LT ଲିଥିୟମ୍ ଟାଣ୍ଟାଲେଟ୍ (LiTaO3) ସ୍ଫଟିକ ୨ଇଞ୍ଚ/୩ଇଞ୍ଚ/୪ଇଞ୍ଚ/୬ଇଞ୍ଚ ଓରିଏଣ୍ଟାଇଟନ୍ Y-୪୨°/୩୬°/୧୦୮° ଘନତା ୨୫୦-୫୦୦ମି
ଟେକ୍ନିକାଲ୍ ପାରାମିଟରଗୁଡ଼ିକ
ନାମ | ଅପ୍ଟିକାଲ୍-ଗ୍ରେଡ୍ LiTaO3 | ଶବ୍ଦ ସାରଣୀ ସ୍ତର LiTaO3 |
ଅକ୍ଷୀୟ | Z କଟ୍ + / - ୦.୨° | 36° Y କଟ୍ / 42° Y କଟ୍ / X କଟ୍(+ / - ୦.୨°) |
ବ୍ୟାସ | ୭୬.୨ ମିମି + / - ୦.୩ ମିମି/୧୦୦±୦.୨ ମିମି | ୭୬.୨ ମିମି + /-୦.୩ ମିମି୧୦୦ମିମି + /-୦.୩ମିମି ୦ର ୧୫୦±୦.୫ମିମି |
ଡାଟମ୍ ପ୍ଲେନ୍ | ୨୨ ମିମି + / - ୨ ମିମି | ୨୨ ମିମି + /-୨ ମିମି୩୨ ମିମି + /-୨ ମିମି |
ଘନତା | ୫୦୦ମିମି + /-୫ମିମି୧୦୦୦ମିମି + /-୫ମିମି | ୫୦୦ମିମି + /-୨୦ମିମି୩୫୦ମିମି + /-୨୦ମିମି |
ଟିଟିଭି | ≤ ୧୦ମ | ≤ ୧୦ମ |
କ୍ୟୁରି ତାପମାତ୍ରା | ୬୦୫ °C + / - ୦.୭ °C (DTA ପଦ୍ଧତି) | ୬୦୫ °C + / -୩ °C (DTA ପଦ୍ଧତି) |
ପୃଷ୍ଠ ଗୁଣବତ୍ତା | ଦୁଇ-ପାର୍ଶ୍ୱ ପଲିସିଂ | ଦୁଇ-ପାର୍ଶ୍ୱ ପଲିସିଂ |
ଚାମ୍ଫର୍ଡ ଧାରଗୁଡ଼ିକ | ଧାର ଗୋଲେଇ | ଧାର ଗୋଲେଇ |
ପ୍ରମୁଖ ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟଗୁଡ଼ିକ
୧.ସ୍ଫଟିକ ଗଠନ ଏବଂ ବୈଦ୍ୟୁତିକ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା
· କ୍ରିଷ୍ଟାଲୋଗ୍ରାଫିକ୍ ସ୍ଥିରତା: 100% 4H-SiC ପଲିଟାଇପ୍ ପ୍ରାଧାନ୍ୟ, ଶୂନ୍ୟ ମଲ୍ଟିକ୍ରିଷ୍ଟାଲାଇନ୍ ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତିକରଣ (ଯଥା, 6H/15R), ଅଧା-ସର୍ବାଧିକ (FWHM) ≤32.7 ଆର୍କସେକରେ XRD ରକିଂ କର୍ଭ ପୂର୍ଣ୍ଣ-ପ୍ରସ୍ଥ ସହିତ।
· ଉଚ୍ଚ ବାହକ ଗତିଶୀଳତା: 5,400 cm²/V·s (4H-SiC) ର ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନ ଗତିଶୀଳତା ଏବଂ 380 cm²/V·s ର ଗର୍ତ୍ତ ଗତିଶୀଳତା, ଯାହା ଉଚ୍ଚ-ଆବୃତ୍ତି ଡିଭାଇସ ଡିଜାଇନକୁ ସକ୍ଷମ କରିଥାଏ।
· ବିକିରଣ କଠିନତା: 1×10¹⁵ n/cm² ବିସ୍ଥାପନ କ୍ଷତି ସୀମା ସହିତ 1 MeV ନ୍ୟୁଟ୍ରନ୍ ବିକିରଣ ସହ୍ୟ କରେ, ଯାହା ମହାକାଶ ଏବଂ ପରମାଣୁ ପ୍ରୟୋଗ ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ।
୨.ତାପଜ ଏବଂ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଗୁଣଧର୍ମ
· ଅସାଧାରଣ ତାପଜ ପରିବାହିତା: 4.9 W/cm·K (4H-SiC), ସିଲିକନ ଅପେକ୍ଷା ତିନିଗୁଣ, 200°C ଉପରେ କାର୍ଯ୍ୟକୁ ସମର୍ଥନ କରେ।
· ନିମ୍ନ ତାପଜ ବିସ୍ତାର ଗୁଣାଙ୍କ: 4.0×10⁻⁶/K (25–1000°C) ର CTE, ସିଲିକନ୍-ଆଧାରିତ ପ୍ୟାକେଜିଂ ସହିତ ସୁସଙ୍ଗତତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ ଏବଂ ତାପଜ ଚାପକୁ ହ୍ରାସ କରେ।
3. ତ୍ରୁଟି ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ଏବଂ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ସଠିକତା
· ମାଇକ୍ରୋପାଇପ୍ ଘନତା: <0.3 cm⁻² (8-ଇଞ୍ଚ ୱେଫର୍ସ), ସ୍ଥାନଚ୍ୟୁତି ଘନତା <1,000 cm⁻² (KOH ଏଚ୍ିଙ୍ଗ୍ ମାଧ୍ୟମରେ ଯାଞ୍ଚ କରାଯାଇଛି)।
· ପୃଷ୍ଠ ଗୁଣବତ୍ତା: CMP-ପଲିସ୍ Ra <0.2 nm ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ, EUV ଲିଥୋଗ୍ରାଫି-ଗ୍ରେଡ୍ ଫ୍ଲାଟନେସ୍ ଆବଶ୍ୟକତା ପୂରଣ କରୁଛି।
ପ୍ରମୁଖ ପ୍ରୟୋଗଗୁଡ଼ିକ
ଡୋମେନ୍ | ପ୍ରୟୋଗ ପରିସ୍ଥିତି | ଯାନ୍ତ୍ରିକ ସୁବିଧା |
ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଯୋଗାଯୋଗ | 100G/400G ଲେଜର, ସିଲିକନ୍ ଫଟୋନିକ୍ସ ହାଇବ୍ରିଡ୍ ମଡ୍ୟୁଲ୍ | InP ବିହନ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ଗୁଡ଼ିକ ସିଧାସଳଖ ବ୍ୟାଣ୍ଡଗ୍ୟାପ୍ (1.34 eV) ଏବଂ Si-ଆଧାରିତ ହେଟେରୋଏପିଟାକ୍ସିକୁ ସକ୍ଷମ କରନ୍ତି, ଯାହା ଅପ୍ଟିକାଲ୍ କପଲିଂ କ୍ଷତିକୁ ହ୍ରାସ କରେ। |
ନୂତନ ଶକ୍ତି ଯାନବାହନ | 800V ଉଚ୍ଚ-ଭୋଲ୍ଟେଜ ଇନଭର୍ଟର, ଅନବୋର୍ଡ ଚାର୍ଜର (OBC) | 4H-SiC ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ 1,200 V ରୁ ଅଧିକ ସହ୍ୟ କରିପାରେ, ଯାହା ଦ୍ଵାରା ପରିବହନ କ୍ଷତି 50% ଏବଂ ସିଷ୍ଟମ ଆୟତନ 40% ହ୍ରାସ ପାଏ। |
5G ଯୋଗାଯୋଗ | ମିଲିମିଟର-ତରଙ୍ଗ RF ଡିଭାଇସ୍ (PA/LNA), ବେସ୍ ଷ୍ଟେସନ୍ ପାୱାର ଆମ୍ପ୍ଲିଫାୟରଗୁଡ଼ିକ | ଅର୍ଦ୍ଧ-ଅନୁଷଙ୍ଗିକ SiC ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ (ପ୍ରତିରୋଧକତା >10⁵ Ω·cm) ଉଚ୍ଚ-ଆବୃତ୍ତି (60 GHz+) ନିଷ୍କ୍ରିୟ ସମନ୍ୱୟକୁ ସକ୍ଷମ କରେ। |
ଶିଳ୍ପ ଉପକରଣ | ଉଚ୍ଚ-ତାପମାନ ସେନ୍ସର, କରେଣ୍ଟ ଟ୍ରାନ୍ସଫର୍ମର, ନ୍ୟୁକ୍ଲିୟର ରିଆକ୍ଟର ମନିଟର | InSb ବିହନ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ (0.17 eV ବ୍ୟାଣ୍ଡଗ୍ୟାପ୍) 300%@10 T ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ଚୁମ୍ବକୀୟ ସମ୍ବେଦନଶୀଳତା ପ୍ରଦାନ କରେ। |
LiTaO₃ ୱେଫର୍ସ - ପ୍ରମୁଖ ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟଗୁଡ଼ିକ
୧. ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ପାଇଜୋଇଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା
· ଉଚ୍ଚ ପାଇଜୋଇଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ ଗୁଣାଙ୍କ (d₃₃~8-10 pC/N, K²~0.5%) 5G RF ଫିଲ୍ଟର ପାଇଁ <1.5dB ଇନସର୍ସନ୍ କ୍ଷତି ସହିତ ଉଚ୍ଚ-ଆବୃତ୍ତି SAW/BAW ଡିଭାଇସଗୁଡ଼ିକୁ ସକ୍ଷମ କରେ।
· ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋମେକାନିକାଲ୍ କପଲିଂ 6GHz ଏବଂ mmWave ପ୍ରୟୋଗ ପାଇଁ ପ୍ରଶସ୍ତ-ବ୍ୟାଣ୍ଡୱିଡଥ୍ (≥5%) ଫିଲ୍ଟର ଡିଜାଇନ୍ ସମର୍ଥନ କରେ।
2. ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଗୁଣଧର୍ମ
· 40GHz ବ୍ୟାଣ୍ଡୱିଡଥ୍ ଠାରୁ ଅଧିକ ହାସଲ କରୁଥିବା ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋ-ଅପ୍ଟିକ୍ ମଡ୍ୟୁଲେଟର ପାଇଁ ବ୍ରଡବ୍ୟାଣ୍ଡ ସ୍ୱଚ୍ଛତା (> 400-5000nm ରୁ 70% ଟ୍ରାନ୍ସମିସନ୍)
· ଦୃଢ଼ ଅଣ-ରୈଖିକ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ସମ୍ବେଦନଶୀଳତା (χ⁽²⁾~30pm/V) ଲେଜର ସିଷ୍ଟମରେ ଦକ୍ଷ ଦ୍ୱିତୀୟ ହାର୍ମୋନିକ୍ ଜେନେରେସନ୍ (SHG)କୁ ସହଜ କରିଥାଏ।
3. ପରିବେଶଗତ ସ୍ଥିରତା
· ଉଚ୍ଚ କ୍ୟୁରି ତାପମାତ୍ରା (600°C) ଅଟୋମୋଟିଭ୍-ଗ୍ରେଡ୍ (-40°C ରୁ 150°C) ପରିବେଶରେ ପାଇଜୋଇଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ବଜାୟ ରଖେ।
· ଏସିଡ୍ / କ୍ଷାର ବିରୁଦ୍ଧରେ ରାସାୟନିକ ଜଡ଼ତା (pH1-13) ଶିଳ୍ପ ସେନ୍ସର ପ୍ରୟୋଗରେ ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ।
4. କଷ୍ଟମାଇଜେସନ୍ କ୍ଷମତା
· ଓରିଏଣ୍ଟେସନ୍ ଇଞ୍ଜିନିୟରିଂ: ଉପଯୁକ୍ତ ପାଇଜୋଇଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ପାଇଁ X-କଟ୍ (51°), Y-କଟ୍ (0°), Z-କଟ୍ (36°)
· ଡୋପିଂ ବିକଳ୍ପ: Mg-ଡୋପେଡ୍ (ଅପ୍ଟିକାଲ୍ କ୍ଷତି ପ୍ରତିରୋଧ), Zn-ଡୋପେଡ୍ (ଉନ୍ନତ d₃₃)
· ପୃଷ୍ଠ ଶେଷ: ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍-ପ୍ରସ୍ତୁତ ପଲିସିଂ (Ra<0.5nm), ITO/Au ଧାତୁକରଣ
LiTaO₃ ୱେଫର୍ସ - ପ୍ରାଥମିକ ପ୍ରୟୋଗ
1. RF ଫ୍ରଣ୍ଟ-ଏଣ୍ଡ ମଡ୍ୟୁଲ୍ସ
· 5G NR SAW ଫିଲ୍ଟର (ବ୍ୟାଣ୍ଡ n77/n79) ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସି ତାପମାତ୍ରା ଗୁଣାଙ୍କ (TCF) ସହିତ <|-15ppm/°C|
· WiFi 6E/7 (5.925-7.125GHz) ପାଇଁ ଅଲ୍ଟ୍ରା-ୱାଇଡବ୍ୟାଣ୍ଡ BAW ରେସୋନେଟରଗୁଡ଼ିକ
୨. ସମନ୍ୱିତ ଫଟୋନିକ୍ସ
· ସୁସଙ୍ଗତ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଯୋଗାଯୋଗ ପାଇଁ ହାଇ-ସ୍ପିଡ୍ ମାକ୍-ଜେହଣ୍ଡର୍ ମଡ୍ୟୁଲେଟର୍ (>100Gbps)
· 3-14μm ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ଟ୍ୟୁନେବଲ୍ କଟଅଫ୍ ତରଙ୍ଗଦୈର୍ଘ୍ୟ ସହିତ QWIP ଇନଫ୍ରାରେଡ୍ ଡିଟେକ୍ଟର।
୩. ଅଟୋମୋଟିଭ୍ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ସ
· 200kHz ରୁ ଅଧିକ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସି ସହିତ ଅଲ୍ଟ୍ରାସୋନିକ ପାର୍କିଂ ସେନ୍ସର
· -୪୦°C ରୁ ୧୨୫°C ତାପଜ ସାଇକେଲିଂରେ ବଞ୍ଚି ରହିଥିବା TPMS ପାଇଜୋଇଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ ଟ୍ରାନ୍ସଡ୍ୟୁସରଗୁଡ଼ିକ
୪. ପ୍ରତିରକ୍ଷା ପ୍ରଣାଳୀ
· 60dB ରୁ ଅଧିକ ବ୍ୟାଣ୍ଡ ପ୍ରତ୍ୟାଖ୍ୟାନ ସହିତ EW ରିସିଭର ଫିଲ୍ଟରଗୁଡ଼ିକ
· 3-5μm MWIR ବିକିରଣ ପ୍ରସାରଣ କରୁଥିବା ମିସାଇଲ ସିକର IR ୱିଣ୍ଡୋଜ୍
୫. ଉଦୀୟମାନ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା
· ମାଇକ୍ରୋୱେଭ୍-ଟୁ-ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ରୂପାନ୍ତର ପାଇଁ ଅପ୍ଟୋମେକାନିକାଲ୍ କ୍ୱାଣ୍ଟମ୍ ଟ୍ରାନ୍ସଡ୍ୟୁସର୍
· ମେଡିକାଲ୍ ଅଲ୍ଟ୍ରାସାଉଣ୍ଡ ଇମେଜିଂ ପାଇଁ PMUT ଆରେ (> 20MHz ରିଜୋଲ୍ୟୁସନ୍)
LiTaO₃ ୱେଫର୍ସ - XKH ସେବାଗୁଡ଼ିକ
1. ଯୋଗାଣ ଶୃଙ୍ଖଳା ପରିଚାଳନା
· ମାନକ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟକରଣ ପାଇଁ 4 ସପ୍ତାହର ଲିଡ୍ ଟାଇମ୍ ସହିତ ବୋଲେ-ଟୁ-ୱେଫର ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ
· ଖର୍ଚ୍ଚ-ଅନୁକୂଳିତ ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରତିଯୋଗୀଙ୍କ ତୁଳନାରେ 10-15% ମୂଲ୍ୟ ଲାଭ ପ୍ରଦାନ କରେ
2. କଷ୍ଟମ୍ ସମାଧାନ
· ଦିଗନିର୍ଦ୍ଦେଶ-ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ୱାଫରିଂ: ସର୍ବୋତ୍ତମ SAW କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ପାଇଁ 36°±0.5° Y-କଟ୍
· ଡୋପଡ୍ କମ୍ପୋଜିସନ୍: ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ପ୍ରୟୋଗ ପାଇଁ MgO (5mol%) ଡୋପିଂ
ଧାତୁକରଣ ସେବା: Cr/Au (100/1000Å) ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଡ୍ ପ୍ୟାଟର୍ନିଂ
3. ଟେକନିକାଲ୍ ସମର୍ଥନ
· ସାମଗ୍ରୀର ଚରିତ୍ରକରଣ: XRD ରକିଂ କର୍ଭ (FWHM<0.01°), AFM ପୃଷ୍ଠ ବିଶ୍ଳେଷଣ
· ଡିଭାଇସ୍ ସିମୁଲେସନ୍: SAW ଫିଲ୍ଟର ଡିଜାଇନ୍ ଅପ୍ଟିମାଇଜେସନ୍ ପାଇଁ FEM ମଡେଲିଂ
ଉପସଂହାର
LiTaO₃ ୱେଫର୍ସଗୁଡ଼ିକ RF ଯୋଗାଯୋଗ, ସମନ୍ୱିତ ଫଟୋନିକ୍ସ ଏବଂ କଠୋର-ପରିବେଶ ସେନ୍ସରଗୁଡ଼ିକରେ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ଉନ୍ନତିକୁ ସକ୍ଷମ କରିଚାଲିଛନ୍ତି। XKHର ସାମଗ୍ରୀ ବିଶେଷଜ୍ଞତା, ଉତ୍ପାଦନ ସଠିକତା ଏବଂ ପ୍ରୟୋଗ ଇଞ୍ଜିନିୟରିଂ ସମର୍ଥନ ଗ୍ରାହକମାନଙ୍କୁ ପରବର୍ତ୍ତୀ ପିଢ଼ିର ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ସିଷ୍ଟମରେ ଡିଜାଇନ୍ ଚ୍ୟାଲେଞ୍ଜଗୁଡ଼ିକୁ ଦୂର କରିବାରେ ସାହାଯ୍ୟ କରେ।


