ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଲେଜର ଲିଫ୍ଟ-ଅଫ୍ ଉପକରଣ
ବିସ୍ତୃତ ଚିତ୍ର
ଲେଜର ଲିଫ୍ଟ-ଅଫ୍ ଉପକରଣର ଉତ୍ପାଦ ସମୀକ୍ଷା
ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଲେଜର ଲିଫ୍ଟ-ଅଫ୍ ଉପକରଣ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ସାମଗ୍ରୀ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣରେ ଉନ୍ନତ ଇନଗଟ୍ ଥିନିଂ ପାଇଁ ଏକ ପରବର୍ତ୍ତୀ ପିଢ଼ିର ସମାଧାନ ପ୍ରତିନିଧିତ୍ୱ କରେ। ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ, ହୀରା ତାର ସିଙ୍ଗ୍, କିମ୍ବା ରାସାୟନିକ-ଯାନ୍ତ୍ରିକ ପ୍ଲାନରାଇଜେସନ୍ ଉପରେ ନିର୍ଭର କରୁଥିବା ପାରମ୍ପରିକ ୱାଫରିଂ ପଦ୍ଧତି ପରି ନୁହେଁ, ଏହି ଲେଜର-ଆଧାରିତ ପ୍ଲାଟଫର୍ମ ବଲ୍କ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଇନଗଟ୍ସରୁ ଅଲ୍ଟ୍ରା-ଥିନ୍ ସ୍ତରଗୁଡ଼ିକୁ ପୃଥକ କରିବା ପାଇଁ ଏକ ସମ୍ପର୍କ-ମୁକ୍ତ, ଅଣ-ବିନାଶକ ବିକଳ୍ପ ପ୍ରଦାନ କରେ।
ଗାଲିୟମ୍ ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍ (GaN), ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ (SiC), ନୀଳମଣି, ଏବଂ ଗାଲିୟମ୍ ଆର୍ସେନାଇଡ୍ (GaAs) ଭଳି ଭଙ୍ଗୁର ଏବଂ ଉଚ୍ଚ-ମୂଲ୍ୟ ସାମଗ୍ରୀ ପାଇଁ ଅନୁକୂଳିତ, ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଲେଜର ଲିଫ୍ଟ-ଅଫ୍ ଉପକରଣ କ୍ରିଷ୍ଟାଲ୍ ଇନଗଟ୍ ରୁ ସିଧାସଳଖ ୱେଫର-ସ୍କେଲ ଫିଲ୍ମଗୁଡ଼ିକର ସଠିକ୍ ସ୍ଲାଇସିଂକୁ ସକ୍ଷମ କରିଥାଏ। ଏହି ଯୁଗାନ୍ତକାରୀ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ସାମଗ୍ରୀ ଅପଚୟକୁ ଉଲ୍ଲେଖନୀୟ ଭାବରେ ହ୍ରାସ କରେ, ଥ୍ରୁପୁଟ୍ ଉନ୍ନତ କରେ ଏବଂ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଅଖଣ୍ଡତାକୁ ବୃଦ୍ଧି କରେ - ଯାହା ସମସ୍ତ ପାୱାର ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ସ, RF ସିଷ୍ଟମ, ଫଟୋନିକ୍ସ ଏବଂ ମାଇକ୍ରୋ-ଡିସପ୍ଲେରେ ପରବର୍ତ୍ତୀ ପିଢ଼ିର ଡିଭାଇସ୍ ପାଇଁ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ।
ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ, ବିମ୍ ଆକାର ଏବଂ ଲେଜର-ବସ୍ତୁ ପାରସ୍ପରିକ କ୍ରିୟା ବିଶ୍ଳେଷଣ ଉପରେ ଗୁରୁତ୍ୱ ଦେଇ, ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଲେଜର ଲିଫ୍ଟ-ଅଫ୍ ଉପକରଣକୁ ଗବେଷଣା ଏବଂ ବିକାଶ ନମନୀୟତା ଏବଂ ବହୁଳ ଉତ୍ପାଦନ ମାପକାଠିକୁ ସମର୍ଥନ କରିବା ସହିତ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ନିର୍ମାଣ କାର୍ଯ୍ୟପ୍ରବାହରେ ସୁଗମ ଭାବରେ ସମନ୍ୱିତ କରିବା ପାଇଁ ଡିଜାଇନ୍ କରାଯାଇଛି।
ଲେଜର ଲିଫ୍ଟ-ଅଫ୍ ଉପକରଣର ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ଏବଂ ପରିଚାଳନା ନୀତି
ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଲେଜର ଲିଫ୍ଟ-ଅଫ୍ ଉପକରଣ ଦ୍ୱାରା କରାଯାଉଥିବା ପ୍ରକ୍ରିୟା ଏକ ଉଚ୍ଚ-ଶକ୍ତି ଅଲ୍ଟ୍ରାଭାୟୋଲେଟ ଲେଜର ବିମ୍ ବ୍ୟବହାର କରି ଡୋନର ଇନଗଟ୍କୁ ଗୋଟିଏ ପାର୍ଶ୍ୱରୁ ବିକିରଣ କରି ଆରମ୍ଭ ହୁଏ। ଏହି ବିମ୍ ଏକ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ଆଭ୍ୟନ୍ତରୀଣ ଗଭୀରତା ଉପରେ ଦୃଢ଼ ଭାବରେ କେନ୍ଦ୍ରିତ ହୋଇଥାଏ, ସାଧାରଣତଃ ଏକ ଇଞ୍ଜିନିୟର୍ଡ ଇଣ୍ଟରଫେସ୍ ସହିତ, ଯେଉଁଠାରେ ଅପ୍ଟିକାଲ୍, ଥର୍ମାଲ୍ କିମ୍ବା ରାସାୟନିକ ବିପରୀତତା ଯୋଗୁଁ ଶକ୍ତି ଅବଶୋଷଣ ସର୍ବାଧିକ ହୋଇଥାଏ।
ଏହି ଶକ୍ତି ଅବଶୋଷଣ ସ୍ତରରେ, ସ୍ଥାନୀୟ ଉତ୍ତାପ ଏକ ଦ୍ରୁତ ସୂକ୍ଷ୍ମ ବିସ୍ଫୋରଣ, ଗ୍ୟାସ ପ୍ରସାରଣ, କିମ୍ବା ଏକ ଅନ୍ତଃମୁଖ ସ୍ତରର ବିଘଟନ (ଯଥା, ଏକ ଚାପକାରୀ ଫିଲ୍ମ କିମ୍ବା ବଳି ଅକ୍ସାଇଡ୍) ଆଡ଼କୁ ନେଇଯାଏ। ଏହି ସଠିକ୍ ଭାବରେ ନିୟନ୍ତ୍ରିତ ବିଭ୍ରାଟ ଉପର ସ୍ଫଟିକ ସ୍ତରକୁ - ଦଶ ମାଇକ୍ରୋମିଟର ଘନତା ସହିତ - ମୂଳ ଇଙ୍ଗଟ୍ ଠାରୁ ସଫା ଭାବରେ ପୃଥକ କରିଥାଏ।
ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଲେଜର ଲିଫ୍ଟ-ଅଫ୍ ଉପକରଣ ଗତି-ସିଙ୍କ୍ରୋନାଇଜଡ୍ ସ୍କାନିଂ ହେଡ୍, ପ୍ରୋଗ୍ରାମେବଲ୍ z-ଅକ୍ଷ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ଏବଂ ବାସ୍ତବ-ସମୟ ପ୍ରତିଫଳନମେଟ୍ରି ବ୍ୟବହାର କରେ ଯାହା ଦ୍ୱାରା ପ୍ରତ୍ୟେକ ପଲ୍ସ ଟାର୍ଗେଟ ପ୍ଲେନରେ ସଠିକ୍ ଭାବରେ ଶକ୍ତି ପ୍ରଦାନ କରେ। ଡିଟେଚମେଣ୍ଟ ସ୍ମୁଥନେସକୁ ବୃଦ୍ଧି କରିବା ଏବଂ ଅବଶିଷ୍ଟ ଚାପକୁ କମ କରିବା ପାଇଁ ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକୁ ବର୍ଷ୍ଟ-ମୋଡ୍ କିମ୍ବା ମଲ୍ଟି-ପଲ୍ସ କ୍ଷମତା ସହିତ ବିନ୍ୟାସ କରାଯାଇପାରିବ। ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ କଥା ହେଉଛି, ଲେଜର ବିମ୍ କେବେବି ଭୌତିକ ଭାବରେ ସାମଗ୍ରୀ ସହିତ ସମ୍ପର୍କ କରେ ନାହିଁ, ତେଣୁ ମାଇକ୍ରୋକ୍ରାକିଙ୍ଗ, ବୋଇଂ କିମ୍ବା ପୃଷ୍ଠ ଚିପିଂ ହେବାର ବିପଦ ବହୁ ପରିମାଣରେ ହ୍ରାସ ପାଇଛି।
ଏହା ଲେଜର ଲିଫ୍ଟ-ଅଫ୍ ଥିନିଂ ପଦ୍ଧତିକୁ ଏକ ଖେଳ-ପରିବର୍ତ୍ତକ କରିଥାଏ, ବିଶେଷକରି ଯେଉଁ ପ୍ରୟୋଗଗୁଡ଼ିକରେ ସବ୍-ମାଇକ୍ରୋନ୍ TTV (ଟୋଟାଲ ଥିକସିନ୍ ପରିବର୍ତ୍ତନ) ସହିତ ଅଲ୍ଟ୍ରା-ଫ୍ଲାଟ, ଅଲ୍ଟ୍ରା-ଥିନ୍ ୱେଫର୍ସ ଆବଶ୍ୟକ ହୋଇଥାଏ।
ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଲେଜର ଲିଫ୍ଟ-ଅଫ୍ ଉପକରଣର ପାରାମିଟର
| ତରଙ୍ଗଦୈର୍ଘ୍ୟ | IR/SHG/THG/FHG |
|---|---|
| ପଲ୍ସ ପ୍ରସ୍ଥ | ନାନୋସେକେଣ୍ଡ, ପିକୋସେକେଣ୍ଡ, ଫେମଟୋସେକେଣ୍ଡ |
| ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ସିଷ୍ଟମ୍ | ସ୍ଥିର ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ସିଷ୍ଟମ୍ କିମ୍ବା ଗାଲଭାନୋ-ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ସିଷ୍ଟମ୍ |
| XY ଷ୍ଟେଜ୍ | ୫୦୦ ମିମି × ୫୦୦ ମିମି |
| ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ପରିସର | ୧୬୦ ମିମି |
| ଗତି ବେଗ | ସର୍ବାଧିକ 1,000 ମିମି/ସେକେଣ୍ଡ |
| ପୁନରାବୃତ୍ତିଯୋଗ୍ୟତା | ±1 μm କିମ୍ବା ତା’ଠାରୁ କମ୍ |
| ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ସ୍ଥିତି ସଠିକତା: | ±5 μm କିମ୍ବା ତା’ଠାରୁ କମ୍ |
| ୱେଫର ଆକାର | ୨-୬ ଇଞ୍ଚ କିମ୍ବା କଷ୍ଟମାଇଜ୍ଡ୍ |
| ନିୟନ୍ତ୍ରଣ | ୱିଣ୍ଡୋଜ୍ ୧୦,୧୧ ଏବଂ ପିଏଲସି |
| ପାୱାର ସପ୍ଲାଏ ଭୋଲଟେଜ | AC 200 V ±20 V, ଏକକ-ଫେଜ୍, 50/60 kHz |
| ବାହ୍ୟ ପରିମାପ | ୨୪୦୦ ମିମି (ୱା) × ୧୭୦୦ ମିମି (ଘ) × ୨୦୦୦ ମିମି (ଘ) |
| ଓଜନ | ୧,୦୦୦ କିଲୋଗ୍ରାମ |
ଲେଜର ଲିଫ୍ଟ-ଅଫ୍ ଉପକରଣର ଶିଳ୍ପ ପ୍ରୟୋଗ
ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଲେଜର ଲିଫ୍ଟ-ଅଫ୍ ଉପକରଣ ବହୁବିଧ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଡୋମେନରେ ସାମଗ୍ରୀ ପ୍ରସ୍ତୁତ କରିବାର ପଦ୍ଧତିକୁ ଦ୍ରୁତ ଗତିରେ ପରିବର୍ତ୍ତନ କରୁଛି:
- ଲେଜର ଲିଫ୍ଟ-ଅଫ୍ ଉପକରଣର ଭୂଲମ୍ବ GaN ପାୱାର ଡିଭାଇସଗୁଡ଼ିକ
ବଲ୍କ ଇନଗଟ୍ସରୁ ଅତ୍ୟଧିକ ପତଳା GaN-on-GaN ଫିଲ୍ମଗୁଡ଼ିକୁ ଉଠାଇବା ଦ୍ଵାରା ଭୂଲମ୍ବ ପରିବହନ ସ୍ଥାପତ୍ୟ ଏବଂ ମହଙ୍ଗା ସବଷ୍ଟ୍ରେଟର ପୁନଃବ୍ୟବହାର ସମ୍ଭବ ହୁଏ।
- ସ୍କୋଟକି ଏବଂ MOSFET ଡିଭାଇସଗୁଡ଼ିକ ପାଇଁ SiC ୱେଫର ଥିନିଂ
ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପ୍ଲାନାରିଟି ସଂରକ୍ଷଣ କରିବା ସହିତ ଡିଭାଇସ୍ ସ୍ତର ଘନତାକୁ ହ୍ରାସ କରେ — ଦ୍ରୁତ-ସ୍ୱିଚ୍ କରୁଥିବା ପାୱାର ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ସ ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ।
- ଲେଜର ଲିଫ୍ଟ-ଅଫ୍ ଉପକରଣର ନୀଳମଣି-ଆଧାରିତ LED ଏବଂ ପ୍ରଦର୍ଶନ ସାମଗ୍ରୀ
ପତଳା, ତାପଜ ଭାବରେ ଅପ୍ଟିମାଇଜ୍ ହୋଇଥିବା ମାଇକ୍ରୋ-ଏଲଇଡି ଉତ୍ପାଦନକୁ ସମର୍ଥନ କରିବା ପାଇଁ ନୀଳାଫିୟର୍ ବୋଲ୍ସରୁ ଡିଭାଇସ୍ ସ୍ତରଗୁଡ଼ିକର ଦକ୍ଷ ପୃଥକୀକରଣକୁ ସକ୍ଷମ କରିଥାଏ।
- ଲେଜର ଲିଫ୍ଟ-ଅଫ୍ ଉପକରଣର III-V ସାମଗ୍ରୀ ଇଞ୍ଜିନିୟରିଂ
ଉନ୍ନତ ଅପ୍ଟୋଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ସମନ୍ୱୟ ପାଇଁ GaAs, InP, ଏବଂ AlGaN ସ୍ତରଗୁଡ଼ିକର ବିଚ୍ଛିନ୍ନତାକୁ ସହଜ କରିଥାଏ।
- ଥିନ୍-ୱେଫର ଆଇସି ଏବଂ ସେନ୍ସର ନିର୍ମାଣ
ଚାପ ସେନ୍ସର, ଆକ୍ସିଲେରୋମିଟର, କିମ୍ବା ଫଟୋଡାୟୋଡ ପାଇଁ ପତଳା କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ସ୍ତର ଉତ୍ପାଦନ କରେ, ଯେଉଁଠାରେ ବଲ୍କ ଏକ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ବାଧା ସୃଷ୍ଟି କରେ।
- ନମନୀୟ ଏବଂ ସ୍ୱଚ୍ଛ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ସ
ନମନୀୟ ଡିସପ୍ଲେ, ପିନ୍ଧିବା ଯୋଗ୍ୟ ସର୍କିଟ୍ ଏବଂ ସ୍ୱଚ୍ଛ ସ୍ମାର୍ଟ ୱିଣ୍ଡୋ ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ ଅତ୍ୟଧିକ ପତଳା ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପ୍ରସ୍ତୁତ କରେ।
ଏହି ପ୍ରତ୍ୟେକ କ୍ଷେତ୍ରରେ, ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଲେଜର ଲିଫ୍ଟ-ଅଫ୍ ଉପକରଣ କ୍ଷୁଦ୍ରକରଣ, ସାମଗ୍ରୀ ପୁନଃବ୍ୟବହାର ଏବଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା ସରଳୀକରଣକୁ ସକ୍ଷମ କରିବାରେ ଏକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ଭୂମିକା ଗ୍ରହଣ କରେ।
ଲେଜର ଲିଫ୍ଟ-ଅଫ୍ ଉପକରଣ ବିଷୟରେ ପ୍ରାୟତଃ ପଚରାଯାଉଥିବା ପ୍ରଶ୍ନ (FAQ)
ପ୍ର1: ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଲେଜର ଲିଫ୍ଟ-ଅଫ୍ ଉପକରଣ ବ୍ୟବହାର କରି ମୁଁ ସର୍ବନିମ୍ନ କେତେ ଘନତା ହାସଲ କରିପାରିବି?
କ୧:ସାଧାରଣତଃ ସାମଗ୍ରୀ ଉପରେ ନିର୍ଭର କରି 10-30 ମାଇକ୍ରୋନ ମଧ୍ୟରେ। ଏହି ପ୍ରକ୍ରିୟା ପରିବର୍ତ୍ତିତ ସେଟଅପ୍ ସହିତ ପତଳା ଫଳାଫଳ ପ୍ରଦାନ କରିବାକୁ ସକ୍ଷମ।
Q2: ଏହାକୁ ଗୋଟିଏ ଇନଗଟ୍ ରୁ ଅନେକ ୱେଫର କାଟିବା ପାଇଁ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଇପାରିବ କି?
କ୨:ହଁ। ଅନେକ ଗ୍ରାହକ ଗୋଟିଏ ବଲ୍କ ଇନଗଟ୍ରୁ ଅନେକ ପତଳା ସ୍ତରର କ୍ରମିକ ନିଷ୍କାସନ ପାଇଁ ଲେଜର ଲିଫ୍ଟ-ଅଫ୍ କୌଶଳ ବ୍ୟବହାର କରନ୍ତି।
ପ୍ର୩: ଉଚ୍ଚ-ଶକ୍ତିଯୁକ୍ତ ଲେଜର କାର୍ଯ୍ୟ ପାଇଁ କେଉଁ ସୁରକ୍ଷା ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟଗୁଡ଼ିକ ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ?
କ3:ଶ୍ରେଣୀ ୧ ଏନକ୍ଲୋଜର, ଇଣ୍ଟରଲକ୍ ସିଷ୍ଟମ, ବିମ୍ ସିଲ୍ଡିଂ, ଏବଂ ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ ସଟ୍ଅଫ୍ ସବୁ ମାନକ।
Q4: ମୂଲ୍ୟ ଦୃଷ୍ଟିରୁ ଏହି ସିଷ୍ଟମ ହୀରା ତାର କରତ ସହିତ କିପରି ତୁଳନା କରେ?
କ୪:ପ୍ରାରମ୍ଭିକ ପୁଞ୍ଜି ମୂଲ୍ୟ ଅଧିକ ହୋଇପାରେ, ଲେଜର ଲିଫ୍ଟ-ଅଫ୍ ବ୍ୟବହାରଯୋଗ୍ୟ ଖର୍ଚ୍ଚ, ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ କ୍ଷତି ଏବଂ ପରବର୍ତ୍ତୀ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ପଦକ୍ଷେପଗୁଡ଼ିକୁ ବହୁଳ ଭାବରେ ହ୍ରାସ କରେ - ଯାହା ଦୀର୍ଘକାଳୀନ ମୋଟ ମାଲିକାନା ଖର୍ଚ୍ଚ (TCO) ହ୍ରାସ କରେ।
Q5: ଏହି ପ୍ରକ୍ରିୟାଟି 6-ଇଞ୍ଚ କିମ୍ବା 8-ଇଞ୍ଚ ଇଙ୍ଗଟ୍ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ବୃଦ୍ଧିଯୋଗ୍ୟ କି?
କ5:ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ଭାବରେ। ଏହି ପ୍ଲାଟଫର୍ମ ସମାନ ବିମ୍ ବଣ୍ଟନ ଏବଂ ବଡ଼-ଫର୍ମ ଗତି ପର୍ଯ୍ୟାୟ ସହିତ 12-ଇଞ୍ଚ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ସମର୍ଥନ କରେ।
