ପ୍ରାଥମିକ ଫ୍ଲାଟ ଓରିଏଣ୍ଟେସନ୍ ସହିତ P- ପ୍ରକାର SiC ୱେଫର୍ 4H / 6H-P 3C-N 6inch ମୋଟା 350 μm |
ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟକରଣ 4H / 6H-P ପ୍ରକାର SiC କମ୍ପୋଜିଟ୍ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ସାଧାରଣ ପାରାମିଟର ସାରଣୀ |
6 ଇଞ୍ଚ ବ୍ୟାସ ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ (SiC) ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ | ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟକରଣ
| ଗ୍ରେଡ୍ | ଜିରୋ MPD ଉତ୍ପାଦନ |ଗ୍ରେଡ୍ (Z। ଗ୍ରେଡ୍) | ମାନକ ଉତ୍ପାଦନ |ଗ୍ରେଡ୍ (ପି ଗ୍ରେଡ୍) | ଡମି ଗ୍ରେଡ୍ | (D ଗ୍ରେଡ୍) | ||
| ବ୍ୟାସ | 145.5 ମିମି ~ 150.0 ମିମି | | ||||
| ମୋଟା | | 350 μm ± 25 μm | | ||||
| ୱେଫର୍ ଓରିଏଣ୍ଟେସନ୍ | | -Offଅକ୍ଷ: 4H / 6H-P ପାଇଁ 2.0 ° -4.0 ° ଆଡକୁ [1120] ± 0.5 °, ଅକ୍ଷରେ: 3C-N ପାଇଁ 〈111〉 ± 0.5 ° | | ||||
| ମାଇକ୍ରୋପାଇପ୍ ସାନ୍ଧ୍ରତା | | 0 cm-2 | ||||
| ପ୍ରତିରୋଧକତା | | p- ପ୍ରକାର 4H / 6H-P | | ≤0.1 Ωꞏcm | ≤0.3 Ωꞏcm | ||
| n- ପ୍ରକାର 3C-N | | ≤0.8 mΩꞏcm | ≤1 ମି Ωꞏcm | |||
| ପ୍ରାଥମିକ ଫ୍ଲାଟ ଓରିଏଣ୍ଟେସନ୍ | | 4H / 6H-P | -{1010} ± 5.0 ° | | |||
| 3C-N | -{110} ± 5.0 ° | | ||||
| ପ୍ରାଥମିକ ଫ୍ଲାଟ ଲମ୍ବ | | 32.5 mm ± 2.0 mm | ||||
| ଦ୍ୱିତୀୟ ଫ୍ଲାଟ ଲମ୍ବ | | 18.0 mm ± 2.0 mm | ||||
| ସେକେଣ୍ଡାରୀ ଫ୍ଲାଟ ଓରିଏଣ୍ଟେସନ୍ | | ସିଲିକନ୍ ମୁହଁ: 90 ° CW | ପ୍ରାଇମ୍ ଫ୍ଲାଟରୁ ± 5.0 ° | | ||||
| ଧାର ବହିଷ୍କାର | | 3 ମିମି | 6 ମିମି | |||
| LTV / TTV / ଧନୁ / ୱାର୍ପ | | ≤2.5 μm / ≤5 μm / ≤15 μm / ≤30 μm | | ≤10 μm / ≤15 μm / ≤25 μm / ≤40 μm | | |||
| ରୁଗ୍ଣତା | | ପୋଲାଣ୍ଡ Ra≤1 nm | ||||
| CMP Ra≤0.2 nm | Ra≤0.5 nm | ||||
| ଉଚ୍ଚ ତୀବ୍ରତା ଆଲୋକ ଦ୍ୱାରା ଏଜ୍ ଫାଟ | | କିଛି ନୁହେଁ | | ସଂଗୃହିତ ଦ length ର୍ଘ୍ୟ ≤ 10 ମିମି, ଏକକ ଦ length ର୍ଘ୍ୟ ≤2 ମିମି | | |||
| ଉଚ୍ଚ ତୀବ୍ରତା ଆଲୋକ ଦ୍ୱାରା ହେକ୍ସ ପ୍ଲେଟ୍ | | ସଂଗୃହିତ କ୍ଷେତ୍ର ≤0.05% | | ସଂଗୃହିତ କ୍ଷେତ୍ର ≤0.1% | | |||
| ଉଚ୍ଚ ତୀବ୍ରତା ଆଲୋକ ଦ୍ୱାରା ପଲିଟାଇପ୍ କ୍ଷେତ୍ରଗୁଡିକ | | କିଛି ନୁହେଁ | | ସଂଗୃହିତ କ୍ଷେତ୍ର ≤3% | | |||
| ଭିଜୁଆଲ୍ କାର୍ବନ୍ ଅନ୍ତର୍ଭୂକ୍ତ | | ସଂଗୃହିତ କ୍ଷେତ୍ର ≤0.05% | | ସଂଗୃହିତ କ୍ଷେତ୍ର ≤3% | | |||
| ଉଚ୍ଚ ତୀବ୍ରତା ଆଲୋକ ଦ୍ୱାରା ସିଲିକନ୍ ସର୍ଫେସ୍ ସ୍କ୍ରାଚ୍ | | କିଛି ନୁହେଁ | | ସଂକଳନ ଦ length ର୍ଘ୍ୟ ≤ × ୱେଫର୍ ବ୍ୟାସ | | |||
| ତୀବ୍ରତା ଆଲୋକ ଦ୍ୱାରା ଏଜ୍ ଚିପ୍ସ ଉଚ୍ଚ | | କେହି ≥0.2 ମିମି ମୋଟେଇ ଏବଂ ଗଭୀରତାକୁ ଅନୁମତି ଦେଲେ ନାହିଁ | | 5 ଅନୁମତିପ୍ରାପ୍ତ, ପ୍ରତ୍ୟେକ ≤1 ମିମି | | |||
| ଉଚ୍ଚ ତୀବ୍ରତା ଦ୍ Sil ାରା ସିଲିକନ୍ ସର୍ଫେସ୍ ପ୍ରଦୂଷଣ | | କିଛି ନୁହେଁ | | ||||
| ପ୍ୟାକେଜିଂ | ମଲ୍ଟି ୱେଫର୍ କ୍ୟାସେଟ୍ କିମ୍ବା ଏକକ ୱାଫର୍ କଣ୍ଟେନର୍ | | ||||
ଟିପ୍ପଣୀ:
ଧାର ସୀମା ସୀମା ସମଗ୍ର ୱେଫର୍ ପୃଷ୍ଠରେ ପ୍ରଯୁଜ୍ୟ | # Si face o ରେ ସ୍କ୍ରାଚ୍ ଯାଞ୍ଚ କରାଯିବା ଉଚିତ୍ |
ଉଚ୍ଚ-କ୍ଷମତା ସମ୍ପନ୍ନ ଶକ୍ତି ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ସର ଶିଳ୍ପ ଉତ୍ପାଦନରେ ପି-ଟାଇପ୍ ସିସି ୱେଫର୍, 4H / 6H-P 3C-N, ଏହାର 6-ଇଞ୍ଚ ଆକାର ଏବଂ 350 μ ମିଟର ମୋଟା ସହିତ ଏକ ପ୍ରମୁଖ ଭୂମିକା ଗ୍ରହଣ କରିଥାଏ | ଏହାର ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଥର୍ମାଲ୍ କଣ୍ଡକ୍ଟିଭିଟି ଏବଂ ହାଇ ବ୍ରେକଡାଉନ୍ ଭୋଲଟେଜ୍ ଏହାକୁ ଉତ୍ପାଦନ ଉପାଦାନ ପାଇଁ ଆଦର୍ଶ କରିଥାଏ ଯେପରିକି ବିଦ୍ୟୁତ୍ ଯାନ, ପାୱାର୍ ଗ୍ରୀଡ୍ ଏବଂ ଅକ୍ଷୟ ଶକ୍ତି ପ୍ରଣାଳୀ ପରି ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ପରିବେଶରେ ବ୍ୟବହୃତ ପାୱାର୍ ସୁଇଚ୍, ଡାୟୋଡ୍ ଏବଂ ଟ୍ରାନଜିଷ୍ଟର | କଠିନ ପରିସ୍ଥିତିରେ ଦକ୍ଷତାର ସହିତ କାର୍ଯ୍ୟ କରିବା ପାଇଁ ୱେଫରର କ୍ଷମତା ଉଚ୍ଚ ଶକ୍ତି ସାନ୍ଧ୍ରତା ଏବଂ ଶକ୍ତି ଦକ୍ଷତା ଆବଶ୍ୟକ କରୁଥିବା ଶିଳ୍ପ ପ୍ରୟୋଗଗୁଡ଼ିକରେ ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ | ଅତିରିକ୍ତ ଭାବରେ, ଏହାର ପ୍ରାଥମିକ ଫ୍ଲାଟ ଆରିଏଣ୍ଟେସନ୍ ଉପକରଣ ତିଆରି ସମୟରେ ସଠିକ୍ ଆଲାଇନ୍ମେଣ୍ଟରେ ସାହାଯ୍ୟ କରିଥାଏ, ଉତ୍ପାଦନ ଦକ୍ଷତା ଏବଂ ଉତ୍ପାଦର ସ୍ଥିରତା ବ .ାଇଥାଏ |
N- ପ୍ରକାର SiC କମ୍ପୋଜିଟ୍ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଗୁଡିକର ସୁବିଧା ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ କରେ |
- ଉଚ୍ଚ ତାପଜ ଚାଳନା |: ପି-ଟାଇପ୍ ସିସି ୱାଫର୍ଗୁଡ଼ିକ ଦକ୍ଷତାର ସହିତ ଉତ୍ତାପ ବିସ୍ତାର କରେ, ଯାହା ସେମାନଙ୍କୁ ଉଚ୍ଚ-ତାପମାତ୍ରା ପ୍ରୟୋଗ ପାଇଁ ଆଦର୍ଶ କରିଥାଏ |
- ହାଇ ବ୍ରେକଡାଉନ୍ ଭୋଲଟେଜ୍ |: ଉଚ୍ଚ ଭୋଲ୍ଟେଜ୍ ସହ୍ୟ କରିବାରେ ସକ୍ଷମ, ପାୱାର ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ସ ଏବଂ ହାଇ-ଭୋଲଟେଜ୍ ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକରେ ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟତା ସୁନିଶ୍ଚିତ |
- କଠୋର ପରିବେଶ ପ୍ରତି ପ୍ରତିରୋଧ |: ଅତ୍ୟଧିକ ପରିସ୍ଥିତିରେ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ସ୍ଥାୟୀତ୍ୱ, ଯେପରିକି ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ଏବଂ କ୍ଷତିକାରକ ପରିବେଶ |
- ଦକ୍ଷ ଶକ୍ତି ରୂପାନ୍ତର |: ପି-ପ୍ରକାରର ଡୋପିଂ ଦକ୍ଷ ଶକ୍ତି ନିୟନ୍ତ୍ରଣକୁ ସହଜ କରିଥାଏ, ୱେଫର୍ ଶକ୍ତି ରୂପାନ୍ତର ପ୍ରଣାଳୀ ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ କରିଥାଏ |
- ପ୍ରାଥମିକ ଫ୍ଲାଟ ଓରିଏଣ୍ଟେସନ୍ |: ଉତ୍ପାଦନ ସମୟରେ ସଠିକ୍ ଆଲାଇନ୍ମେଣ୍ଟ୍ ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ, ଉପକରଣର ସଠିକତା ଏବଂ ସ୍ଥିରତାକୁ ଉନ୍ନତ କରେ |
- ପତଳା ଗଠନ (350 μm): ୱେଫର୍ ର ସର୍ବୋଚ୍ଚ ଘନତା ଉନ୍ନତ, ସ୍ପେସ୍-ସୀମିତ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକରେ ଏକୀକରଣକୁ ସମର୍ଥନ କରେ |
ମୋଟ ଉପରେ, P- ପ୍ରକାର SiC ୱେଫର୍, 4H / 6H-P 3C-N, ଅନେକ ସୁବିଧା ପ୍ରଦାନ କରେ ଯାହା ଏହାକୁ ଶିଳ୍ପ ଏବଂ ବ electronic ଦ୍ୟୁତିକ ପ୍ରୟୋଗ ପାଇଁ ଅତ୍ୟନ୍ତ ଉପଯୁକ୍ତ କରିଥାଏ | ଏହାର ଉଚ୍ଚ ଥର୍ମାଲ୍ କଣ୍ଡକ୍ଟିଭିଟି ଏବଂ ବ୍ରେକଡାଉନ୍ ଭୋଲଟେଜ୍ ଉଚ୍ଚ-ତାପମାତ୍ରା ଏବଂ ଉଚ୍ଚ-ଭୋଲଟେଜ୍ ପରିବେଶରେ ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟ କାର୍ଯ୍ୟକୁ ସକ୍ଷମ କରିଥାଏ, ଯେତେବେଳେ କଠିନ ପରିସ୍ଥିତି ପ୍ରତି ଏହାର ପ୍ରତିରୋଧ ସ୍ଥିରତାକୁ ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ | ପି-ପ୍ରକାରର ଡୋପିଂ ଶକ୍ତି ବିଦ୍ୟୁତ୍ ରୂପାନ୍ତର ପାଇଁ ଅନୁମତି ଦେଇଥାଏ, ଏହାକୁ ପାୱାର ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ସ ଏବଂ ଶକ୍ତି ପ୍ରଣାଳୀ ପାଇଁ ଆଦର୍ଶ କରିଥାଏ | ଅତିରିକ୍ତ ଭାବରେ, ୱେଫର୍ ର ପ୍ରାଥମିକ ଫ୍ଲାଟ ଆରିଏଣ୍ଟେସନ୍ ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟା ସମୟରେ ସଠିକ୍ ଆଲାଇନ୍ମେଣ୍ଟ ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ, ଉତ୍ପାଦନ ସ୍ଥିରତା ବ .ାଏ | 350 μ ମିଟର ମୋଟା ସହିତ, ଉନ୍ନତ, କମ୍ପାକ୍ଟ ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକରେ ଏକୀକରଣ ପାଇଁ ଏହା ଉପଯୁକ୍ତ ଅଟେ |
ବିସ୍ତୃତ ଚିତ୍ର
