୍ୟବହାର ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ କରିଥାଏପାୱାର ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ସ, ଅଟୋମୋଟିଭ୍ ସିଷ୍ଟମ୍, LEDs, ଏବଂଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଆପ୍ଲିକେସନ୍ଗୁଡ଼ିକଯାହାକୁ ଉଚ୍ଚ-ତାପମାନ ଅବସ୍ଥାରେ ସ୍ଥିର କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଆବଶ୍ୟକ।
ବୈଦ୍ୟୁତିକ ଇନସୁଲେସନ: AlN ର ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ବୈଦ୍ୟୁତିକ ଅନ୍ତଃସଂଯୋଗ ଗୁଣ ଅଛି, ଯାହା ଏହାକୁ ପ୍ରୟୋଗ ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ କରିଥାଏ ଯେଉଁଠାରେବୈଦ୍ୟୁତିକ ପୃଥକୀକରଣଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ, ଯେଉଁଥିରେRF ଡିଭାଇସଗୁଡ଼ିକଏବଂମାଇକ୍ରୋୱେଭ୍ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ସ.
ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଉତ୍ତାପ ଅପଚୟ: ଉଚ୍ଚ ତାପଜ ପରିବାହୀତା ସହିତ, AlN ସ୍ତର ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ତାପ ଅପଚୟ ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ, ଯାହା ଉଚ୍ଚ ଶକ୍ତି ଏବଂ ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସିରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରୁଥିବା ଡିଭାଇସଗୁଡ଼ିକର କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଏବଂ ସ୍ଥାୟୀତ୍ୱ ବଜାୟ ରଖିବା ପାଇଁ ଅତ୍ୟାବଶ୍ୟକ।
ଟେକ୍ନିକାଲ୍ ପାରାମିଟରଗୁଡ଼ିକ
| ପାରାମିଟର | ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟକରଣ |
| ୱେଫର ବ୍ୟାସ | ୨-ଇଞ୍ଚ, ୪-ଇଞ୍ଚ (କଷ୍ଟମ ଆକାର ଉପଲବ୍ଧ) |
| ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପ୍ରକାର | ପଲିସ୍ ନନ୍-ସଫାୟାର ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ (NPSS) |
| AlN ସ୍ତର ଘନତା | 2µm ରୁ 10µm (କଷ୍ଟମାଇଜେବଲ୍) |
| ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଘନତା | ୪୩୦µm ± ୨୫µm (୨-ଇଞ୍ଚ ପାଇଁ), ୫୦୦µm ± ୨୫µm (୪-ଇଞ୍ଚ ପାଇଁ) |
| ତାପଜ ପରିବାହିତା | ୨୦୦ ୱାଟ୍/ମି.କିଲୋମିଟର |
| ବୈଦ୍ୟୁତିକ ପ୍ରତିରୋଧକତା | ଉଚ୍ଚ ଇନସୁଲେସନ, RF ପ୍ରୟୋଗ ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ |
| ପୃଷ୍ଠର ରୁକ୍ଷତା | Ra ≤ 0.5µm (AlN ସ୍ତର ପାଇଁ) |
| ଭୌତିକ ପବିତ୍ରତା | ଉଚ୍ଚ ବିଶୁଦ୍ଧତା AlN (99.9%) |
| ରଙ୍ଗ | ଧଳା/ଅଫ୍-ଧଳା (ହାଲୁକା ରଙ୍ଗର NPSS ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ସହିତ AlN ସ୍ତର) |
| ୱେଫର୍ ୱାର୍ପ | < 30µm (ସାଧାରଣ) |
| ଡୋପିଂ ପ୍ରକାର | ଅନ-ଡୋପ୍ (କଷ୍ଟମାଇଜଡ୍ କରାଯାଇପାରିବ) |
ଆପ୍ଲିକେସନ୍ଗୁଡ଼ିକ
ଦିAlN-ଅନ୍-NPSS ୱାଫରବିଭିନ୍ନ ଶିଳ୍ପରେ ଉଚ୍ଚ-କ୍ଷମତା ପ୍ରୟୋଗର ଏକ ବିସ୍ତୃତ ପ୍ରକାର ପାଇଁ ଡିଜାଇନ୍ କରାଯାଇଛି:
ଉଚ୍ଚ-ଶକ୍ତି ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ସ: AlN ସ୍ତରର ଉଚ୍ଚ ତାପଜ ପରିବାହୀତା ଏବଂ ଅନ୍ତଃସଂଚାର ଗୁଣ ଏହାକୁ ପାଇଁ ଏକ ଆଦର୍ଶ ସାମଗ୍ରୀ କରିଥାଏପାୱାର ଟ୍ରାଞ୍ଜିଷ୍ଟରଗୁଡ଼ିକ, ସଂଶୋଧନକାରୀ, ଏବଂପାୱାର IC ଗୁଡିକବ୍ୟବହୃତଅଟୋମୋଟିଭ୍, ଶିଳ୍ପ, ଏବଂନବୀକରଣୀୟ ଶକ୍ତିସିଷ୍ଟମଗୁଡ଼ିକ।
ରେଡିଓ-ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସି (RF) ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକ: AlN ର ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ବୈଦ୍ୟୁତିକ ଅନ୍ତଃସଂଯୋଗ ଗୁଣ, ଏହାର କମ କ୍ଷତି ସହିତ, ଉତ୍ପାଦନକୁ ସକ୍ଷମ କରିଥାଏRF ଟ୍ରାଞ୍ଜିଷ୍ଟରଗୁଡ଼ିକ, HEMTs (ଉଚ୍ଚ-ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନ୍-ଗତିଶୀଳତା ଟ୍ରାଞ୍ଜିଷ୍ଟର), ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟମାଇକ୍ରୋୱେଭ୍ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକଯାହା ଉଚ୍ଚ ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସି ଏବଂ ପାୱାର ସ୍ତରରେ ଦକ୍ଷତାର ସହିତ କାର୍ଯ୍ୟ କରେ।
ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଡିଭାଇସଗୁଡ଼ିକ: AlN-on-NPSS ୱେଫରଗୁଡିକ ଏଥିରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏଲେଜର୍ ଡାୟୋଡ୍, LEDs, ଏବଂଫଟୋଡିଟେକ୍ଟର, ଯେଉଁଠାରେଉଚ୍ଚ ତାପଜ ପରିବାହୀତାଏବଂଯାନ୍ତ୍ରିକ ଦୃଢ଼ତାଦୀର୍ଘ ଜୀବନକାଳ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ବଜାୟ ରଖିବା ପାଇଁ ଅତ୍ୟାବଶ୍ୟକ।
ଉଚ୍ଚ-ତାପମାନ ସେନ୍ସରଗୁଡ଼ିକ: ୱେଫରର ଅତ୍ୟଧିକ ଗରମ ସହ୍ୟ କରିବାର କ୍ଷମତା ଏହାକୁ ଉପଯୁକ୍ତ କରିଥାଏତାପମାତ୍ରା ସେନ୍ସର୍ଏବଂପରିବେଶଗତ ତଦାରଖଶିଳ୍ପଗୁଡ଼ିକରେ ଯେପରିକିଅନ୍ତରୀକ୍ଷ, ଅଟୋମୋଟିଭ୍, ଏବଂତେଲ ଏବଂ ଗ୍ୟାସ୍.
ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ପ୍ୟାକେଜିଂ: ଏଥିରେ ବ୍ୟବହୃତ ଗରମ ବିସ୍ତାରକଏବଂତାପଜ ପରିଚାଳନା ସ୍ତରପ୍ୟାକେଜିଂ ସିଷ୍ଟମରେ, ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀଗୁଡ଼ିକର ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟତା ଏବଂ ଦକ୍ଷତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ।
ପ୍ରଶ୍ନ ଏବଂ ଉତ୍ତର
ପ୍ର: ସିଲିକନ୍ ଭଳି ପାରମ୍ପରିକ ସାମଗ୍ରୀ ତୁଳନାରେ AlN-on-NPSS ୱେଫରର ମୁଖ୍ୟ ସୁବିଧା କ'ଣ?
A: ମୁଖ୍ୟ ସୁବିଧା ହେଉଛି AlN ରଉଚ୍ଚ ତାପଜ ପରିବାହୀତା, ଯାହା ଏହାକୁ ଦକ୍ଷତାର ସହିତ ତାପକୁ ନଷ୍ଟ କରିବାକୁ ଅନୁମତି ଦିଏ, ଯାହା ଏହାକୁ ପାଇଁ ଆଦର୍ଶ କରିଥାଏଉଚ୍ଚ-ଶକ୍ତିଏବଂଉଚ୍ଚ-ଆବୃତ୍ତି ପ୍ରୟୋଗଯେଉଁଠାରେ ତାପ ପରିଚାଳନା ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ। ଏହା ସହିତ, AlN ର ଏକଓସାରିଆ ବ୍ୟାଣ୍ଡଗ୍ୟାପ୍ଏବଂ ଉତ୍କୃଷ୍ଟବୈଦ୍ୟୁତିକ ନିରୋଧକ, ଏହାକୁ ବ୍ୟବହାର ପାଇଁ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ କରିଥାଏRFଏବଂମାଇକ୍ରୋୱେଭ୍ ଡିଭାଇସଗୁଡ଼ିକପାରମ୍ପରିକ ସିଲିକନ ତୁଳନାରେ।
ପ୍ର: NPSS ୱେଫର୍ସରେ AlN ସ୍ତରକୁ କଷ୍ଟମାଇଜ୍ କରାଯାଇପାରିବ କି?
ଉ: ହଁ, ଆପଣଙ୍କ ଆବେଦନର ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ଆବଶ୍ୟକତା ପୂରଣ କରିବା ପାଇଁ AlN ସ୍ତରକୁ ଘନତା (2µm ରୁ 10µm କିମ୍ବା ଅଧିକ) ଦୃଷ୍ଟିରୁ କଷ୍ଟମାଇଜ୍ କରାଯାଇପାରିବ। ଆମେ ଡୋପିଂ ପ୍ରକାର (N-ଟାଇପ୍ କିମ୍ବା P-ଟାଇପ୍) ଏବଂ ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର କାର୍ଯ୍ୟ ପାଇଁ ଅତିରିକ୍ତ ସ୍ତର ଦୃଷ୍ଟିରୁ କଷ୍ଟମାଇଜେସନ୍ ମଧ୍ୟ ପ୍ରଦାନ କରୁ।
ପ୍ର: ଅଟୋମୋଟିଭ୍ ଶିଳ୍ପରେ ଏହି ୱେଫରର ସାଧାରଣ ପ୍ରୟୋଗ କ’ଣ?
A: ଅଟୋମୋଟିଭ୍ ଶିଳ୍ପରେ, AlN-on-NPSS ୱେଫର୍ସ ସାଧାରଣତଃ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏପାୱାର ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ସ, LED ଆଲୋକୀକରଣ ସିଷ୍ଟମ୍, ଏବଂତାପମାତ୍ରା ସେନ୍ସର୍। ସେମାନେ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ତାପଜ ପରିଚାଳନା ଏବଂ ବୈଦ୍ୟୁତିକ ଇନସୁଲେସନ ପ୍ରଦାନ କରନ୍ତି, ଯାହା ବିଭିନ୍ନ ତାପମାତ୍ରା ପରିସ୍ଥିତିରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରୁଥିବା ଉଚ୍ଚ-ଦକ୍ଷତା ସିଷ୍ଟମ ପାଇଁ ଅତ୍ୟାବଶ୍ୟକ।
ବିସ୍ତୃତ ଚିତ୍ର
