ପ୍ରିସିସନ୍ ପଲିସିଂ ସହିତ କଷ୍ଟମାଇଜ୍ଡ୍ ଆକୃତିର ନୀଳମଣି ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ୱିଣ୍ଡୋଜ୍ ନୀଳମଣି ଉପାଦାନ
ଟେକ୍ନିକାଲ୍ ପାରାମିଟରଗୁଡ଼ିକ
| ନୀଳମଣି ଝରକା | |
| ପରିସର | ୮-୪୦୦ ମିମି |
| ପରିମାଣ ସହନଶୀଳତା | +୦/-୦.୦୫ ମିମି |
| ପୃଷ୍ଠ ଗୁଣବତ୍ତା (ସ୍କ୍ରାଚ୍ ଏବଂ ଖୋଳିବା) | ୪୦/୨୦ |
| ପୃଷ୍ଠ ସଠିକତା | λ/10 ପ୍ରତି @633nm |
| ସଫା ଆପେର୍ଚର | ＞୮୫%, > ୯୦% |
| ସମାନ୍ତରାଳତା ସହନଶୀଳତା | ±୨'' - ±୩'' |
| ବେଭେଲ୍ | ୦.୧-୦.୩ ମିମି |
| ଆବରଣ | AR/AF/ଗ୍ରାହକଙ୍କ ଅନୁରୋଧ ଅନୁସାରେ |
ପ୍ରମୁଖ ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟଗୁଡ଼ିକ
୧. ସାମଗ୍ରୀକ ଶ୍ରେଷ୍ଠତା
· ଉନ୍ନତ ତାପଜ ଗୁଣ: 35 W/m·K (100°C ରେ) ତାପଜ ପରିବାହୀତା ପ୍ରଦର୍ଶନ କରେ, ଏକ କମ୍ ତାପଜ ବିସ୍ତାର ଗୁଣାଙ୍କ (5.3×10⁻⁶/K) ସହିତ ଯାହା ଦ୍ରୁତ ତାପମାତ୍ରା ସାଇକେଲିଂ ସମୟରେ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ବିକୃତିକୁ ରୋକିଥାଏ। ଏହି ସାମଗ୍ରୀ କିଛି ସେକେଣ୍ଡରେ 1000°C ରୁ କୋଠରୀ ତାପମାତ୍ରାକୁ ତାପଜ ଆଘାତ ପରିବର୍ତ୍ତନ ସମୟରେ ମଧ୍ୟ ଗଠନମୂଳକ ଅଖଣ୍ଡତା ବଜାୟ ରଖେ।
· ରାସାୟନିକ ସ୍ଥିରତା: ଦୀର୍ଘ ସମୟ ପାଇଁ ଘନୀଭୂତ ଏସିଡ୍ (HF ବାଦ ଦିଆଯାଇଛି) ଏବଂ କ୍ଷାର (pH 1-14) ସହିତ ସଂସ୍ପର୍ଶରେ ଆସିଲେ ଶୂନ୍ୟ ଅବକ୍ଷୟ ପ୍ରଦର୍ଶନ କରେ, ଯାହା ଏହାକୁ ରାସାୟନିକ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ଉପକରଣ ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ କରିଥାଏ।
· ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ରିଫାଇନିମେଣ୍ଟ୍: ଉନ୍ନତ C-ଅକ୍ଷ ସ୍ଫଟିକ ଅଭିବୃଦ୍ଧି ମାଧ୍ୟମରେ, ଦୃଶ୍ୟମାନ ସ୍ପେକ୍ଟ୍ରମ୍ (400-700nm) ରେ 0.1%/ସେମି ତଳେ ବିକ୍ଷିପ୍ତ କ୍ଷତି ସହିତ 85%ରୁ ଅଧିକ ପ୍ରସାରଣ ହାସଲ କରେ।
· ଇଚ୍ଛାଧୀନ ହାଇପର-ହେମିସଫେରିକାଲ୍ ପଲିସିଂ ପୃଷ୍ଠ ପ୍ରତିଫଳନକୁ 1064nm ରେ ପ୍ରତି ପୃଷ୍ଠକୁ <0.2% ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ହ୍ରାସ କରେ।
୨.ପ୍ରିସିସନ୍ ଇଞ୍ଜିନିୟରିଂ କ୍ଷମତା
· ନାନୋସ୍କେଲ ପୃଷ୍ଠ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ: ମ୍ୟାଗ୍ନେଟୋରୋହିଓଲୋଜିକାଲ୍ ଫିନିସିଂ (MRF) ବ୍ୟବହାର କରି, ପୃଷ୍ଠର ରୁକ୍ଷତା <0.3nm Ra ହାସଲ କରେ, ଯାହା ଉଚ୍ଚ-ଶକ୍ତି ଲେଜର ପ୍ରୟୋଗ ପାଇଁ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ଯେଉଁଠାରେ LIDT 1064nm, 10ns ପଲ୍ସରେ 10J/cm² ଅତିକ୍ରମ କରେ।
· ଜଟିଳ ଜ୍ୟାମିତି ନିର୍ମାଣ: <100nm ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟ ରିଜୋଲ୍ୟୁସନ ସହିତ ମାଇକ୍ରୋଫ୍ଲୁଇଡିକ୍ ଚ୍ୟାନେଲ (50μm ପ୍ରସ୍ଥ ସହନଶୀଳତା) ଏବଂ ଡିଫ୍ରାକ୍ଟିଭ୍ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଉପାଦାନ (DOE) ସୃଷ୍ଟି କରିବା ପାଇଁ 5-ଅକ୍ଷ ଅଲ୍ଟ୍ରାସୋନିକ ମେସିନିଂ ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ କରେ।
· ମେଟ୍ରୋଲୋଜି ଇଣ୍ଟିଗ୍ରେସନ୍: 3D ପୃଷ୍ଠ ଚରିତ୍ରୀକରଣ ପାଇଁ ଧଳା-ଆଲୋକ ଇଣ୍ଟରଫେରୋମେଟ୍ରି ଏବଂ ପରମାଣୁ ବଳ ମାଇକ୍ରୋସ୍କୋପି (AFM) କୁ ମିଶ୍ରଣ କରେ, 200mm ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ମଧ୍ୟରେ ଫର୍ମ ସଠିକତା <100nm PV ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ।
ପ୍ରାଥମିକ ପ୍ରୟୋଗଗୁଡ଼ିକ
୧.ପ୍ରତିରକ୍ଷା ସିଷ୍ଟମ ଉନ୍ନତିକରଣ
· ହାଇପରସୋନିକ୍ ଯାନବାହନ ଗୁମ୍ଫା: ସିକର୍ ହେଡ୍ ପାଇଁ MWIR ଟ୍ରାନ୍ସମିସନ୍ ବଜାୟ ରଖିବା ସହିତ ମାକ୍ 5+ ଏରୋଥର୍ମାଲ୍ ଲୋଡ୍ ସହ୍ୟ କରିବା ପାଇଁ ଇଞ୍ଜିନିୟର୍ କରାଯାଇଛି। ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ନାନୋକମ୍ପୋଜିଟ୍ ଏଜ୍ ସିଲ୍ 15G କମ୍ପନ ଲୋଡ୍ ଅଧୀନରେ ଡିଲାମିନେସନ୍କୁ ରୋକିଥାଏ।
· କ୍ୱାଣ୍ଟମ୍ ସେନ୍ସିଂ ପ୍ଲାଟଫର୍ମ: ଅଲ୍ଟ୍ରା-ଲୋ ବାଇରଫ୍ରିଞ୍ଜେନ୍ସ (<5nm/cm) ସଂସ୍କରଣଗୁଡ଼ିକ ବୁଡ଼ାଜାହାଜ ଚିହ୍ନଟ ପ୍ରଣାଳୀରେ ସଠିକତା ମ୍ୟାଗ୍ନେଟୋମେଟ୍ରିକୁ ସକ୍ଷମ କରିଥାଏ।
୨. ଶିଳ୍ପ ପ୍ରକ୍ରିୟା ନବସୃଜନ
· ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଏକ୍ସଟ୍ରିମ୍ ୟୁଭି ଲିଥୋଗ୍ରାଫି: <0.01nm ପୃଷ୍ଠର ରୁକ୍ଷତା ସହିତ ଗ୍ରେଡ୍ AA ପଲିସ୍ଡ୍ ୱିଣ୍ଡୋଜ୍ ଷ୍ଟେପର୍ ସିଷ୍ଟମରେ EUV (13.5nm) ବିକ୍ଷିପ୍ତ କ୍ଷତିକୁ କମ କରିଥାଏ।
· ନ୍ୟୁକ୍ଲିୟର ରିଆକ୍ଟର ମନିଟରିଂ: ନ୍ୟୁଟ୍ରନ୍-ସ୍ୱଚ୍ଛ ପ୍ରକାର (Al₂O₃ ଆଇସୋଟୋପିକାଲି ପ୍ୟୁରିଫାଏଡ୍) Gen IV ରିଆକ୍ଟର କୋରରେ ବାସ୍ତବ-ସମୟ ଦୃଶ୍ୟ ମନିଟରିଂ ପ୍ରଦାନ କରେ।
୩. ଉଦୀୟମାନ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ସମନ୍ୱୟ
· ସ୍ଥାନ-ଭିତ୍ତିକ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଯୋଗାଯୋଗ: ବିକିରଣ-କଠୋର ସଂସ୍କରଣ (1Mrad ଗାମା ଏକ୍ସପୋଜର ପରେ) LEO ସାଟେଲାଇଟ୍ ଲେଜର କ୍ରସଲିଙ୍କ ପାଇଁ 80%ରୁ ଅଧିକ ଟ୍ରାନ୍ସମିସନ୍ ବଜାୟ ରଖେ।
· ବାୟୋଫୋଟୋନିକ୍ସ ଇଣ୍ଟରଫେସ୍: ବାୟୋ-ଇର୍ଟ୍ ପୃଷ୍ଠ ଚିକିତ୍ସା ନିରନ୍ତର ଗ୍ଲୁକୋଜ୍ ମନିଟରିଂ ପାଇଁ ଇମ୍ପ୍ଲାଣ୍ଟେବଲ୍ ରମନ ସ୍ପେକ୍ଟ୍ରୋସ୍କୋପି ୱିଣ୍ଡୋକୁ ସକ୍ଷମ କରିଥାଏ।
୪. ଉନ୍ନତ ଶକ୍ତି ପ୍ରଣାଳୀ
· ଫ୍ୟୁଜନ୍ ରିଆକ୍ଟର ଡାଇଗ୍ନୋଷ୍ଟିକ୍ସ: ମଲ୍ଟି-ଲେୟର କଣ୍ଡକ୍ଟିଭ ଆବରଣ (ITO-AlN) ଟୋକାମାକ୍ ସଂସ୍ଥାପନରେ ପ୍ଲାଜ୍ମା ଦେଖିବା ଏବଂ EMI ସୁରକ୍ଷା ଉଭୟ ପ୍ରଦାନ କରେ।
· ହାଇଡ୍ରୋଜେନ୍ ଭିତ୍ତିଭୂମି: କ୍ରାୟୋଜେନିକ୍-ଗ୍ରେଡ୍ ସଂସ୍କରଣ (20K ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ପରୀକ୍ଷିତ) ତରଳ H₂ ଷ୍ଟୋରେଜ୍ ଭ୍ୟୁପୋର୍ଟରେ ହାଇଡ୍ରୋଜେନ୍ ଭୂସ୍ଖଳନକୁ ରୋକିଥାଏ।
XKH ସେବା ଏବଂ ଯୋଗାଣ କ୍ଷମତା
୧. କଷ୍ଟମ୍ ଉତ୍ପାଦନ ସେବା
· ଚିତ୍ର-ଭିତ୍ତିକ କଷ୍ଟମାଇଜେସନ୍: ଅଣ-ମାନକ ଡିଜାଇନ୍ (1 ମିମି ରୁ 300 ମିମି ଡାଇମେନସନ୍), 20-ଦିନର ଦ୍ରୁତ ବିତରଣ ଏବଂ 4 ସପ୍ତାହ ମଧ୍ୟରେ ପ୍ରଥମ ଥର ପାଇଁ ପ୍ରୋଟୋଟାଇପିଂକୁ ସମର୍ଥନ କରେ।
· ଆବରଣ ସମାଧାନ: ପ୍ରତିଫଳନ କ୍ଷତିକୁ କମ କରିବା ପାଇଁ ପ୍ରତିଫଳନ-ପ୍ରତିଫଳନ (AR), ଫାଉଲିଂ-ପ୍ରତିରୋଧ (AF), ଏବଂ ତରଙ୍ଗଦୈର୍ଘ୍ୟ-ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ଆବରଣ (UV/IR)।
· ସଠିକତା ପଲିସିଂ ଏବଂ ପରୀକ୍ଷଣ: ପରମାଣୁ-ସ୍ତରୀୟ ପଲିସିଂ ≤0.5 nm ପୃଷ୍ଠର ରୁକ୍ଷତା ହାସଲ କରେ, ଇଣ୍ଟରଫେରୋମେଟ୍ରି λ/10 ସମତଳତା ଅନୁପାଳନ ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ।
୨. ଯୋଗାଣ ଶୃଙ୍ଖଳା ଏବଂ ବୈଷୟିକ ସହାୟତା
· ଭୂଲମ୍ବ ସମନ୍ୱୟ: ସ୍ଫଟିକ ବୃଦ୍ଧି (କୋକ୍ରାଲସ୍କି ପଦ୍ଧତି) ଠାରୁ କାଟିବା, ପଲିସ୍ କରିବା ଏବଂ ଆବରଣ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ପୂର୍ଣ୍ଣ-ପ୍ରକ୍ରିୟା ନିୟନ୍ତ୍ରଣ, ସାମଗ୍ରୀର ଶୁଦ୍ଧତା (ଶୂନ୍ୟ/ସୀମା-ମୁକ୍ତ) ଏବଂ ବ୍ୟାଚ୍ ସ୍ଥିରତା ଗ୍ୟାରେଣ୍ଟି ଦିଏ।
· ଶିଳ୍ପ ସହଯୋଗ: ଏରୋସ୍ପେସ୍ ଠିକାଦାରଙ୍କ ଦ୍ୱାରା ପ୍ରମାଣିତ; ଘରୋଇ ପ୍ରତିସ୍ଥାପନ ପାଇଁ ସୁପରଲାଟିସ୍ ହେଟେରୋଷ୍ଟ୍ରକ୍ଚର ବିକାଶ ପାଇଁ CAS ସହିତ ସହଭାଗୀ ହୋଇଛି।
୩.ଉତ୍ପାଦ ପୋର୍ଟଫୋଲିଓ ଏବଂ ଲଜିଷ୍ଟିକ୍ସ
· ମାନକ ଇନଭେଣ୍ଟରୀ: 6-ଇଞ୍ଚରୁ 12-ଇଞ୍ଚ ୱେଫର ଫର୍ମାଟ; ୟୁନିଟ୍ ମୂଲ୍ୟ 43 ରୁ 82 (ଆକାର/ଆବରଣ-ନିର୍ଭର) ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ, ସମାନ ଦିନର ପଠାଣ ସହିତ।
· ପ୍ରୟୋଗ-ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ଡିଜାଇନ୍ ପାଇଁ ବୈଷୟିକ ପରାମର୍ଶ (ଯଥା, ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚାମ୍ବର ପାଇଁ ଷ୍ଟେପ୍ଡ୍ ଝରକା, ତାପଜ ଆଘାତ-ପ୍ରତିରୋଧୀ ଗଠନ)।
