ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ କ୍ୟାଣ୍ଟିଲିଭର୍ ପ୍ୟାଡଲ୍ (SiC କ୍ୟାଣ୍ଟିଲିଭର୍ ପ୍ୟାଡଲ୍)

ସଂକ୍ଷିପ୍ତ ବର୍ଣ୍ଣନା:

ଆମକୁ ଇମେଲ୍ ପଠାନ୍ତୁ

ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟଗୁଡିକ

ବିସ୍ତୃତ ଚିତ୍ର

ଉତ୍ପାଦ ସଂକ୍ଷିପ୍ତ ବିବରଣୀ

ଉଚ୍ଚ-କାର୍ଦକ୍ଷତା ପ୍ରତିକ୍ରିୟା-ବନ୍ଧିତ ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ (RBSiC) ରୁ ନିର୍ମିତ ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ କ୍ୟାଣ୍ଟିଲିଭର୍ ପ୍ୟାଡେଲ୍, ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଏବଂ ଫଟୋଭୋଲ୍ଟାଇକ୍ ପ୍ରୟୋଗ ପାଇଁ ୱେଫର ଲୋଡିଂ ଏବଂ ହ୍ୟାଣ୍ଡେଲିଂ ସିଷ୍ଟମରେ ବ୍ୟବହୃତ ଏକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ଉପାଦାନ।
ପାରମ୍ପରିକ କ୍ୱାର୍ଟଜ୍ କିମ୍ବା ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ପ୍ୟାଡେଲ୍ ତୁଳନାରେ, SiC କ୍ୟାଣ୍ଟିଲିଭର୍ ପ୍ୟାଡେଲ୍ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଶକ୍ତି, ଉଚ୍ଚ କଠୋରତା, କମ୍ ତାପଜ ପ୍ରସାରଣ ଏବଂ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ କ୍ଷୋଭ ପ୍ରତିରୋଧ ପ୍ରଦାନ କରେ। ସେମାନେ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରାରେ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଗଠନାତ୍ମକ ସ୍ଥିରତା ବଜାୟ ରଖନ୍ତି, ବଡ଼ ୱେଫର ଆକାର, ବିସ୍ତାରିତ ସେବା ଜୀବନ ଏବଂ ଅତ୍ୟଧିକ-କମ୍ ପ୍ରଦୂଷଣର କଠୋର ଆବଶ୍ୟକତା ପୂରଣ କରନ୍ତି।

ବୃହତ ୱାଫର ବ୍ୟାସ, ଉଚ୍ଚ ଥ୍ରୁପୁଟ୍ ଏବଂ ସଫା ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ପରିବେଶ ପାଇଁ ଅର୍ଦ୍ଧଚାଳକ ପ୍ରକ୍ରିୟାଗୁଡ଼ିକର ନିରନ୍ତର ବିକାଶ ସହିତ, SiC କ୍ୟାଣ୍ଟିଲିଭର ପ୍ୟାଡେଲଗୁଡ଼ିକ ଧୀରେ ଧୀରେ ପାରମ୍ପରିକ ସାମଗ୍ରୀକୁ ବଦଳାଇ ଦେଇଛି, ଯାହା ପ୍ରସାରଣ ଫର୍ଣ୍ଣେସ୍, LPCVD ଏବଂ ସମ୍ବନ୍ଧିତ ଉଚ୍ଚ-ତାପମାନ ଉପକରଣ ପାଇଁ ପସନ୍ଦିତ ପସନ୍ଦ ପାଲଟିଛି।

ଉତ୍ପାଦର ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟଗୁଡ଼ିକ

ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଉଚ୍ଚ-ତାପମାନ ସ୍ଥିରତା
- ବିକୃତି ବିନା 1000–1300℃ ରେ ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟ ଭାବରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରେ।
- ସର୍ବାଧିକ ସେବା ତାପମାତ୍ରା ୧୩୮୦ ℃ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ।
ଉଚ୍ଚ ଭାର ବହନ କ୍ଷମତା
- ବଙ୍କା ଶକ୍ତି 250-280 MPa ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ, କ୍ୱାର୍ଟଜ୍ ପ୍ୟାଡେଲ୍ ଅପେକ୍ଷା ବହୁତ ଅଧିକ।
- ବଡ଼ ବ୍ୟାସ ବିଶିଷ୍ଟ ୱେଫର (300 ମିମି ଏବଂ ତଦୁର୍ଦ୍ଧ୍ୱ) ପରିଚାଳନା କରିବାରେ ସକ୍ଷମ।
ବିସ୍ତାରିତ ସେବା ଜୀବନ ଏବଂ କମ୍ ରକ୍ଷଣାବେକ୍ଷଣ
- ନିମ୍ନ ତାପଜ ବିସ୍ତାର ଗୁଣାଙ୍କ (4.5 × 10⁻⁶ K⁻¹), LPCVD ଆବରଣ ସାମଗ୍ରୀ ସହିତ ଭଲ ଭାବରେ ମେଳ ଖାଉଛି।
- ଚାପ-ଜନିତ ଫାଟ ଏବଂ ପିଲିଂକୁ ହ୍ରାସ କରେ, ସଫା ଏବଂ ରକ୍ଷଣାବେକ୍ଷଣ ଚକ୍ରକୁ ଉଲ୍ଲେଖନୀୟ ଭାବରେ ବୃଦ୍ଧି କରେ।
କ୍ଷୟ ପ୍ରତିରୋଧ ଏବଂ ପବିତ୍ରତା
- ଏସିଡ୍ ଏବଂ କ୍ଷାର ପ୍ରତି ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ପ୍ରତିରୋଧ।
- ଖୋଲା ପୋରୋସିଟି <0.1% ସହିତ ଘନ ମାଇକ୍ରୋଷ୍ଟ୍ରକଚର, କଣିକା ସୃଷ୍ଟି ଏବଂ ଅପରିଷ୍କାର ମୁକ୍ତକୁ ସର୍ବନିମ୍ନ କରିଥାଏ।
ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ-ସୁସଙ୍ଗତ ଡିଜାଇନ୍
- ଉଚ୍ଚ ପରିମାଣ ସଠିକତା ସହିତ ସ୍ଥିର କ୍ରସ-ସେକ୍ସନାଲ୍ ଜ୍ୟାମିତି।
- ରୋବୋଟିକ୍ ୱେଫର ଲୋଡିଂ ଏବଂ ଅନଲୋଡିଂ ସିଷ୍ଟମ ସହିତ ନିର୍ବିଘ୍ନରେ ସମନ୍ୱିତ ହୁଏ, ଯାହା ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ ଉତ୍ପାଦନକୁ ସକ୍ଷମ କରେ।

ଭୌତିକ ଏବଂ ରାସାୟନିକ ଗୁଣ

ଆଇଟମ୍‌	ୟୁନିଟ୍	ତଥ୍ୟ
ସର୍ବାଧିକ ସେବା ତାପମାତ୍ରା	℃	୧୩୮୦
ଘନତ୍ୱ	ଗ୍ରାମ/ସେମି³	୩.୦୪ – ୩.୦୮
ଖୋଲା ପୋରୋସିଟି	%	< ୦.୧
ବଙ୍କା ଶକ୍ତି	MPa	୨୫୦ (୨୦℃), ୨୮୦ (୧୨୦୦℃)
ସ୍ଥିତିସ୍ଥାପକତାର ମଡ୍ୟୁଲସ୍	GPaName	୩୩୦ (୨୦℃), ୩୦୦ (୧୨୦୦℃)
ତାପଜ ପରିବାହିତା	ପଶ୍ଚିମ/ମି·କେ	୪୫ (୧୨୦୦℃)
ତାପଜ ବିସ୍ତାର ଗୁଣାଙ୍କ	କେ⁻¹×୧୦⁻⁶	୪.୫
ଭିକରସ୍ କଠିନତା	ଏଚ୍.ଭି୨	≥ ୨୧୦୦
ଏସିଡ୍/କ୍ଷାରୀୟ ପ୍ରତିରୋଧ	-	ଉତ୍କୃଷ୍ଟ

ମାନକ ଲମ୍ବ:୨୩୭୮ ମିମି, ୨୫୫୦ ମିମି, ୨୬୬୦ ମିମି
ଅନୁରୋଧ ଅନୁସାରେ କଷ୍ଟମ୍ ଡାଇମେନ୍ସନ୍ ଉପଲବ୍ଧ

ଆପ୍ଲିକେସନ୍‌ଗୁଡ଼ିକ

ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଶିଳ୍ପ
- LPCVD (ନିମ୍ନ ଚାପ ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା)
- ପ୍ରସାରଣ ପ୍ରକ୍ରିୟା (ଫସଫରସ୍, ବୋରନ୍, ଇତ୍ୟାଦି)
- ତାପଜ ଅକ୍ସିଡେସନ
ଫଟୋଭୋଲଟାଇକ୍ ଶିଳ୍ପ
- ପଲିସିଲିକନ୍ ଏବଂ ମନୋକ୍ରିଷ୍ଟାଲାଇନ୍ ୱାଫର ପ୍ରସାରଣ ଏବଂ ଆବରଣ
- ଉଚ୍ଚ-ତାପମାନ ଆନିଲିଂ ଏବଂ ନିଷ୍କ୍ରିୟକରଣ
ଅନ୍ୟାନ୍ୟ କ୍ଷେତ୍ରଗୁଡ଼ିକ
- ଉଚ୍ଚ-ତାପମାନ କ୍ଷୟକାରୀ ପରିବେଶ
- ଦୀର୍ଘ ସେବା ଜୀବନ ଏବଂ କମ୍ ପ୍ରଦୂଷଣ ଆବଶ୍ୟକ କରୁଥିବା ପ୍ରିସିସନ୍ ୱାଫର ହ୍ୟାଣ୍ଡଲିଂ ସିଷ୍ଟମ।

ଗ୍ରାହକ ସୁବିଧା

ହ୍ରାସିତ ପରିଚାଳନା ଖର୍ଚ୍ଚ– କ୍ୱାର୍ଟଜ୍ ପ୍ୟାଡେଲ୍ ତୁଳନାରେ ଅଧିକ ଜୀବନକାଳ, ଡାଉନଟାଇମ୍ ଏବଂ ବଦଳ ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସିକୁ ହ୍ରାସ କରେ।
ଅଧିକ ଅମଳ– ଅତ୍ୟନ୍ତ କମ୍ ପ୍ରଦୂଷଣ ୱାଫର ପୃଷ୍ଠର ପରିଷ୍କାରତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ ଏବଂ ତ୍ରୁଟି ହାର ହ୍ରାସ କରେ।
ଭବିଷ୍ୟତ-ପ୍ରମାଣ– ବଡ଼ ୱାଫର ଆକାର ଏବଂ ପରବର୍ତ୍ତୀ ପିଢ଼ିର ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ପ୍ରକ୍ରିୟା ସହିତ ସୁସଙ୍ଗତ।
ଉନ୍ନତ ଉତ୍ପାଦକତା– ରୋବୋଟିକ୍ ଅଟୋମେସନ୍ ସିଷ୍ଟମ ସହିତ ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ସୁସଙ୍ଗତ, ଉଚ୍ଚ-ମାତ୍ରାର ଉତ୍ପାଦନକୁ ସମର୍ଥନ କରେ।

FAQ – ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ କ୍ୟାଣ୍ଟିଲିଭର୍ ପ୍ୟାଡଲ୍

Q1: ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ କ୍ୟାଣ୍ଟିଲିଭର୍ ପ୍ୟାଡେଲ୍ କ'ଣ?
A: ଏହା ପ୍ରତିକ୍ରିୟା-ବନ୍ଧିତ ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ (RBSiC) ରେ ତିଆରି ଏକ ୱେଫର ସପୋର୍ଟ ଏବଂ ହ୍ୟାଣ୍ଡଲିଂ ଉପାଦାନ। ଏହା ପ୍ରସାରଣ ଫର୍ଣ୍ଣେସ୍, LPCVD, ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ଉଚ୍ଚ-ତାପମାନ ଅର୍ଦ୍ଧଚାଳକ ଏବଂ ଫଟୋଭୋଲ୍ଟାଇକ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ବହୁଳ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ।

Q2: କ୍ୱାର୍ଟଜ୍ ପ୍ୟାଡେଲ୍ ଅପେକ୍ଷା SiC କାହିଁକି ବାଛିବେ?
A: କ୍ୱାର୍ଟଜ୍ ପ୍ୟାଡେଲ୍ ତୁଳନାରେ, SiC ପ୍ୟାଡେଲ୍ ପ୍ରଦାନ କରେ:

ଅଧିକ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଶକ୍ତି ଏବଂ ଭାର ବହନ କ୍ଷମତା
୧୩୮୦ ℃ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ତାପମାତ୍ରାରେ ଉତ୍ତମ ତାପଜ ସ୍ଥିରତା
ବହୁତ ଅଧିକ ସେବା ଜୀବନ ଏବଂ ହ୍ରାସିତ ରକ୍ଷଣାବେକ୍ଷଣ ଚକ୍ର
କଣିକା ଉତ୍ପାଦନ ଏବଂ ପ୍ରଦୂଷଣ ବିପଦ ହ୍ରାସ କରେ
ବଡ଼ ୱାଫର ଆକାର (300 ମିମି ଏବଂ ତଦୁର୍ଦ୍ଧ୍ୱ) ସହିତ ସୁସଙ୍ଗତତା

Q3: SiC କ୍ୟାଣ୍ଟିଲିଭର ପ୍ୟାଡେଲ କେଉଁ ୱାଫର ଆକାରକୁ ସମର୍ଥନ କରିପାରିବ?
A: 2378 mm, 2550 mm, ଏବଂ 2660 mm ଫର୍ଣ୍ଣେସ୍ ସିଷ୍ଟମ୍ ପାଇଁ ମାନକ ପ୍ୟାଡେଲ୍ ଉପଲବ୍ଧ। 300 mm ଏବଂ ତା'ଠାରୁ ଅଧିକ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ୱେଫର୍ ସମର୍ଥନ କରିବା ପାଇଁ କଷ୍ଟମାଇଜ୍ଡ୍ ପରିମାପ ଉପଲବ୍ଧ।

ଆମ ବିଷୟରେ

XKH ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଗ୍ଲାସ୍ ଏବଂ ନୂତନ ସ୍ଫଟିକ ସାମଗ୍ରୀର ଉଚ୍ଚ-ପ୍ରଯୁକ୍ତି ବିକାଶ, ଉତ୍ପାଦନ ଏବଂ ବିକ୍ରୟରେ ବିଶେଷଜ୍ଞ। ଆମର ଉତ୍ପାଦଗୁଡ଼ିକ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ସ, ଉପଭୋକ୍ତା ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ସ ଏବଂ ସାମରିକ ସେବା ପ୍ରଦାନ କରେ। ଆମେ ନୀଳମଣି ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଉପାଦାନ, ମୋବାଇଲ୍ ଫୋନ୍ ଲେନ୍ସ କଭର, ସେରାମିକ୍ସ, LT, ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ SIC, କ୍ୱାର୍ଟଜ୍ ଏବଂ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ସ୍ଫଟିକ ୱେଫର୍ସ ପ୍ରଦାନ କରୁ। ଦକ୍ଷ ବିଶେଷଜ୍ଞତା ଏବଂ ଅତ୍ୟାଧୁନିକ ଉପକରଣ ସହିତ, ଆମେ ଏକ ଅଗ୍ରଣୀ ଅପ୍ଟୋଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ସାମଗ୍ରୀ ଉଚ୍ଚ-ପ୍ରଯୁକ୍ତି ଉଦ୍ୟୋଗ ହେବା ଲକ୍ଷ୍ୟରେ ଅଣ-ମାନକ ଉତ୍ପାଦ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣରେ ଉତ୍କର୍ଷତା ହାସଲ କରୁ।