ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ (SiC) ୱେଫର ଡଙ୍ଗା
ବିସ୍ତୃତ ଚିତ୍ର
କ୍ୱାର୍ଟଜ୍ ଗ୍ଲାସର ସଂକ୍ଷିପ୍ତ ବିବରଣୀ
ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ (SiC) ୱେଫର ଡଙ୍ଗା ହେଉଛି ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା SiC ସାମଗ୍ରୀରେ ତିଆରି ଏକ ଅର୍ଦ୍ଧଚାଳକ ପ୍ରକ୍ରିୟା ବାହକ, ଯାହା ଏପିଟାକ୍ସି, ଅକ୍ସିଡେସନ, ପ୍ରସାରଣ ଏବଂ ଆନିଲିଂ ଭଳି ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ଉଚ୍ଚ-ତାପମାତ୍ରା ପ୍ରକ୍ରିୟା ସମୟରେ ୱେଫରଗୁଡ଼ିକୁ ଧରି ରଖିବା ଏବଂ ପରିବହନ କରିବା ପାଇଁ ଡିଜାଇନ୍ କରାଯାଇଛି।
ଶକ୍ତି ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଏବଂ ବିସ୍ତୃତ ବ୍ୟାଣ୍ଡଗ୍ୟାପ୍ ଡିଭାଇସଗୁଡ଼ିକର ଦ୍ରୁତ ବିକାଶ ସହିତ, ପାରମ୍ପରିକ କ୍ୱାର୍ଟଜ୍ ଡଙ୍ଗାଗୁଡ଼ିକ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରାରେ ବିକୃତି, ଗୁରୁତର କଣିକା ପ୍ରଦୂଷଣ ଏବଂ କମ୍ ସେବା ଜୀବନ ଭଳି ସୀମାବଦ୍ଧତାର ସମ୍ମୁଖୀନ ହୁଏ। ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ତାପଜ ସ୍ଥିରତା, କମ୍ ପ୍ରଦୂଷଣ ଏବଂ ବିସ୍ତାରିତ ଜୀବନକାଳ ବିଶିଷ୍ଟ SiC ୱେଫର ଡଙ୍ଗାଗୁଡ଼ିକ କ୍ରମଶଃ କ୍ୱାର୍ଟଜ୍ ଡଙ୍ଗାଗୁଡ଼ିକୁ ବଦଳାଇବାରେ ଲାଗିଛି ଏବଂ SiC ଡିଭାଇସ୍ ନିର୍ମାଣରେ ପସନ୍ଦିତ ପସନ୍ଦ ହେବାକୁ ଯାଉଛି।
ପ୍ରମୁଖ ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟଗୁଡ଼ିକ
1. ସାମଗ୍ରୀର ଲାଭ
-
ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା SiC ରୁ ନିର୍ମିତଉଚ୍ଚ କଠୋରତା ଏବଂ ଶକ୍ତି.
-
ତରଳାଇବା ପଏଣ୍ଟ ୨୭୦୦°C ଉପରେ, କ୍ୱାର୍ଟଜ୍ ଅପେକ୍ଷା ବହୁତ ଅଧିକ, ଯାହା ଅତ୍ୟନ୍ତ ପରିବେଶରେ ଦୀର୍ଘକାଳୀନ ସ୍ଥିରତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ।
2. ତାପଜ ଗୁଣ
-
ଦ୍ରୁତ ଏବଂ ସମାନ ତାପ ସ୍ଥାନାନ୍ତର ପାଇଁ ଉଚ୍ଚ ତାପଜ ପରିବାହୀତା, ୱେଫର ଚାପକୁ ହ୍ରାସ କରେ।
-
ତାପଜ ପ୍ରସାରଣ (CTE)ର ଗୁଣାଙ୍କ SiC ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ସହିତ ନିକଟତର ଭାବରେ ମେଳ ଖାଏ, ଯାହା ୱାଫର ବୋଇଂ ଏବଂ ଫାଟିବା ହ୍ରାସ କରେ।
3. ରାସାୟନିକ ସ୍ଥିରତା
-
ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ଏବଂ ବିଭିନ୍ନ ବାୟୁମଣ୍ଡଳ (H₂, N₂, Ar, NH₃, ଇତ୍ୟାଦି) ତଳେ ସ୍ଥିର।
-
ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଅକ୍ସିଡେସନ ପ୍ରତିରୋଧ, ପଚନ ଏବଂ କଣିକା ସୃଷ୍ଟିକୁ ରୋକିଥାଏ।
4. ପ୍ରକ୍ରିୟା କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା
-
ମସୃଣ ଏବଂ ଘନ ପୃଷ୍ଠ କଣିକା ଝଡ଼ ଏବଂ ପ୍ରଦୂଷଣ ହ୍ରାସ କରେ।
-
ଦୀର୍ଘକାଳୀନ ବ୍ୟବହାର ପରେ ଡାଇମେନ୍ସନାଲ ସ୍ଥିରତା ଏବଂ ଭାର କ୍ଷମତା ବଜାୟ ରଖେ।
5. ଖର୍ଚ୍ଚ ଦକ୍ଷତା
-
କ୍ୱାର୍ଟଜ୍ ଡଙ୍ଗା ଅପେକ୍ଷା 3-5 ଗୁଣ ଅଧିକ ସେବା ଜୀବନ।
-
ରକ୍ଷଣାବେକ୍ଷଣ ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସୀ କମ କରିବା, ଡାଉନଟାଇମ୍ ଏବଂ ବଦଳ ଖର୍ଚ୍ଚ ହ୍ରାସ କରିବା।
ଆପ୍ଲିକେସନ୍ଗୁଡ଼ିକ
-
SiC ଏପିଟାକ୍ସି: ଉଚ୍ଚ-ତାପମାନ ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ବୃଦ୍ଧି ସମୟରେ 4-ଇଞ୍ଚ, 6-ଇଞ୍ଚ, ଏବଂ 8-ଇଞ୍ଚ SiC ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ସମର୍ଥନ କରେ।
-
ପାୱାର ଡିଭାଇସ୍ ନିର୍ମାଣ: SiC MOSFETs, Schottky Barrier Diodes (SBDs), IGBTs, ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ଉପକରଣ ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ।
-
ଥର୍ମାଲ୍ ଚିକିତ୍ସା: ଆନିଲିଂ, ନାଇଟ୍ରାଇଡେସନ୍ ଏବଂ କାର୍ବନାଇଜେସନ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟା।
-
ଅକ୍ସିଡେସନ ଏବଂ ପ୍ରସାରଣ: ଉଚ୍ଚ-ତାପମାନ ଅକ୍ସିଡେସନ ଏବଂ ପ୍ରସାରଣ ପାଇଁ ସ୍ଥିର ୱେଫର ସମର୍ଥନ ପ୍ଲାଟଫର୍ମ।
ଟେକନିକାଲ୍ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟକରଣ
| ଆଇଟମ୍ | ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟକରଣ |
|---|---|
| ସାମଗ୍ରୀ | ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ (SiC) |
| ୱେଫର ଆକାର | ୪-ଇଞ୍ଚ / ୬-ଇଞ୍ଚ / ୮-ଇଞ୍ଚ (କଷ୍ଟମାଇଜେବଲ୍) |
| ସର୍ବାଧିକ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ତାପମାତ୍ରା। | ≤ ୧୮୦୦°C |
| ଥର୍ମାଲ୍ ଏକ୍ସପାନ୍ସନ୍ CTE | ୪.୨ × ୧୦⁻⁶ /K (SiC ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ନିକଟରେ) |
| ତାପଜ ପରିବାହିତା | ୧୨୦–୨୦୦ ୱାଟ୍/ମି·କେଲିଟାର୍ |
| ପୃଷ୍ଠର ରୁକ୍ଷତା | ରା < ୦.୨ μମି |
| ସମାନ୍ତରାଳତା | ±0.1 ମିମି |
| ସେବା ଜୀବନ | କ୍ୱାର୍ଟଜ୍ ଡଙ୍ଗା ଅପେକ୍ଷା ≥ 3× ଲମ୍ବା |
ତୁଳନା: କ୍ୱାର୍ଟଜ୍ ଡଙ୍ଗା ବନାମ SiC ଡଙ୍ଗା
| ପରିସର | କ୍ୱାର୍ଟଜ୍ ଡଙ୍ଗା | SiC ଡଙ୍ଗା |
|---|---|---|
| ତାପମାତ୍ରା ପ୍ରତିରୋଧ | ≤ ୧୨୦୦°C, ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରାରେ ବିକୃତି। | ≤ ୧୮୦୦°C, ତାପଜ ଭାବରେ ସ୍ଥିର |
| SiC ସହିତ CTE ମ୍ୟାଚ୍ | ବଡ଼ ଅସଙ୍ଗତି, ୱେଫର ଚାପର ଆଶଙ୍କା | ମେଳ ବନ୍ଦ କରେ, ୱେଫର ଫାଟିବା ହ୍ରାସ କରେ |
| କଣିକା ପ୍ରଦୂଷଣ | ଅଧିକ, ଅଶୁଦ୍ଧତା ସୃଷ୍ଟି କରେ | ନିମ୍ନ, ମସୃଣ ଏବଂ ଘନ ପୃଷ୍ଠ |
| ସେବା ଜୀବନ | ଛୋଟ, ବାରମ୍ବାର ବଦଳାଯିବା | ଲମ୍ବା, 3-5× ଅଧିକ ଜୀବନକାଳ |
| ଉପଯୁକ୍ତ ପ୍ରକ୍ରିୟା | ପାରମ୍ପରିକ Si ଏପିଟାକ୍ସି | SiC ଏପିଟାକ୍ସି ଏବଂ ପାୱାର ଡିଭାଇସ୍ ପାଇଁ ଅପ୍ଟିମାଇଜ୍ କରାଯାଇଛି |
FAQ – ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ (SiC) ୱେଫର ଡଙ୍ଗା
୧. ଏକ SiC ୱାଫର ଡଙ୍ଗା କ'ଣ?
ଏକ SiC ୱାଫର ଡଙ୍ଗା ହେଉଛି ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡରେ ତିଆରି ଏକ ଅର୍ଦ୍ଧଚାଳକ ପ୍ରକ୍ରିୟା ବାହକ। ଏହା ଏପିଟାକ୍ସି, ଅକ୍ସିଡେସନ, ପ୍ରସାରଣ ଏବଂ ଆନିଲିଂ ଭଳି ଉଚ୍ଚ-ତାପମାନ ପ୍ରକ୍ରିୟା ସମୟରେ ୱାଫରଗୁଡ଼ିକୁ ଧରି ରଖିବା ଏବଂ ପରିବହନ କରିବା ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ। ପାରମ୍ପରିକ କ୍ୱାର୍ଟଜ୍ ଡଙ୍ଗା ତୁଳନାରେ, SiC ୱାଫର ଡଙ୍ଗାଗୁଡ଼ିକ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ତାପଜ ସ୍ଥିରତା, କମ୍ ପ୍ରଦୂଷଣ ଏବଂ ଦୀର୍ଘ ସେବା ଜୀବନ ପ୍ରଦାନ କରେ।
2. କ୍ୱାର୍ଟଜ୍ ଡଙ୍ଗା ବଦଳରେ SiC ୱେଫର ଡଙ୍ଗା କାହିଁକି ବାଛିବେ?
-
ଅଧିକ ତାପମାତ୍ରା ପ୍ରତିରୋଧକତା: କ୍ୱାର୍ଟଜ୍ (≤1200°C) ବନାମ 1800°C ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ସ୍ଥିର।
-
ଉନ୍ନତ CTE ମେଳ: SiC ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ନିକଟରେ, ୱାଫର ଚାପ ଏବଂ ଫାଟକୁ କମ କରିଥାଏ।
-
କଣିକା ସୃଷ୍ଟି କମ୍: ମସୃଣ, ଘନ ପୃଷ୍ଠ ପ୍ରଦୂଷଣ ହ୍ରାସ କରେ।
-
ଦୀର୍ଘ ଜୀବନକାଳ: କ୍ୱାର୍ଟଜ୍ ଡଙ୍ଗା ଅପେକ୍ଷା 3-5 ଗୁଣ ଲମ୍ବା, ମାଲିକାନା ମୂଲ୍ୟ ହ୍ରାସ କରେ।
3. SiC ୱାଫର ଡଙ୍ଗାଗୁଡ଼ିକ କେଉଁ ଆକାରର ୱାଫରକୁ ସମର୍ଥନ କରିପାରିବ?
ଆମେ ଏଥିପାଇଁ ମାନକ ଡିଜାଇନ୍ ପ୍ରଦାନ କରୁ୪-ଇଞ୍ଚ, ୬-ଇଞ୍ଚ, ଏବଂ ୮-ଇଞ୍ଚଗ୍ରାହକଙ୍କ ଆବଶ୍ୟକତା ପୂରଣ କରିବା ପାଇଁ ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ କଷ୍ଟମାଇଜେସନ ସହିତ ୱେଫର୍ସ ଉପଲବ୍ଧ।
୪. କେଉଁ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ SiC ୱାଫର ଡଙ୍ଗା ସାଧାରଣତଃ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ?
-
SiC ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ବୃଦ୍ଧି
-
ଶକ୍ତି ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉପକରଣ ନିର୍ମାଣ (SiC MOSFETs, SBDs, IGBTs)
-
ଉଚ୍ଚ-ତାପମାନ ଆନିଲିଂ, ନାଇଟ୍ରିଡେସନ୍ ଏବଂ କାର୍ବନୀକରଣ
-
ଅକ୍ସିଡେସନ ଏବଂ ପ୍ରସାରଣ ପ୍ରକ୍ରିୟା
ଆମ ବିଷୟରେ
XKH ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଗ୍ଲାସ୍ ଏବଂ ନୂତନ ସ୍ଫଟିକ ସାମଗ୍ରୀର ଉଚ୍ଚ-ପ୍ରଯୁକ୍ତି ବିକାଶ, ଉତ୍ପାଦନ ଏବଂ ବିକ୍ରୟରେ ବିଶେଷଜ୍ଞ। ଆମର ଉତ୍ପାଦଗୁଡ଼ିକ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ସ, ଉପଭୋକ୍ତା ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ସ ଏବଂ ସାମରିକ ସେବା ପ୍ରଦାନ କରେ। ଆମେ ନୀଳମଣି ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଉପାଦାନ, ମୋବାଇଲ୍ ଫୋନ୍ ଲେନ୍ସ କଭର, ସେରାମିକ୍ସ, LT, ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ SIC, କ୍ୱାର୍ଟଜ୍ ଏବଂ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ସ୍ଫଟିକ ୱେଫର୍ସ ପ୍ରଦାନ କରୁ। ଦକ୍ଷ ବିଶେଷଜ୍ଞତା ଏବଂ ଅତ୍ୟାଧୁନିକ ଉପକରଣ ସହିତ, ଆମେ ଏକ ଅଗ୍ରଣୀ ଅପ୍ଟୋଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ସାମଗ୍ରୀ ଉଚ୍ଚ-ପ୍ରଯୁକ୍ତି ଉଦ୍ୟୋଗ ହେବା ଲକ୍ଷ୍ୟରେ ଅଣ-ମାନକ ଉତ୍ପାଦ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣରେ ଉତ୍କର୍ଷତା ହାସଲ କରୁ।










