ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ ୱେଫର ରିଙ୍ଗ-କାଟିବା ଉପକରଣ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ଆକାର 8 ଇଞ୍ଚ/12 ଇଞ୍ଚ ୱେଫର ରିଙ୍ଗ କଟିବା
ଟେକ୍ନିକାଲ୍ ପାରାମିଟରଗୁଡ଼ିକ
| ପାରାମିଟର | ୟୁନିଟ୍ | ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟକରଣ |
| ସର୍ବାଧିକ ୱର୍କପିସ୍ ଆକାର | mm | ø୧୨" |
| ସ୍ପିଣ୍ଡଲ୍ | ବିନ୍ୟାସ | ସିଙ୍ଗଲ୍ ସ୍ପିଣ୍ଡଲ୍ |
| ବେଗ | ୩,୦୦୦-୬୦,୦୦୦ ଆରପିଏମ୍ | |
| ଆଉଟପୁଟ୍ ପାୱାର | 30,000 ମିନିଟ୍ରେ 1.8 kW (2.4 ଇଚ୍ଛାଧୀନ) | |
| ସର୍ବାଧିକ ବ୍ଲେଡ୍ ଡାଏ। | Ø୫୮ ମିମି | |
| X-ଅକ୍ଷ | କଟିଂ ପରିସର | ୩୧୦ ମିମି |
| Y-ଅକ୍ଷ | କଟିଂ ପରିସର | ୩୧୦ ମିମି |
| ଷ୍ଟେପ୍ ବୃଦ୍ଧି | ୦.୦୦୦୧ ମିମି | |
| ସ୍ଥିତି ନିର୍ଦ୍ଧାରଣ ସଠିକତା | ≤0.003 ମିମି/310 ମିମି, ≤0.002 ମିମି/5 ମିମି (ଏକକ ତ୍ରୁଟି) | |
| Z-ଅକ୍ଷ | ଆନ୍ଦୋଳନ ସଂକଳ୍ପ | ୦.୦୦୦୦୫ ମିମି |
| ପୁନରାବୃତ୍ତିଯୋଗ୍ୟତା | ୦.୦୦୧ ମିମି | |
| θ-ଅକ୍ଷ | ସର୍ବାଧିକ ଘୂର୍ଣ୍ଣନ | ୩୮୦ ଡିଗ୍ରୀ |
| ସ୍ପିଣ୍ଡଲ୍ ପ୍ରକାର | ଏକକ ସ୍ପିଣ୍ଡଲ୍, ରିଙ୍ଗ କଟିବା ପାଇଁ କଠୋର ବ୍ଲେଡ୍ ସହିତ ସଜ୍ଜିତ | |
| ରିଙ୍ଗ-କଟିଂ ସଠିକତା | μମି | ±୫୦ |
| ୱେଫର ପୋଜିସନିଂ ସଠିକତା | μମି | ±୫୦ |
| ଏକକ-ୱେଫର ଦକ୍ଷତା | ସର୍ବନିମ୍ନ/ୱେଫର | 8 |
| ମଲ୍ଟି-ୱେଫର ଦକ୍ଷତା | ଏକକାଳୀନ 4ଟି ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ୱେଫର ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ କରାଯାଏ | |
| ଉପକରଣର ଓଜନ | kg | ≈୩,୨୦୦ |
| ଉପକରଣ ପରିମାପ (W×D×H) | mm | ୨,୭୩୦ × ୧,୫୫୦ × ୨,୦୭୦ |
କାର୍ଯ୍ୟକାରୀ ନୀତି
ଏହି ମୁଖ୍ୟ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ମାଧ୍ୟମରେ ସିଷ୍ଟମଟି ଅସାଧାରଣ ଟ୍ରିମିଂ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ହାସଲ କରେ:
୧. ବୁଦ୍ଧିମାନ ଗତି ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ପ୍ରଣାଳୀ:
· ଉଚ୍ଚ-ସଠିକତା ରେଖୀୟ ମୋଟର ଡ୍ରାଇଭ୍ (ପୁନରାବୃତ୍ତି ସ୍ଥିତିକରଣ ସଠିକତା: ±0.5μm)
· ଜଟିଳ ପଥ ପ୍ରକ୍ଷେପ ଯୋଜନାକୁ ସମର୍ଥନ କରୁଥିବା ଛଅ-ଅକ୍ଷ ସମକାଳୀନ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ
· କଟିଂ ସ୍ଥିରତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରୁଥିବା ରିଅଲ୍-ଟାଇମ୍ କମ୍ପନ ଦମନ ଆଲଗୋରିଦମ
୨. ଉନ୍ନତ ଚିହ୍ନଟ ପ୍ରଣାଳୀ:
· ସମନ୍ୱିତ 3D ଲେଜର ଉଚ୍ଚତା ସେନ୍ସର (ସଠିକତା: 0.1μm)
· ଉଚ୍ଚ-ରିଜୋଲ୍ୟୁସନ ସିସିଡି ଭିଜୁଆଲ୍ ପୋଜିସନିଂ (୫ ମେଗାପିକ୍ସେଲ)
· ଅନଲାଇନ୍ ଗୁଣବତ୍ତା ଯାଞ୍ଚ ମଡ୍ୟୁଲ୍
3. ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ ପ୍ରକ୍ରିୟା:
· ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ ଲୋଡିଂ/ଅନଲୋଡିଂ (FOUP ମାନକ ଇଣ୍ଟରଫେସ୍ ସୁସଙ୍ଗତ)
· ବୁଦ୍ଧିମାନ ସଜାଡ଼ିବା ପ୍ରଣାଳୀ
· ବନ୍ଦ-ଲୁପ୍ ସଫା କରିବା ୟୁନିଟ୍ (ପରିଷ୍କାରତା: ଶ୍ରେଣୀ 10)
ସାଧାରଣ ପ୍ରୟୋଗଗୁଡ଼ିକ
ଏହି ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରୟୋଗଗୁଡ଼ିକରେ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ମୂଲ୍ୟ ପ୍ରଦାନ କରେ:
| ଆବେଦନ କ୍ଷେତ୍ର | ପ୍ରକ୍ରିୟା ସାମଗ୍ରୀ | ଯାନ୍ତ୍ରିକ ସୁବିଧା |
| IC ନିର୍ମାଣ | ୮/୧୨" ସିଲିକନ୍ ୱେଫର୍ସ | ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ଆଲାଇନ୍ମେଣ୍ଟକୁ ଉନ୍ନତ କରେ |
| ପାୱାର ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକ | SiC/GaN ୱେଫର୍ସ | ଧାର ତ୍ରୁଟିକୁ ରୋକେ |
| MEMS ସେନ୍ସରଗୁଡ଼ିକ | SOI ୱେଫର୍ସ | ଡିଭାଇସର ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ |
| RF ଡିଭାଇସଗୁଡ଼ିକ | GaAs ୱେଫର୍ସ | ଉଚ୍ଚ-ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସି କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତାକୁ ଉନ୍ନତ କରେ |
| ଉନ୍ନତ ପ୍ୟାକେଜିଂ | ପୁନଃଗଠିତ ୱେଫର୍ସ | ପ୍ୟାକେଜିଂ ଉପଜ ବୃଦ୍ଧି କରେ |
ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟଗୁଡିକ
1. ଉଚ୍ଚ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ଦକ୍ଷତା ପାଇଁ ଚାରି-ଷ୍ଟେସନ୍ ବିନ୍ୟାସ;
2. ସ୍ଥିର TAIKO ରିଙ୍ଗ ଡିବଣ୍ଡିଂ ଏବଂ ଅପସାରଣ;
3. ପ୍ରମୁଖ ଉପଭୋଗ୍ୟ ସାମଗ୍ରୀ ସହିତ ଉଚ୍ଚ ସୁସଙ୍ଗତତା;
୪. ବହୁ-ଅକ୍ଷ ସମକାଳୀନ ଟ୍ରିମିଂ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ସଠିକ ଧାର କଟିବା ନିଶ୍ଚିତ କରେ;
୫. ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ ପ୍ରକ୍ରିୟା ପ୍ରବାହ ଶ୍ରମ ଖର୍ଚ୍ଚକୁ ଯଥେଷ୍ଟ ହ୍ରାସ କରେ;
6. କଷ୍ଟମାଇଜ୍ଡ ୱାର୍କଟେବୁଲ୍ ଡିଜାଇନ୍ ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ଗଠନର ସ୍ଥିର ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣକୁ ସକ୍ଷମ କରିଥାଏ;
କାର୍ଯ୍ୟଗୁଡ଼ିକ
୧. ରିଙ୍ଗ-ଡ୍ରପ୍ ଚିହ୍ନଟ ସିଷ୍ଟମ;
2. ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ କାର୍ଯ୍ୟଟେବୁଲ ସଫା କରିବା;
3. ବୁଦ୍ଧିମାନ UV ଡିବଣ୍ଡିଂ ସିଷ୍ଟମ;
୪. ଅପରେସନ୍ ଲଗ୍ ରେକର୍ଡିଂ;
୫. କାରଖାନା ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ ମଡ୍ୟୁଲ୍ ସମନ୍ୱୟ;
ସେବା ପ୍ରତିବଦ୍ଧତା
XKH ଆପଣଙ୍କର ଉତ୍ପାଦନ ଯାତ୍ରାରେ ଉପକରଣ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଏବଂ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ଦକ୍ଷତାକୁ ସର୍ବାଧିକ କରିବା ପାଇଁ ଡିଜାଇନ୍ କରାଯାଇଥିବା ବ୍ୟାପକ, ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ଜୀବନଚକ୍ର ସମର୍ଥନ ସେବା ପ୍ରଦାନ କରେ।
1. କଷ୍ଟମାଇଜେସନ୍ ସେବା
· ଉପଯୁକ୍ତ ଉପକରଣ ବିନ୍ୟାସ: ଆମର ଇଞ୍ଜିନିୟରିଂ ଦଳ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ସାମଗ୍ରୀ ଗୁଣ (Si/SiC/GaAs) ଏବଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଆବଶ୍ୟକତା ଉପରେ ଆଧାର କରି ସିଷ୍ଟମ୍ ପାରାମିଟର (କାଟିବା ଗତି, ବ୍ଲେଡ୍ ଚୟନ, ଇତ୍ୟାଦି)କୁ ଅପ୍ଟିମାଇଜ୍ କରିବା ପାଇଁ କ୍ଲାଏଣ୍ଟମାନଙ୍କ ସହିତ ଘନିଷ୍ଠ ଭାବରେ ସହଯୋଗ କରନ୍ତି।
· ପ୍ରକ୍ରିୟା ବିକାଶ ସମର୍ଥନ: ଆମେ ଧାରର ରୁକ୍ଷତା ମାପ ଏବଂ ତ୍ରୁଟି ମ୍ୟାପିଂ ସମେତ ବିସ୍ତୃତ ବିଶ୍ଳେଷଣ ରିପୋର୍ଟ ସହିତ ନମୁନା ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ପ୍ରଦାନ କରୁ।
· ଉପଭୋଗ୍ୟ ସାମଗ୍ରୀ ସହ-ବିକାଶ: ନୂତନ ସାମଗ୍ରୀ (ଯଥା, Ga₂O₃) ପାଇଁ, ଆମେ ପ୍ରୟୋଗ-ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ବ୍ଲେଡ୍ / ଲେଜର ଅପ୍ଟିକ୍ସ ବିକଶିତ କରିବା ପାଇଁ ପ୍ରମୁଖ ଉପଭୋଗ୍ୟ ନିର୍ମାତାମାନଙ୍କ ସହିତ ସହଭାଗୀତା କରୁ।
2. ବୃତ୍ତିଗତ ବୈଷୟିକ ସହାୟତା
· ଉତ୍ସର୍ଗୀକୃତ ଅନ-ସାଇଟ୍ ସହାୟତା: ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ରାମ୍ପ-ଅପ୍ ପର୍ଯ୍ୟାୟ (ସାଧାରଣତଃ 2-4 ସପ୍ତାହ) ପାଇଁ ପ୍ରମାଣିତ ଇଞ୍ଜିନିୟରମାନଙ୍କୁ ନିଯୁକ୍ତି ଦିଅନ୍ତୁ, ଯେଉଁଥିରେ ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ ହେବ:
ଉପକରଣ କାଲିବ୍ରେସନ୍ ଏବଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଫାଇନ୍-ଟ୍ୟୁନିଂ
ଅପରେଟର ଦକ୍ଷତା ତାଲିମ
ISO କ୍ଲାସ୍ 5 କ୍ଲିନରୁମ୍ ଇଣ୍ଟିଗ୍ରେସନ୍ ମାର୍ଗଦର୍ଶନ
· ପୂର୍ବାନୁମାନିକ ରକ୍ଷଣାବେକ୍ଷଣ: ଅନିଚ୍ଛାକୃତ ଡାଉନଟାଇମ୍ ରୋକିବା ପାଇଁ କମ୍ପନ ବିଶ୍ଳେଷଣ ଏବଂ ସର୍ବୋ ମୋଟର ଡାଇଗ୍ନୋଷ୍ଟିକ୍ସ ସହିତ ତ୍ରୈମାସିକ ସ୍ୱାସ୍ଥ୍ୟ ଯାଞ୍ଚ।
· ଦୂରବର୍ତ୍ତୀ ମନିଟରିଂ: ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ ଅସଙ୍ଗତି ଆଲର୍ଟ ସହିତ ଆମର IoT ପ୍ଲାଟଫର୍ମ (JCFront Connect®) ମାଧ୍ୟମରେ ପ୍ରକୃତ-ସମୟ ଉପକରଣ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଟ୍ରାକିଂ।
3. ମୂଲ୍ୟଯୁକ୍ତ ସେବା
· ପ୍ରକ୍ରିୟା ଜ୍ଞାନ ଆଧାର: ବିଭିନ୍ନ ସାମଗ୍ରୀ ପାଇଁ 300+ ବୈଧ କଟିଂ ରେସିପି ପ୍ରବେଶ କରନ୍ତୁ (ତ୍ରୈମାସିକ ଭାବରେ ଅପଡେଟ୍)।
· ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ରୋଡମ୍ୟାପ୍ ଆଲାଇନ୍ମେଣ୍ଟ: ହାର୍ଡୱେର୍/ସଫ୍ଟୱେର୍ ଅପଗ୍ରେଡ୍ ପାଥ୍ (ଯଥା, AI-ଆଧାରିତ ତ୍ରୁଟି ଚିହ୍ନଟ ମଡ୍ୟୁଲ୍) ସହିତ ଆପଣଙ୍କ ନିବେଶକୁ ଭବିଷ୍ୟତ-ପ୍ରମାଣ କରିବ।
· ଜରୁରୀକାଳୀନ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା: 4 ଘଣ୍ଟା ଦୂରବର୍ତ୍ତୀ ରୋଗ ନିର୍ଣ୍ଣୟ ଏବଂ 48 ଘଣ୍ଟା ଅନ୍-ସାଇଟ୍ ହସ୍ତକ୍ଷେପ (ବିଶ୍ୱବ୍ୟାପୀ କଭରେଜ୍) ଗ୍ୟାରେଣ୍ଟିଯୁକ୍ତ।
୪. ସେବା ଭିତ୍ତିଭୂମି
· କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଗ୍ୟାରେଣ୍ଟି: SLA-ସମର୍ଥିତ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ସମୟ ସହିତ ≥98% ଉପକରଣ ଅପଟାଇମ୍ ପାଇଁ ଚୁକ୍ତିଭିତ୍ତିକ ପ୍ରତିବଦ୍ଧତା।
ନିରନ୍ତର ଉନ୍ନତି
ଆମେ ପ୍ରତିବର୍ଷ ଗ୍ରାହକ ସନ୍ତୁଷ୍ଟି ସର୍ଭେ କରୁ ଏବଂ ସେବା ବିତରଣକୁ ବୃଦ୍ଧି କରିବା ପାଇଁ କାଇଜେନ୍ ପଦକ୍ଷେପ କାର୍ଯ୍ୟକାରୀ କରୁ। ଆମର ଗବେଷଣା ଏବଂ ବିକାଶ ଦଳ କ୍ଷେତ୍ର ଅନ୍ତର୍ଦୃଷ୍ଟିକୁ ଉପକରଣ ଅପଗ୍ରେଡରେ ପରିଣତ କରନ୍ତି - 30% ଫାର୍ମୱେର୍ ଉନ୍ନତି କ୍ଲାଏଣ୍ଟ ମତାମତରୁ ଉତ୍ପନ୍ନ ହୁଏ।
