ବଢ଼ିଥିବା ନୀଳମଣି ବୋଲେ ଇନଗଟ୍ ସ୍ଫଟିକ କେ ପଦ୍ଧତି
ବିସ୍ତୃତ ଚିତ୍ର
ସଂକ୍ଷିପ୍ତ ବିବରଣୀ
A ନୀଳମଣି ବୁଲେଏହା ଆଲୁମିନିୟମ ଅକ୍ସାଇଡ୍ (Al₂O₃) ର ଏକ ବଡ଼, ବଢ଼ିଥିବା ସିଙ୍ଗଲ୍ ସ୍ଫଟିକ ଯାହା ନୀଳମଣି ୱେଫର୍ସ, ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ୱିଣ୍ଡୋଜ୍, ପିନ୍ଧିବା-ପ୍ରତିରୋଧୀ ଅଂଶ ଏବଂ ମଣି କଟିବା ପାଇଁ ଅପଷ୍ଟ୍ରିମ୍ ଫିଡଷ୍ଟକ୍ ଭାବରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରେ। ସହିତମୋହସ୍ ୯ କଠୋରତା, ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ତାପଜ ସ୍ଥିରତା(ତରଳାଇବା ବିନ୍ଦୁ ~2050 °C), ଏବଂବ୍ରଡବ୍ୟାଣ୍ଡ ସ୍ୱଚ୍ଛତାUV ରୁ ମଧ୍ୟ-IR ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ, ନୀଳାକୃତି ହେଉଛି ମାନଦଣ୍ଡ ସାମଗ୍ରୀ ଯେଉଁଠାରେ ସ୍ଥାୟୀତ୍ୱ, ପରିଷ୍କାରତା ଏବଂ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଗୁଣବତ୍ତା ସହାବସ୍ଥାନ କରିବା ଆବଶ୍ୟକ।
ଆମେ ଶିଳ୍ପ-ପ୍ରମାଣିତ ବୃଦ୍ଧି ପଦ୍ଧତି ଦ୍ୱାରା ଉତ୍ପାଦିତ ରଙ୍ଗହୀନ ଏବଂ ଡୋପ୍ଡ ନୀଳାଫୁଲ ବୋଲ୍ ଯୋଗାଣ କରୁ, ଯାହା ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତGaN/AlGaN ଏପିଟାକ୍ସି, ସଠିକତା ଦୃଷ୍ଟିବିଜ୍ଞାନ, ଏବଂଉଚ୍ଚ-ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟ ଶିଳ୍ପ ଉପାଦାନ.
ଆମ ପାଖରୁ ନୀଳମଣି ବୋଲେ କାହିଁକି?
-
ସ୍ଫଟିକ ଗୁଣବତ୍ତା ପ୍ରଥମେ:କମ୍ ଆଭ୍ୟନ୍ତରୀଣ ଚାପ, କମ୍ ବବଲ୍/ଷ୍ଟ୍ରାଇ କଣ୍ଟେଣ୍ଟ, ଡାଉନଷ୍ଟ୍ରିମ୍ ସ୍ଲାଇସିଂ ଏବଂ ଏପିଟାକ୍ସି ପାଇଁ କଡ଼ା ଦିଗ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ।
-
ପ୍ରକ୍ରିୟା ନମନୀୟତା:ଆପଣଙ୍କ ଆବେଦନ ପାଇଁ ଆକାର, ଚାପ ଏବଂ ମୂଲ୍ୟକୁ ସନ୍ତୁଳିତ କରିବା ପାଇଁ KY/HEM/CZ/Verneuil ଅଭିବୃଦ୍ଧି ବିକଳ୍ପଗୁଡ଼ିକ।
-
ସ୍କେଲେବଲ୍ ଜ୍ୟାମିତି:ସିଲିଣ୍ଡ୍ରିକାଲ୍, ଗାଜର ଆକୃତିର, କିମ୍ବା କଷ୍ଟମ୍ ଫ୍ଲାଟ୍, ବିହନ/ଶେଷ ଚିକିତ୍ସା, ଏବଂ ରେଫରେନ୍ସ ପ୍ଲେନ ସହିତ ବ୍ଲକ ବୋଲ୍ସ।
-
ଖୋଜିହେବା ଏବଂ ପୁନରାବୃତ୍ତିଯୋଗ୍ୟ:ବ୍ୟାଚ୍ ରେକର୍ଡ, ମାପ ରିପୋର୍ଟ, ଏବଂ ଗ୍ରହଣୀୟତା ମାନଦଣ୍ଡ ଆପଣଙ୍କ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟକରଣ ସହିତ ସମାନ।
ଅଭିବୃଦ୍ଧି ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା
-
KY (କିରୋପୋଲୋସ୍):ବଡ଼ ବ୍ୟାସ, କମ୍ ଚାପ ଥିବା ବୋଲ୍ସ; ଏପି-ଗ୍ରେଡ୍ ୱେଫର୍ସ ଏବଂ ଅପ୍ଟିକ୍ସ ପାଇଁ ପସନ୍ଦ କରାଯାଏ ଯେଉଁଠାରେ ବାୟାରଫ୍ରିଞ୍ଜେନ୍ସ ଏକରୂପତା ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ।
-
HEM (ତାପ-ବିନିମୟକାରୀ ପଦ୍ଧତି):ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଥର୍ମାଲ୍ ଗ୍ରେଡିଏଣ୍ଟ ଏବଂ ଚାପ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ; ଘନ ଅପ୍ଟିକ୍ସ ଏବଂ ପ୍ରିମିୟମ୍ ଏପି ଫିଡଷ୍ଟକ୍ ପାଇଁ ଆକର୍ଷଣୀୟ।
-
CZ (କୋକ୍ରାଲସ୍କି):ଦିଗନିର୍ଦ୍ଦେଶ ଏବଂ ପୁନଃଉତ୍ପାଦନ କ୍ଷମତାର ଦୃଢ଼ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ; ସ୍ଥିର, ଉଚ୍ଚ-ଉତ୍ପାଦନକାରୀ କଟା ପାଇଁ ଭଲ ପସନ୍ଦ।
-
ଭର୍ନ୍ୟୁଇଲ୍ (ଜ୍ବଳନ୍ତ-ଫ୍ୟୁଜନ):କମ ଖର୍ଚ୍ଚ, ଉଚ୍ଚ ଥ୍ରୁପୁଟ୍; ସାଧାରଣ ଆଲୋକୀକରଣ, ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଅଂଶ ଏବଂ ମଣି ପ୍ରସ୍ତୁତ ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ।
ସ୍ଫଟିକ ଦିଗନିର୍ଦ୍ଦେଶ, ଜ୍ୟାମିତି ଏବଂ ଆକାର
-
ମାନକ ଦିଗନିର୍ଦ୍ଦେଶନ: ସି-ପ୍ଲେନ୍ (୦୦୦୧), ଏକ-ବିମାନ (୧୧-୨୦), ଆର-ପ୍ଲେନ୍ (୧-୧୦୨), ଏମ୍-ପ୍ଲେନ୍ (୧୦-୧୦); କଷ୍ଟମ ପ୍ଲେନ୍ ଉପଲବ୍ଧ।
-
ଦିଗନିର୍ଦ୍ଦେଶ ସଠିକତା:ଲାଉ/XRD ଦ୍ୱାରା ≤ ±0.1° (ଅନୁରୋଧ କଲେ ଆହୁରି କଠୋର)।
-
ଆକୃତିଗୁଡିକ:ନଳାକାର କିମ୍ବା ଗାଜର ପ୍ରକାରର ଗୁଲ୍, ବର୍ଗାକାର/ଆୟତାକାର ଖଣ୍ଡ ଏବଂ ରଡ୍।
-
ସାଧାରଣ ଆକାରର ଲଫାପା: Ø୩୦–୨୨୦ ମିମି, ଲମ୍ବ 50-400 ମିମି(ଅର୍ଡର ଅନୁସାରେ ବଡ଼/ଛୋଟ ତିଆରି)।
-
ଶେଷ/ସନ୍ଦର୍ଭ ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟଗୁଡ଼ିକ:ଡାଉନଷ୍ଟ୍ରିମ୍ ଆଲାଇନ୍ମେଣ୍ଟ ପାଇଁ ସିଡ୍/ଏଣ୍ଡ ଫେସ୍ ମେସିନିଂ, ରେଫରେନ୍ସ ଫ୍ଲାଟ୍/ନଚେସ୍ ଏବଂ ଫିଡୁସିଆଲ୍ସ।
ସାମଗ୍ରୀ ଏବଂ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଗୁଣଧର୍ମ
-
ଗଠନ:ଏକକ-ସ୍ଫଟିକ Al₂O₃, କଞ୍ଚାମାଲ ଶୁଦ୍ଧତା ≥ 99.99%।
-
ଘନତ୍ୱ:~୩.୯୮ ଗ୍ରାମ/ସେମି³
-
କଠିନତା:ମୋହସ୍ ୯
-
ପ୍ରତିସରଣ ସୂଚକାଙ୍କ (589 nm): ନₒ≈ ୧.୭୬୮,ନₑ≈ 1.760 (ଋଣାତ୍ମକ ଏକଅକ୍ଷୀୟ; Δn ≈ 0.008)
-
ଟ୍ରାନ୍ସମିସନ୍ ୱିଣ୍ଡୋ: UV ରୁ ~5 µm ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ(ଘୁରତା- ଏବଂ ଅଶୁଦ୍ଧତା-ନିର୍ଭରଶୀଳ)
-
ତାପଜ ପରିବାହୀତା (300 K):~୨୫ ଘଣ୍ଟା · ମିଟର⁻¹·କେ⁻¹
-
CTE (୨୦–୩୦୦ ଡିଗ୍ରୀ ସେଣ୍ଟିଗ୍ରେଡ):~5–8 × 10⁻⁶ /K (ଦିଗନିବେଶ-ନିର୍ଭରଶୀଳ)
-
ୟଙ୍ଗ୍ଙ୍କ ମଡ୍ୟୁଲସ୍:~345 ଜିପିଏ
-
ବୈଦ୍ୟୁତିକ:ଅତ୍ୟଧିକ ରୋଧକ (ଆଲୋକ ପ୍ରତିରୋଧକତା ସାଧାରଣତଃ ≥ 10¹⁴ Ω·ସେମି)
ଗ୍ରେଡ୍ ଏବଂ ବିକଳ୍ପଗୁଡ଼ିକ
-
ଏପିଟାକ୍ସି ଗ୍ରେଡ୍:ଉଚ୍ଚ-ଉପଜ GaN/AlGaN MOCVD ୱେଫର୍ସ (2-8 ଇଞ୍ଚ ଏବଂ ତା'ଠାରୁ ଅଧିକ ଡାଉନଷ୍ଟ୍ରିମ୍) ପାଇଁ ଅଲ୍ଟ୍ରା-ନିମ୍ନ ବବଲ୍ସ/ଷ୍ଟ୍ରାଇ ଏବଂ ସର୍ବନିମ୍ନ ଚାପ ବାୟାରଫ୍ରିଞ୍ଜେନ୍ସ।
-
ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଗ୍ରେଡ୍:ଝରକା, ଲେନ୍ସ ଏବଂ IR ଭ୍ୟୁପୋର୍ଟ ପାଇଁ ଉଚ୍ଚ ଆଭ୍ୟନ୍ତରୀଣ ପରିବହନ ଏବଂ ଏକରୂପତା।
-
ସାଧାରଣ/ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଗ୍ରେଡ୍:ଘଣ୍ଟା ସ୍ଫଟିକ, ବଟନ୍, ପିନ୍ଧିବା ଅଂଶ ଏବଂ ଘର ପାଇଁ ସ୍ଥାୟୀ, ମୂଲ୍ୟ-ଅନୁକୂଳିତ ଫିଡଷ୍ଟକ୍।
-
ଡୋପିଂ/ରଙ୍ଗ:
-
ରଙ୍ଗହୀନ(ମାନକ)
କ୍ରମ:ଆଲ₂ଓ₃(ମାଣିକ),ଟି:ଆଲ₂ଓ₃(ତି:ନୀଳକ) ପ୍ରିଫର୍ମଗୁଡ଼ିକ
ଅନୁରୋଧ ଅନୁସାରେ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ କ୍ରୋମୋଫୋର (Fe/Ti)
-
ଆପ୍ଲିକେସନ୍ଗୁଡ଼ିକ
ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର: GaN LEDs, micro-LEDs, power HEMTs, RF ଡିଭାଇସ୍ (ନୀଳକ ୱେଫର ଫିଡଷ୍ଟକ୍) ପାଇଁ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍।
ଅପ୍ଟିକ୍ସ ଏବଂ ଫଟୋନିକ୍ସ: ଉଚ୍ଚ-ତାପମାନ/ଚାପ ୱିଣ୍ଡୋ, IR ଭ୍ୟୁପୋର୍ଟ, ଲେଜର କ୍ୟାଭିଟି ୱିଣ୍ଡୋ, ଡିଟେକ୍ଟର କଭର।
ଉପଭୋକ୍ତା ଏବଂ ପିନ୍ଧାଯୋଗ୍ୟ ସାମଗ୍ରୀ: ଘଣ୍ଟା କ୍ରିଷ୍ଟାଲ, କ୍ୟାମେରା ଲେନ୍ସ କଭର, ଫିଙ୍ଗରପ୍ରିଣ୍ଟ ସେନ୍ସର କଭର, ପ୍ରିମିୟମ୍ ବାହ୍ୟ ଅଂଶ।
ଶିଳ୍ପ ଏବଂ ଅନ୍ତରୀକ୍ଷ: ନୋଜଲ୍, ଭଲଭ୍ ସିଟ୍, ସିଲ୍ ରିଙ୍ଗ, ସୁରକ୍ଷା ଝରକା ଏବଂ ପର୍ଯ୍ୟବେକ୍ଷଣ ପୋର୍ଟ।
ଲେଜର/ସ୍ଫଟିକ ବୃଦ୍ଧି: ଡୋପ୍ଡ ବୋଲ୍ସରୁ ଟି:ନୀଳକ ଏବଂ ରୁବି ହୋଷ୍ଟ।
ଏକ ନଜରରେ ତଥ୍ୟ (ସାଧାରଣତଃ, ସନ୍ଦର୍ଭ ପାଇଁ)
| ପାରାମିଟର | ମୂଲ୍ୟ (ସାଧାରଣ) |
|---|---|
| ଗଠନ | ଏକକ-ସ୍ଫଟିକ Al₂O₃ (≥ 99.99% ଶୁଦ୍ଧତା) |
| ଦିଗନିର୍ଦ୍ଦେଶନ | c / a / r / m (ଅନୁରୋଧ ଅନୁସାରେ କଷ୍ଟମ) |
| ଇଣ୍ଡେକ୍ସ @ 589 nm | ନₒ≈ ୧.୭୬୮,ନₑ≈ ୧.୭୬୦ |
| ପରିବହନ ପରିସର | ~0.2–5 µm (ଘୁରତା-ନିର୍ଭରଶୀଳ) |
| ତାପଜ ପରିବାହିତା | ~୨୫ ୱା·ମି⁻¹·କେ⁻¹ (୩୦୦ କେ) |
| CTE (୨୦–୩୦୦ ଡିଗ୍ରୀ ସେଲସିୟସ୍) | ~୫–୮ × ୧୦⁻⁶/କେଭି |
| ୟଙ୍ଗଙ୍କ ମଡ୍ୟୁଲସ୍ | ~345 ଜିପିଏ |
| ଘନତ୍ୱ | ~୩.୯୮ ଗ୍ରାମ/ସେମି³ |
| କଠିନତା | ମୋହସ୍ ୯ |
| ଇଲେକ୍ଟ୍ରିକାଲ୍ | ଇନସୁଲେଟିଂ; ଆୟତନ ପ୍ରତିରୋଧକତା ≥ 10¹⁴ Ω·ସେମି |
ନୀଳମଣି ୱେଫର ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟା
-
ସ୍ଫଟିକ ବୃଦ୍ଧି
ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା ଆଲୁମିନା (Al₂O₃) କୁ ତରଳାଇ ଏକ ନୀଳମଣି ସ୍ଫଟିକ ଇନଗଟ୍ ବ୍ୟବହାର କରି ବୃଦ୍ଧି କରାଯାଏକାଇରୋପୌଲୋସ୍ (କେୱାଇ) or ଜୋକ୍ରାଲସ୍କି (CZ)ପଦ୍ଧତି। -
ଇନଗଟ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ
ଇଣ୍ଡୋକୁ ଏକ ମାନକ ଆକାରରେ ମେସିନ୍ କରାଯାଇଛି - ଟ୍ରିମିଂ, ବ୍ୟାସ ଆକାର ଦେବା, ଏବଂ ଶେଷ-ମୁଖ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ। -
କାଟାଇବା
ନୀଳମଣି ଇଣ୍ଡକୁ ଏକ ବ୍ୟବହାର କରି ପତଳା ୱେଫରରେ କଟାଯାଏହୀରା ତାର କରତ. -
ଦୁଇ-ପାର୍ଶ୍ୱ ଲାପିଂ
କରତ ଚିହ୍ନ ଅପସାରଣ କରିବା ଏବଂ ସମାନ ଘନତା ହାସଲ କରିବା ପାଇଁ ୱାଫରର ଉଭୟ ପାର୍ଶ୍ୱକୁ ଲାପ୍ କରାଯାଏ। -
ଆନିଲିଂ
ୱାଫରଗୁଡ଼ିକୁ ଗରମ ଭାବରେ ଚିକିତ୍ସା କରାଯାଏଆଭ୍ୟନ୍ତରୀଣ ଚାପ ମୁକ୍ତ କରନ୍ତୁଏବଂ ସ୍ଫଟିକର ଗୁଣବତ୍ତା ଏବଂ ସ୍ୱଚ୍ଛତାକୁ ଉନ୍ନତ କରିଥାଏ। -
ଏଜ୍ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ
ପରବର୍ତ୍ତୀ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ସମୟରେ ଚିପିବା ଏବଂ ଫାଟିବା ରୋକିବା ପାଇଁ ୱାଫର ଧାରଗୁଡ଼ିକୁ ବେଭେଲ୍ କରାଯାଇଛି। -
ମାଉଣ୍ଟିଂ
ସଠିକ ପଲିସିଂ ଏବଂ ଯାଞ୍ଚ ପାଇଁ ୱେଫରଗୁଡ଼ିକୁ ବାହକ କିମ୍ବା ଧାରକମାନଙ୍କ ଉପରେ ଲଗାଯାଇଥାଏ। -
DMP (ଡବଲ-ସାଇଡେଡ୍ ମେକାନିକାଲ୍ ପଲିସିଂ)
ପୃଷ୍ଠର ମସୃଣତାକୁ ଉନ୍ନତ କରିବା ପାଇଁ ୱାଫର ପୃଷ୍ଠଗୁଡ଼ିକୁ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଭାବରେ ପଲିସ୍ କରାଯାଏ। -
CMP (କେମିକାଲ୍ ମେକାନିକାଲ୍ ପଲିସିଂ)
ଏକ ସୃଷ୍ଟି କରିବା ପାଇଁ ରାସାୟନିକ ଏବଂ ଯାନ୍ତ୍ରିକ କ୍ରିୟାକୁ ମିଶ୍ରଣ କରି ଏକ ସୂକ୍ଷ୍ମ ପଲିସିଂ ପଦକ୍ଷେପଦର୍ପଣ ପରି ପୃଷ୍ଠ. -
ଦୃଶ୍ୟ ନିରୀକ୍ଷଣ
ଅପରେଟର କିମ୍ବା ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ ସିଷ୍ଟମ ଦୃଶ୍ୟମାନ ପୃଷ୍ଠ ତ୍ରୁଟି ଯାଞ୍ଚ କରନ୍ତି। -
ସମତଳତା ନିରୀକ୍ଷଣ
ପରିମାଣିକ ସଠିକତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିବା ପାଇଁ ସମତଳତା ଏବଂ ଘନତା ସମାନତା ମାପ କରାଯାଏ। -
RCA ସଫା କରିବା
ମାନକ ରାସାୟନିକ ସଫା କରିବା ଦ୍ଵାରା ଜୈବିକ, ଧାତୁ ଏବଂ କଣିକା ପ୍ରଦୂଷକ ପଦାର୍ଥ ଦୂର ହୁଏ। -
ସ୍କ୍ରୁବର୍ ସଫା କରିବା
ଯାନ୍ତ୍ରିକ ସ୍କ୍ରବିଂ ବଳକା ଅଣୁବୀକ୍ଷଣିକ କଣିକାଗୁଡିକୁ ବାହାର କରିଦିଏ। -
ପୃଷ୍ଠ ଦୋଷ ନିରୀକ୍ଷଣ
ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଯାଞ୍ଚ ସ୍କ୍ରାଚ୍, ଗାତ କିମ୍ବା ପ୍ରଦୂଷଣ ଭଳି ସୂକ୍ଷ୍ମ ତ୍ରୁଟି ଚିହ୍ନଟ କରେ।
-
ସ୍ଫଟିକ ବୃଦ୍ଧି
ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା ଆଲୁମିନା (Al₂O₃) କୁ ତରଳାଇ ଏକ ନୀଳମଣି ସ୍ଫଟିକ ଇନଗଟ୍ ବ୍ୟବହାର କରି ବୃଦ୍ଧି କରାଯାଏକାଇରୋପୌଲୋସ୍ (କେୱାଇ) or ଜୋକ୍ରାଲସ୍କି (CZ)ପଦ୍ଧତି। -
ଇନଗଟ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ
ଇଣ୍ଡୋକୁ ଏକ ମାନକ ଆକାରରେ ମେସିନ୍ କରାଯାଇଛି - ଟ୍ରିମିଂ, ବ୍ୟାସ ଆକାର ଦେବା, ଏବଂ ଶେଷ-ମୁଖ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ। -
କାଟାଇବା
ନୀଳମଣି ଇଣ୍ଡକୁ ଏକ ବ୍ୟବହାର କରି ପତଳା ୱେଫରରେ କଟାଯାଏହୀରା ତାର କରତ. -
ଦୁଇ-ପାର୍ଶ୍ୱ ଲାପିଂ
କରତ ଚିହ୍ନ ଅପସାରଣ କରିବା ଏବଂ ସମାନ ଘନତା ହାସଲ କରିବା ପାଇଁ ୱାଫରର ଉଭୟ ପାର୍ଶ୍ୱକୁ ଲାପ୍ କରାଯାଏ। -
ଆନିଲିଂ
ୱାଫରଗୁଡ଼ିକୁ ଗରମ ଭାବରେ ଚିକିତ୍ସା କରାଯାଏଆଭ୍ୟନ୍ତରୀଣ ଚାପ ମୁକ୍ତ କରନ୍ତୁଏବଂ ସ୍ଫଟିକର ଗୁଣବତ୍ତା ଏବଂ ସ୍ୱଚ୍ଛତାକୁ ଉନ୍ନତ କରିଥାଏ। -
ଏଜ୍ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ
ପରବର୍ତ୍ତୀ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ସମୟରେ ଚିପିବା ଏବଂ ଫାଟିବା ରୋକିବା ପାଇଁ ୱାଫର ଧାରଗୁଡ଼ିକୁ ବେଭେଲ୍ କରାଯାଇଛି। -
ମାଉଣ୍ଟିଂ
ସଠିକ ପଲିସିଂ ଏବଂ ଯାଞ୍ଚ ପାଇଁ ୱେଫରଗୁଡ଼ିକୁ ବାହକ କିମ୍ବା ଧାରକମାନଙ୍କ ଉପରେ ଲଗାଯାଇଥାଏ। -
DMP (ଡବଲ-ସାଇଡେଡ୍ ମେକାନିକାଲ୍ ପଲିସିଂ)
ପୃଷ୍ଠର ମସୃଣତାକୁ ଉନ୍ନତ କରିବା ପାଇଁ ୱାଫର ପୃଷ୍ଠଗୁଡ଼ିକୁ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଭାବରେ ପଲିସ୍ କରାଯାଏ। -
CMP (କେମିକାଲ୍ ମେକାନିକାଲ୍ ପଲିସିଂ)
ଏକ ସୃଷ୍ଟି କରିବା ପାଇଁ ରାସାୟନିକ ଏବଂ ଯାନ୍ତ୍ରିକ କ୍ରିୟାକୁ ମିଶ୍ରଣ କରି ଏକ ସୂକ୍ଷ୍ମ ପଲିସିଂ ପଦକ୍ଷେପଦର୍ପଣ ପରି ପୃଷ୍ଠ. -
ଦୃଶ୍ୟ ନିରୀକ୍ଷଣ
ଅପରେଟର କିମ୍ବା ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ ସିଷ୍ଟମ ଦୃଶ୍ୟମାନ ପୃଷ୍ଠ ତ୍ରୁଟି ଯାଞ୍ଚ କରନ୍ତି। -
ସମତଳତା ନିରୀକ୍ଷଣ
ପରିମାଣିକ ସଠିକତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିବା ପାଇଁ ସମତଳତା ଏବଂ ଘନତା ସମାନତା ମାପ କରାଯାଏ। -
RCA ସଫା କରିବା
ମାନକ ରାସାୟନିକ ସଫା କରିବା ଦ୍ଵାରା ଜୈବିକ, ଧାତୁ ଏବଂ କଣିକା ପ୍ରଦୂଷକ ପଦାର୍ଥ ଦୂର ହୁଏ। -
ସ୍କ୍ରୁବର୍ ସଫା କରିବା
ଯାନ୍ତ୍ରିକ ସ୍କ୍ରବିଂ ବଳକା ଅଣୁବୀକ୍ଷଣିକ କଣିକାଗୁଡିକୁ ବାହାର କରିଦିଏ। -
ପୃଷ୍ଠ ଦୋଷ ନିରୀକ୍ଷଣ
ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଯାଞ୍ଚ ସ୍କ୍ରାଚ୍, ଗାତ କିମ୍ବା ପ୍ରଦୂଷଣ ଭଳି ସୂକ୍ଷ୍ମ ତ୍ରୁଟି ଚିହ୍ନଟ କରେ।
ନୀଳମଣି ବୋଲେ (ଏକକ-କ୍ରିଷ୍ଟାଲ ଆଲ₂ଓ₃) — FAQ
Q1: ନୀଳମଣି ବୋଲେ କ'ଣ?
A: ଆଲୁମିନିୟମ ଅକ୍ସାଇଡର ଏକ ଅତ୍ୟଧିକ ବୃଦ୍ଧି ପାଇଥିବା ଏକକ ସ୍ଫଟିକ (Al₂O₃)। ଏହା ନୀଳାକୃତି ୱେଫର୍ସ, ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ୱିଣ୍ଡୋ ଏବଂ ଉଚ୍ଚ-ବ୍ୟବହାର ଉପାଦାନ ତିଆରି କରିବା ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ଉପରମୁହାଁ "ଇଙ୍ଗଟ୍"।
Q2: ଏକ ବୋଉଲ୍ ୱେଫର୍ସ କିମ୍ବା ୱିଣ୍ଡୋଜ୍ ସହିତ କିପରି ଜଡିତ?
ଉ: ଏପି-ଗ୍ରେଡ୍ ୱେଫର୍ସ କିମ୍ବା ଅପ୍ଟିକାଲ୍/ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଅଂଶ ଉତ୍ପାଦନ କରିବା ପାଇଁ ବୋଲ୍ଟିକୁ ଓରିଏଣ୍ଟେଡ୍ → କଟା → ଲାପ୍ → ପଲିସ୍ କରାଯାଇଛି। ସୋର୍ସ ବୋଲ୍ର ସମାନତା ଡାଉନ୍ଷ୍ଟ୍ରିମ୍ ଅମଳକୁ ଦୃଢ଼ ଭାବରେ ପ୍ରଭାବିତ କରେ।
ପ୍ର୩: କେଉଁ ବୃଦ୍ଧି ପଦ୍ଧତି ଉପଲବ୍ଧ ଏବଂ ସେଗୁଡ଼ିକ କିପରି ଭିନ୍ନ?
A: KY (କିରୋପୌଲୋସ୍)ଏବଂହେମ୍ଅଧିକ ଅମଳ,କମ ଚାପବୋଲ୍ସ - ଏପିଟାକ୍ସି ଏବଂ ଉଚ୍ଚ-ସମ୍ପନ୍ନ ଅପ୍ଟିକ୍ସ ପାଇଁ ପସନ୍ଦ କରାଯାଏ।CZ (କୋକ୍ରାଲସ୍କି)ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ପ୍ରଦାନ କରେଦିଗନିର୍ଦ୍ଦେଶ ନିୟନ୍ତ୍ରଣଏବଂ ବହୁତ କିଛି ସ୍ଥିରତା।ଭର୍ନ୍ୟୁଇଲ୍ (ଜ୍ୱାଳା-ସଂଲଗ୍ନ) is କମ ଖର୍ଚ୍ଚୀସାଧାରଣ ଆଲୋକ ବିଜ୍ଞାନ ଏବଂ ମଣି ପ୍ରଫର୍ମ ପାଇଁ।
ପ୍ର 4: ଆପଣ କେଉଁ ଦିଗନିର୍ଦ୍ଦେଶ ପ୍ରଦାନ କରନ୍ତି? ସାଧାରଣତଃ କେଉଁ ସଠିକତା?
A: ସି-ପ୍ଲେନ୍ (୦୦୦୧), ଏ-ପ୍ଲେନ୍ (୧୧-୨୦), ଆର-ପ୍ଲେନ୍ (୧-୧୦୨), ଏମ୍-ପ୍ଲେନ୍ (୧୦-୧୦), ଏବଂ ପ୍ରଥା। ସାଧାରଣତଃ ଦିଗନିର୍ଦ୍ଦେଶ ସଠିକତା≤ ±0.1°ଲାଉ/XRD ଦ୍ୱାରା ଯାଞ୍ଚ କରାଯାଇଛି (ଅନୁରୋଧ କଲେ ଅଧିକ କଠୋର)।
ଦାୟିତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ଇନ-ହାଉସ୍ ସ୍କ୍ରାପ୍ ପରିଚାଳନା ସହିତ ଅପ୍ଟିକାଲ୍-ଗ୍ରେଡ୍ ସ୍ଫଟିକ
ଆମର ସମସ୍ତ ନୀଳମଣି ବୋଲ୍ସ ତିଆରି ହୋଇଛିଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଗ୍ରେଡ୍, ଅପ୍ଟିକ୍ସ ଏବଂ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ସ ପାଇଁ ଉଚ୍ଚ ପ୍ରସାରଣ, କଡ଼ା ଏକରୂପତା, ଏବଂ କମ୍ ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତିକରଣ/ବବଲ୍ ଏବଂ ବିସ୍ଥାପନ ଘନତ୍ୱକୁ ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିବା। ଆମେ ବିହନରୁ ବୋଲ୍ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ସ୍ଫଟିକ ଓରିଏଣ୍ଟେସନ୍ ଏବଂ ବାୟାରଫ୍ରିଞ୍ଜେନ୍ସକୁ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରୁ, ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ଲଟ୍ ଟ୍ରେସେବିଲିଟି ଏବଂ ରନ୍ ମଧ୍ୟରେ ସ୍ଥିରତା ସହିତ। ଡାଇମେନ୍ସନ୍, ଓରିଏଣ୍ଟେସନ୍ (c-, a-, r-ପ୍ଲେନ୍), ଏବଂ ସହନଶୀଳତାକୁ ଆପଣଙ୍କର ଡାଉନଷ୍ଟ୍ରିମ୍ ସ୍ଲାଇସିଂ/ପଲିସିଂ ଆବଶ୍ୟକତା ଅନୁସାରେ କଷ୍ଟମାଇଜ୍ କରାଯାଇପାରିବ।
ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ଭାବରେ, ଯେକୌଣସି ସାମଗ୍ରୀ ଯାହା ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟକରଣରୁ କମ୍ ହୁଏ ତାହା ହେଉଛିସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ଭାବରେ ଘରେ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ କରାଯାଇଛିଏକ ବନ୍ଦ-ଲୁପ୍ କାର୍ଯ୍ୟପ୍ରଣାଳୀ ମାଧ୍ୟମରେ - ସଜାଡ଼ି, ପୁନଃଚକ୍ରିତ ଏବଂ ଦାୟିତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ଭାବରେ ନିଷ୍କାସିତ - ଯାହା ଦ୍ଵାରା ଆପଣ ପରିଚାଳନା କିମ୍ବା ଅନୁପାଳନ ବୋଝ ବିନା ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟ ଗୁଣବତ୍ତା ପାଆନ୍ତି। ଏହି ପଦ୍ଧତି ବିପଦ ହ୍ରାସ କରେ, ଲିଡ୍ ସମୟକୁ କମ କରେ, ଏବଂ ଆପଣଙ୍କର ସ୍ଥାୟୀତ୍ୱ ଲକ୍ଷ୍ୟକୁ ସମର୍ଥନ କରେ।
| ଇନଗଟ୍ ଓଜନ ବ୍ୟାଣ୍ଡ (କେଜି) | ୨″ | ୪″ | ୬″ | ୮″ | ୧୨″ | ଟିପ୍ପଣୀ |
|---|---|---|---|---|---|---|
| ୧୦-୩୦ | ଉପଯୁକ୍ତ | ଉପଯୁକ୍ତ | ସୀମିତ/ସମ୍ଭାବ୍ୟ | ସାଧାରଣ ନୁହେଁ | ବ୍ୟବହୃତ ହୋଇନାହିଁ | ଛୋଟ-ଫର୍ମ ସ୍ଲାଇସିଂ; 6″ ବ୍ୟବହାରଯୋଗ୍ୟ ବ୍ୟାସ/ଲମ୍ବ ଉପରେ ନିର୍ଭର କରେ। |
| ୩୦-୮୦ | ଉପଯୁକ୍ତ | ଉପଯୁକ୍ତ | ଉପଯୁକ୍ତ | ସୀମିତ/ସମ୍ଭାବ୍ୟ | ସାଧାରଣ ନୁହେଁ | ବ୍ୟାପକ ଉପଯୋଗୀତା; ବେଳେବେଳେ 8″ ପାଇଲଟ୍ ଲଟ୍। |
| ୮୦-୧୫୦ | ଉପଯୁକ୍ତ | ଉପଯୁକ୍ତ | ଉପଯୁକ୍ତ | ଉପଯୁକ୍ତ | ସାଧାରଣ ନୁହେଁ | 6-8″ ଉତ୍ପାଦନ ପାଇଁ ଭଲ ସନ୍ତୁଳନ। |
| ୧୫୦-୨୫୦ | ଉପଯୁକ୍ତ | ଉପଯୁକ୍ତ | ଉପଯୁକ୍ତ | ଉପଯୁକ୍ତ | ସୀମିତ/ଅଧ୍ୟୟନ ଏବଂ ବିକାଶ | କଡ଼ା ସ୍ପେକ୍ସ ସହିତ ପ୍ରାରମ୍ଭିକ 12″ ପରୀକ୍ଷଣକୁ ସମର୍ଥନ କରେ। |
| ୨୫୦-୩୦୦ | ଉପଯୁକ୍ତ | ଉପଯୁକ୍ତ | ଉପଯୁକ୍ତ | ଉପଯୁକ୍ତ | ସୀମିତ/କଡ଼ାକଡ଼ି ଭାବରେ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ | ଉଚ୍ଚ-ଭଲ୍ୟୁମ୍ 8″; ଚୟନାତ୍ମକ 12″ ରନ୍। |
| >300 | ଉପଯୁକ୍ତ | ଉପଯୁକ୍ତ | ଉପଯୁକ୍ତ | ଉପଯୁକ୍ତ | ଉପଯୁକ୍ତ | ସୀମାନ୍ତ-ସ୍କେଲ; କଠୋର ସମାନତା/ଉପଜଳ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ସହିତ 12″ ସମ୍ଭବ। |
