ଯନ୍ତ୍ରପାତି ପାଇଁ CVD ସିସି ଆବରଣ ସହିତ SiC ସେରାମିକ୍ ଟ୍ରେ ପ୍ଲେଟ୍ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ |

ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ସିରାମିକ୍ସ କେବଳ ପତଳା ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ଡିପୋଜିଟେସନ୍ ପର୍ଯ୍ୟାୟରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ ନାହିଁ, ଯେପରିକି ଏପିଟାକ୍ସି କିମ୍ବା MOCVD, କିମ୍ବା ୱେଫର୍ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣରେ, ଯାହାର ହୃଦୟରେ MOCVD ପାଇଁ ୱେଫର୍ କ୍ୟାରିଅର୍ ଟ୍ରେଗୁଡିକ ପ୍ରଥମେ ଜମା ପରିବେଶ ଅଧୀନରେ ରହିଥାଏ, ଏବଂ ସେଥିପାଇଁ ଅତ୍ୟଧିକ ପ୍ରତିରୋଧୀ | ଉତ୍ତାପ ଏବଂ ଜର

ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ଧାତୁ ଜ Organ ବ ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା ​​(MOCVD) ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ପାଇଁ ଶୁଦ୍ଧ ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା ​​ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ (CVD SiC) ୱେଫର୍ ବାହକ |

ଶୁଦ୍ଧ CVD SiC ୱେଫର୍ ବାହକ ଏହି ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ବ୍ୟବହୃତ ପାରମ୍ପାରିକ ୱେଫର୍ ବାହକଠାରୁ ଯଥେଷ୍ଟ ଉନ୍ନତ, ଯାହା ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଏବଂ CVD SiC ର ଏକ ସ୍ତର ସହିତ ଆବୃତ |ଏହି ଆଚ୍ଛାଦିତ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍-ଆଧାରିତ ବାହକଗୁଡିକ ଆଜିର ଉଚ୍ଚ ଉଜ୍ଜ୍ୱଳତା ନୀଳ ଏବଂ ଧଳା ସୀସା ର GaN ଜମା ପାଇଁ ଆବଶ୍ୟକ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା (1100 ରୁ 1200 ଡିଗ୍ରୀ ସେଲସିୟସ୍) ସହ୍ୟ କରିପାରିବ ନାହିଁ |ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ଏହି ଆବରଣକୁ କ୍ଷୁଦ୍ର ପିନ୍ହୋଲ୍ ବିକଶିତ କରେ ଯାହା ମାଧ୍ୟମରେ ରାସାୟନିକ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ କୁ ନଷ୍ଟ କରିଦିଏ |ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ କଣିକା ତାପରେ ଫ୍ଲେକ୍ ହୋଇ GaN କୁ ଦୂଷିତ କରେ, ଯାହାଦ୍ୱାରା ଆବୃତ ୱେଫର୍ ବାହକକୁ ବଦଳାଯାଇଥାଏ |

CVD SiC ର ଶୁଦ୍ଧତା 99.999% କିମ୍ବା ଅଧିକ ଏବଂ ଏହାର ଉଚ୍ଚ ତାପଜ ଚାଳନା ଏବଂ ତାପଜ ଶକ୍ ପ୍ରତିରୋଧକତା ଅଛି |ତେଣୁ, ଏହା ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ଉଜ୍ଜ୍ୱଳତା ଏଲଇଡି ଉତ୍ପାଦନର କଠିନ ପରିବେଶକୁ ସହ୍ୟ କରିପାରିବ |ଏହା ଏକ କଠିନ ମୋନୋଲିଥିକ୍ ପଦାର୍ଥ ଯାହା ତତ୍ତ୍ୱିକ ଘନତ୍ୱରେ ପହଞ୍ଚେ, ସର୍ବନିମ୍ନ କଣିକା ଉତ୍ପାଦନ କରେ ଏବଂ ଅତ୍ୟଧିକ କ୍ଷୟ ଏବଂ କ୍ଷୟ ପ୍ରତିରୋଧ ପ୍ରଦର୍ଶନ କରେ |ପଦାର୍ଥ ଧାତବ ଅପରିଷ୍କାର ପରିଚୟ ନକରି ସ୍ୱଚ୍ଛତା ଏବଂ ଚାଳନା ପରିବର୍ତ୍ତନ କରିପାରିବ |ୱେଫର୍ ବାହକ ସାଧାରଣତ 17 17 ଇଞ୍ଚ ବ୍ୟାସ ଏବଂ 40 2-4 ଇଞ୍ଚ ୱାଫର୍ ଧରିପାରେ |