ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ମଡ୍ୟୁଲେଟର ପାଇଁ 8 ଇଞ୍ଚ LNOI (ଇନ୍ସ୍ୟୁଲେଟରରେ LiNbO3) ୱେଫର୍ ୱେଭଗାଇଡ୍ ସମନ୍ୱିତ ସର୍କିଟ୍
ବିସ୍ତୃତ ଚିତ୍ର


ପରିଚୟ
ଲିଥିୟମ୍ ନିଓବେଟ୍ ଅନ୍ ଇନସୁଲେଟର୍ (LNOI) ୱେଫର୍ ହେଉଛି ବିଭିନ୍ନ ଉନ୍ନତ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଏବଂ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ପ୍ରୟୋଗରେ ବ୍ୟବହୃତ ଏକ ଅତ୍ୟାଧୁନିକ ସାମଗ୍ରୀ। ଏହି ୱେଫର୍ଗୁଡ଼ିକ ଆୟନ୍ ଇମ୍ପ୍ଲାଣ୍ଟେସନ୍ ଏବଂ ୱେଫର୍ ବଣ୍ଡିଂ ଭଳି ଅତ୍ୟାଧୁନିକ କୌଶଳ ବ୍ୟବହାର କରି ଏକ ଇନସୁଲେଟିଂ ସବ୍ଷ୍ଟେଟ୍, ସାଧାରଣତଃ ସିଲିକନ୍ କିମ୍ବା ଅନ୍ୟ ଉପଯୁକ୍ତ ସାମଗ୍ରୀରେ ଲିଥିୟମ୍ ନିଓବେଟ୍ (LiNbO₃) ର ଏକ ପତଳା ସ୍ତର ସ୍ଥାନାନ୍ତର କରି ଉତ୍ପାଦନ କରାଯାଏ। LNOI ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ସିଲିକନ୍ ଅନ୍ ଇନସୁଲେଟର୍ (SOI) ୱେଫର୍ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ସହିତ ଅନେକ ସମାନତା ସେୟାର କରେ କିନ୍ତୁ ଲିଥିୟମ୍ ନିଓବେଟର ଅନନ୍ୟ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଗୁଣର ଲାଭ ଉଠାଏ, ଏହା ଏହାର ପାଇଜୋଇଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍, ପାଇରୋଇଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ ଏବଂ ନନଲାଇନ୍ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟ ପାଇଁ ଜଣାଶୁଣା ଏକ ସାମଗ୍ରୀ।
ଉଚ୍ଚ-ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସି ଏବଂ ଉଚ୍ଚ-ସ୍ପିଡ୍ ପ୍ରୟୋଗରେ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ପ୍ରଦର୍ଶନ ଯୋଗୁଁ LNOI ୱେଫରଗୁଡ଼ିକ ସମନ୍ୱିତ ଅପ୍ଟିକ୍ସ, ଟେଲିକମ୍ୟୁନିକେସନ୍ ଏବଂ କ୍ୱାଣ୍ଟମ୍ କମ୍ପ୍ୟୁଟିଂ ଭଳି କ୍ଷେତ୍ରରେ ଯଥେଷ୍ଟ ଧ୍ୟାନ ଆକର୍ଷଣ କରିଛି। "ସ୍ମାର୍ଟ-କଟ୍" କୌଶଳ ବ୍ୟବହାର କରି ୱେଫରଗୁଡ଼ିକ ଉତ୍ପାଦନ କରାଯାଏ, ଯାହା ଲିଥିୟମ୍ ନିଓବେଟ୍ ପତଳା ଫିଲ୍ମର ଘନତା ଉପରେ ସଠିକ୍ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ସକ୍ଷମ କରିଥାଏ, ଯାହା ୱେଫରଗୁଡ଼ିକ ବିଭିନ୍ନ ପ୍ରୟୋଗ ପାଇଁ ଆବଶ୍ୟକୀୟ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟକରଣ ପୂରଣ କରିଥାଏ ତାହା ନିଶ୍ଚିତ କରିଥାଏ।
ନୀତି
LNOI ୱେଫର୍ସ ତିଆରି କରିବାର ପ୍ରକ୍ରିୟା ଏକ ବଲ୍କ ଲିଥିୟମ୍ ନିଓବେଟ୍ ସ୍ଫଟିକ ସହିତ ଆରମ୍ଭ ହୁଏ। ସ୍ଫଟିକଟି ଆୟନ୍ ପ୍ରତିରୋପଣ କରିଥାଏ, ଯେଉଁଠାରେ ଉଚ୍ଚ-ଶକ୍ତି ହିଲିୟମ୍ ଆୟନ୍ ଲିଥିୟମ୍ ନିଓବେଟ୍ ସ୍ଫଟିକର ପୃଷ୍ଠରେ ପ୍ରବେଶ କରାଏ। ଏହି ଆୟନ୍ ସ୍ଫଟିକକୁ ଏକ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ଗଭୀରତା ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ପ୍ରବେଶ କରେ ଏବଂ ସ୍ଫଟିକ ଗଠନକୁ ବ୍ୟାହତ କରେ, ଏକ ଭଙ୍ଗୁର ସମତଳ ସୃଷ୍ଟି କରେ ଯାହା ପରେ ସ୍ଫଟିକକୁ ପତଳା ସ୍ତରରେ ପୃଥକ କରିବା ପାଇଁ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଇପାରିବ। ହିଲିୟମ୍ ଆୟନ୍ଗୁଡ଼ିକର ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ଶକ୍ତି ପ୍ରତିରୋପଣର ଗଭୀରତାକୁ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରେ, ଯାହା ସିଧାସଳଖ ଶେଷ ଲିଥିୟମ୍ ନିଓବେଟ୍ ସ୍ତରର ଘନତାକୁ ପ୍ରଭାବିତ କରେ।
ଆୟନ ପ୍ରତିରୋପଣ ପରେ, ଲିଥିୟମ ନିଓବେଟ ସ୍ଫଟିକକୁ ୱେଫର ବଣ୍ଡିଂ ନାମକ ଏକ କୌଶଳ ବ୍ୟବହାର କରି ଏକ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ସହିତ ବନ୍ଧିତ କରାଯାଏ। ବନ୍ଧନ ପ୍ରକ୍ରିୟା ସାଧାରଣତଃ ଏକ ସିଧାସଳଖ ବନ୍ଧନ ପଦ୍ଧତି ବ୍ୟବହାର କରେ, ଯେଉଁଠାରେ ଦୁଇଟି ପୃଷ୍ଠ (ଆୟନ-ରୋପିତ ଲିଥିୟମ ନିଓବେଟ ସ୍ଫଟିକ ଏବଂ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍) କୁ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ଏବଂ ଚାପରେ ଏକ ଦୃଢ଼ ବନ୍ଧନ ସୃଷ୍ଟି କରିବା ପାଇଁ ଏକତ୍ର ଚାପି ଦିଆଯାଏ। କିଛି କ୍ଷେତ୍ରରେ, ଅତିରିକ୍ତ ସମର୍ଥନ ପାଇଁ ବେଞ୍ଜୋସାଇକ୍ଲୋବ୍ୟୁଟିନ (BCB) ଭଳି ଏକ ଆଠେସିଭ ସାମଗ୍ରୀ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଇପାରେ।
ବନ୍ଧନ ପରେ, ଆୟନ ଇମ୍ପ୍ଲାଣ୍ଟେସନ୍ ଦ୍ୱାରା ହୋଇଥିବା ଯେକୌଣସି କ୍ଷତିକୁ ମରାମତି କରିବା ଏବଂ ସ୍ତରଗୁଡ଼ିକ ମଧ୍ୟରେ ବନ୍ଧନକୁ ବୃଦ୍ଧି କରିବା ପାଇଁ ୱେଫର ଏକ ଆନିଲିଙ୍ଗ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଦେଇଥାଏ। ଆନିଲିଙ୍ଗ ପ୍ରକ୍ରିୟା ପତଳା ଲିଥିୟମ ନିଓବେଟ୍ ସ୍ତରକୁ ମୂଳ ସ୍ଫଟିକରୁ ଅଲଗା କରିବାରେ ମଧ୍ୟ ସାହାଯ୍ୟ କରେ, ଯାହା ଫଳରେ ଏକ ପତଳା, ଉଚ୍ଚ-ଗୁଣବତ୍ତା ଲିଥିୟମ ନିଓବେଟ୍ ସ୍ତର ଛାଡିଯାଏ ଯାହାକୁ ଡିଭାଇସ୍ ନିର୍ମାଣ ପାଇଁ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଇପାରିବ।
ବିଶେଷତାଗୁଡ଼ିକ
LNOI ୱେଫରଗୁଡ଼ିକ ଅନେକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟକରଣ ଦ୍ୱାରା ବର୍ଣ୍ଣିତ ଯାହା ଉଚ୍ଚ-କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ପ୍ରୟୋଗ ପାଇଁ ସେମାନଙ୍କର ଉପଯୁକ୍ତତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ। ଏଥିରେ ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ:
ସାମଗ୍ରୀ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟକରଣ
ସାମଗ୍ରୀ | ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟକରଣଗୁଡ଼ିକ |
ସାମଗ୍ରୀ | ସମଜାତୀୟ: LiNbO3 |
ସାମଗ୍ରୀର ଗୁଣବତ୍ତା | ବବଲ୍ କିମ୍ବା ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତି <100μm |
ଦିଗନିର୍ଦ୍ଦେଶନ | Y-କଟ୍ ±0.2° |
ଘନତ୍ୱ | ୪.୬୫ ଗ୍ରାମ/ସେମି³ |
କ୍ୟୁରୀ ତାପମାତ୍ରା | ୧୧୪୨ ±୧°ସେ. |
ସ୍ୱଚ୍ଛତା | ୪୫୦-୭୦୦ nm ପରିସର (୧୦ ମିମି ଘନତା)ରେ ୯୫% > |
ଉତ୍ପାଦନ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟକରଣ
ପାରାମିଟର | ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟକରଣ |
ବ୍ୟାସ | ୧୫୦ ମିମି ±୦.୨ ମିମି |
ଘନତା | ୩୫୦ μମି ±୧୦ μମି |
ସମତଳତା | <1.3 ମାଇକ୍ରୋମିଟର |
ମୋଟ ଘନତା ପରିବର୍ତ୍ତନ (TTV) | ୱାର୍ପ୍ <70 μm @ 150 ମିମି ୱାଫର |
ସ୍ଥାନୀୟ ଘନତା ପରିବର୍ତ୍ତନ (LTV) | <70 μm @ 150 ମିମି ୱାଫର |
ରୁକ୍ଷତା | Rq ≤0.5 nm (AFM RMS ମୂଲ୍ୟ) |
ପୃଷ୍ଠ ଗୁଣବତ୍ତା | ୪୦-୨୦ |
କଣିକା (ଅପସାରଣୀୟ) | ୧୦୦-୨୦୦ μm ≤୩ କଣିକା |
ଚିପ୍ସ | <300 μm (ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ୱାଫର, କୌଣସି ବର୍ଜନ କ୍ଷେତ୍ର ନାହିଁ) |
ଫାଟ | କୌଣସି ଫାଟ ନାହିଁ (ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ୱେଫର) |
ପ୍ରଦୂଷଣ | କୌଣସି ଅପସାରଣୀୟ ଦାଗ ନାହିଁ (ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ୱେଫର) |
ସମାନ୍ତରାଳତା | <30 ଆର୍କସେକେଣ୍ଡ |
ଦିଗନିର୍ଦ୍ଦେଶ ସନ୍ଦର୍ଭ ସମତଳ (X-ଅକ୍ଷ) | ୪୭ ±୨ ମିମି |
ଆପ୍ଲିକେସନ୍ଗୁଡ଼ିକ
LNOI ୱେଫରଗୁଡ଼ିକର ଅନନ୍ୟ ଗୁଣ ଯୋଗୁଁ ବିଭିନ୍ନ ପ୍ରକାରର ପ୍ରୟୋଗରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ, ବିଶେଷକରି ଫଟୋନିକ୍ସ, ଟେଲିକମ୍ୟୁନିକେସନ୍ ଏବଂ କ୍ୱାଣ୍ଟମ୍ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା କ୍ଷେତ୍ରରେ। କିଛି ପ୍ରମୁଖ ପ୍ରୟୋଗ ମଧ୍ୟରେ ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ:
ସମନ୍ୱିତ ଅପ୍ଟିକ୍ସ:LNOI ୱେଫରଗୁଡ଼ିକ ସମନ୍ୱିତ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ସର୍କିଟ୍ଗୁଡ଼ିକରେ ବହୁଳ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ, ଯେଉଁଠାରେ ସେମାନେ ମଡ୍ୟୁଲେଟର, ୱେଭଗାଇଡ୍ ଏବଂ ରେସୋନେଟର ଭଳି ଉଚ୍ଚ-କ୍ଷମତା ସମ୍ପନ୍ନ ଫଟୋନିକ୍ ଡିଭାଇସ୍ଗୁଡ଼ିକୁ ସକ୍ଷମ କରନ୍ତି। ଲିଥିୟମ୍ ନିଓବେଟର ଉଚ୍ଚ ଅଣ-ରେଖିକ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଗୁଣ ଏହାକୁ ଦକ୍ଷ ଆଲୋକ ପରିଚାଳନା ଆବଶ୍ୟକ କରୁଥିବା ପ୍ରୟୋଗଗୁଡ଼ିକ ପାଇଁ ଏକ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ପସନ୍ଦ କରିଥାଏ।
ଦୂରସଂଚାର:LNOI ୱେଫରଗୁଡ଼ିକୁ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ମଡ୍ୟୁଲେଟରଗୁଡ଼ିକରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ, ଯାହା ଫାଇବର ଅପ୍ଟିକ୍ ନେଟୱାର୍କ ସମେତ ହାଇ-ସ୍ପିଡ୍ ଯୋଗାଯୋଗ ପ୍ରଣାଳୀରେ ଜରୁରୀ ଉପାଦାନ। ଉଚ୍ଚ ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସିରେ ଆଲୋକକୁ ମଡ୍ୟୁଲେଟ୍ କରିବାର କ୍ଷମତା LNOI ୱେଫରଗୁଡ଼ିକୁ ଆଧୁନିକ ଦୂରସଂଚାର ପ୍ରଣାଳୀ ପାଇଁ ଆଦର୍ଶ କରିଥାଏ।
କ୍ୱାଣ୍ଟମ୍ କମ୍ପ୍ୟୁଟିଂ:କ୍ୱାଣ୍ଟମ୍ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟାରେ, କ୍ୱାଣ୍ଟମ୍ କମ୍ପ୍ୟୁଟର ଏବଂ କ୍ୱାଣ୍ଟମ୍ ଯୋଗାଯୋଗ ପ୍ରଣାଳୀ ପାଇଁ ଉପାଦାନ ତିଆରି କରିବା ପାଇଁ LNOI ୱେଫର ବ୍ୟବହାର କରାଯାଏ। LNOIର ଅଣ-ରେଖିକ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଗୁଣଗୁଡ଼ିକୁ ଜଡିତ ଫୋଟନ୍ ଯୋଡ଼ା ସୃଷ୍ଟି କରିବା ପାଇଁ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଏ, ଯାହା କ୍ୱାଣ୍ଟମ୍ କୀ ବଣ୍ଟନ ଏବଂ କ୍ୱାଣ୍ଟମ୍ କ୍ରିପ୍ଟୋଗ୍ରାଫି ପାଇଁ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ।
ସେନ୍ସର:LNOI ୱେଫରଗୁଡ଼ିକ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଏବଂ ଆକୋଷ୍ଟିକ୍ ସେନ୍ସର ସମେତ ବିଭିନ୍ନ ସେନ୍ସିଂ ପ୍ରୟୋଗରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ। ଆଲୋକ ଏବଂ ଶବ୍ଦ ଉଭୟ ସହିତ ପାରସ୍ପରିକ କ୍ରିୟା କରିବାର ସେମାନଙ୍କର କ୍ଷମତା ସେମାନଙ୍କୁ ବିଭିନ୍ନ ପ୍ରକାରର ସେନ୍ସିଂ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ପାଇଁ ବହୁମୁଖୀ କରିଥାଏ।
ସାଧାରଣ ପ୍ରଶ୍ନ
Q:LNOI ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା କ’ଣ?
A:LNOI ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟାରେ ଏକ ପତଳା ଲିଥିୟମ ନିଓବେଟ ଫିଲ୍ମକୁ ଏକ ଇନସୁଲେଟିଂ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍, ସାଧାରଣତଃ ସିଲିକନ୍ ଉପରେ ସ୍ଥାନାନ୍ତରିତ କରାଯାଇଥାଏ। ଏହି ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ଲିଥିୟମ ନିଓବେଟର ଅନନ୍ୟ ଗୁଣଗୁଡ଼ିକୁ ବ୍ୟବହାର କରେ, ଯେପରିକି ଏହାର ଉଚ୍ଚ ଅଣ-ରେଖିକ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଗୁଣ, ପାଇଜୋଇଲେକ୍ଟ୍ରିସିଟି ଏବଂ ପାଇରୋଇଲେକ୍ଟ୍ରିସିଟି, ଯାହା ଏହାକୁ ସମନ୍ୱିତ ଅପ୍ଟିକ୍ସ ଏବଂ ଟେଲିକମ୍ୟୁନିକେସନ୍ ପାଇଁ ଆଦର୍ଶ କରିଥାଏ।
Q:LNOI ଏବଂ SOI ୱେଫର୍ସ ମଧ୍ୟରେ କ'ଣ ପାର୍ଥକ୍ୟ?
A: LNOI ଏବଂ SOI ୱେଫର ଉଭୟ ସମାନ କାରଣ ଏଗୁଡ଼ିକ ଏକ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ସହିତ ବନ୍ଧିତ ସାମଗ୍ରୀର ଏକ ପତଳା ସ୍ତର ନେଇ ଗଠିତ। ତଥାପି, LNOI ୱେଫରଗୁଡ଼ିକ ପତଳା ଫିଲ୍ମ ସାମଗ୍ରୀ ଭାବରେ ଲିଥିୟମ ନିଓବେଟ ବ୍ୟବହାର କରନ୍ତି, ଯେତେବେଳେ SOI ୱେଫରଗୁଡ଼ିକ ସିଲିକନ୍ ବ୍ୟବହାର କରନ୍ତି। ମୁଖ୍ୟ ପାର୍ଥକ୍ୟ ପତଳା ଫିଲ୍ମ ସାମଗ୍ରୀର ଗୁଣରେ ରହିଛି, LNOI ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଏବଂ ପାଇଜୋଇଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ ଗୁଣ ପ୍ରଦାନ କରେ।
Q:LNOI ୱେଫର୍ସ ବ୍ୟବହାର କରିବାର ସୁବିଧା କ’ଣ?
A: LNOI ୱେଫରଗୁଡ଼ିକର ମୁଖ୍ୟ ସୁବିଧା ମଧ୍ୟରେ ସେମାନଙ୍କର ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଗୁଣଗୁଡ଼ିକ ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ, ଯେପରିକି ଉଚ୍ଚ ଅଣ-ରେଖିକ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଗୁଣାଙ୍କ, ଏବଂ ସେମାନଙ୍କର ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଶକ୍ତି। ଏହି ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟଗୁଡ଼ିକ LNOI ୱେଫରଗୁଡ଼ିକୁ ଉଚ୍ଚ-ଗତି, ଉଚ୍ଚ-ଆବୃତ୍ତି ଏବଂ କ୍ୱାଣ୍ଟମ୍ ପ୍ରୟୋଗରେ ବ୍ୟବହାର ପାଇଁ ଆଦର୍ଶ କରିଥାଏ।
Q:କ୍ୱାଣ୍ଟମ୍ ପ୍ରୟୋଗ ପାଇଁ LNOI ୱେଫର ବ୍ୟବହାର କରାଯାଇପାରିବ କି?
ଉ:ହଁ, LNOI ୱେଫରଗୁଡ଼ିକ କ୍ୱାଣ୍ଟମ୍ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟାରେ ବହୁଳ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ କାରଣ ସେମାନଙ୍କର ଜଡିତ ଫୋଟନ୍ ଯୋଡ଼ା ସୃଷ୍ଟି କରିବାର କ୍ଷମତା ଏବଂ ସମନ୍ୱିତ ଫଟୋନିକ୍ସ ସହିତ ସେମାନଙ୍କର ସୁସଙ୍ଗତତା। ଏହି ଗୁଣଗୁଡ଼ିକ କ୍ୱାଣ୍ଟମ୍ କମ୍ପ୍ୟୁଟିଂ, ଯୋଗାଯୋଗ ଏବଂ କ୍ରିପ୍ଟୋଗ୍ରାଫିରେ ପ୍ରୟୋଗ ପାଇଁ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ।
Q:LNOI ଫିଲ୍ମଗୁଡ଼ିକର ସାଧାରଣ ଘନତା କେତେ?
A: ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ପ୍ରୟୋଗ ଉପରେ ନିର୍ଭର କରି LNOI ଫିଲ୍ମଗୁଡ଼ିକ ସାଧାରଣତଃ କିଛି ଶହ ନାନୋମିଟରରୁ ଅନେକ ମାଇକ୍ରୋମିଟର ଘନତା ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ହୋଇଥାଏ। ଆୟନ ପ୍ରତିରୋପଣ ପ୍ରକ୍ରିୟା ସମୟରେ ଘନତା ନିୟନ୍ତ୍ରିତ ହୁଏ।