MOS କିମ୍ବା SBD ଉତ୍ପାଦନ ଗବେଷଣା ଏବଂ ଡମି ଗ୍ରେଡ୍ ପାଇଁ 6 ଇଞ୍ଚ 150mm ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ SiC ୱେଫର୍ସ 4H-N ପ୍ରକାର
ପ୍ରୟୋଗ କ୍ଷେତ୍ରଗୁଡ଼ିକ
6-ଇଞ୍ଚ ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ସିଙ୍ଗଲ୍ ସ୍ଫଟିକ୍ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ବହୁବିଧ ଶିଳ୍ପରେ ଏକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ଭୂମିକା ଗ୍ରହଣ କରେ। ପ୍ରଥମତଃ, ଏହା ପାୱାର ଟ୍ରାଞ୍ଜିଷ୍ଟର, ସମନ୍ୱିତ ସର୍କିଟ୍ ଏବଂ ପାୱାର ମଡ୍ୟୁଲ୍ ଭଳି ଉଚ୍ଚ-ଶକ୍ତି ବିଶିଷ୍ଟ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକର ନିର୍ମାଣ ପାଇଁ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଶିଳ୍ପରେ ବ୍ୟାପକ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ। ଏହାର ଉଚ୍ଚ ତାପଜ ପରିବାହୀତା ଏବଂ ଉଚ୍ଚ-ତାପମାନ ପ୍ରତିରୋଧ ଉତ୍ତମ ତାପ ଅପଚୟକୁ ସକ୍ଷମ କରିଥାଏ, ଯାହା ଫଳରେ ଉନ୍ନତ ଦକ୍ଷତା ଏବଂ ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟତା ସୃଷ୍ଟି ହୁଏ। ଦ୍ୱିତୀୟତଃ, ନୂତନ ସାମଗ୍ରୀ ଏବଂ ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକର ବିକାଶ ପାଇଁ ଗବେଷଣା କ୍ଷେତ୍ରରେ ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ୱେଫର୍ ଅତ୍ୟାବଶ୍ୟକ। ଏହା ସହିତ, ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ୱେଫର୍ ଅପ୍ଟୋଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ସ କ୍ଷେତ୍ରରେ ବ୍ୟାପକ ପ୍ରୟୋଗ ପାଇଥାଏ, ଯେଉଁଥିରେ LED ଏବଂ ଲେଜର ଡାୟୋଡ୍ ଉତ୍ପାଦନ ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ।
ଉତ୍ପାଦ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟକରଣ
6-ଇଞ୍ଚ ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ସିଙ୍ଗଲ୍ ସ୍ଫଟିକ୍ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ର ବ୍ୟାସ 6 ଇଞ୍ଚ (ପ୍ରାୟ 152.4 ମିମି)। ପୃଷ୍ଠର ରୁକ୍ଷତା Ra < 0.5 nm, ଏବଂ ଘନତା 600 ± 25 μm। ଗ୍ରାହକଙ୍କ ଆବଶ୍ୟକତା ଉପରେ ଆଧାର କରି ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍କୁ N-ଟାଇପ୍ କିମ୍ବା P-ଟାଇପ୍ ପରିବାହୀତା ସହିତ କଷ୍ଟମାଇଜ୍ କରାଯାଇପାରିବ। ଅଧିକନ୍ତୁ, ଏହା ଚାପ ଏବଂ କମ୍ପନ ସହ୍ୟ କରିବାରେ ସକ୍ଷମ, ଅସାଧାରଣ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ସ୍ଥିରତା ପ୍ରଦର୍ଶନ କରେ।
| ବ୍ୟାସ | ୧୫୦±୨.୦ମିମି (୬ଇଞ୍ଚ) | ||||
| ଘନତା | ୩୫୦ μମି±୨୫ μମି | ||||
| ଦିଗନିର୍ଦ୍ଦେଶନ | ଅକ୍ଷ ଉପରେ: <0001>±0.5° | ଅକ୍ଷ ବାହାରେ: ୧୧୨୦±୦.୫° ଆଡକୁ ୪.୦° | |||
| ପଲିଟାଇପ୍ | 4H | ||||
| ପ୍ରତିରୋଧକତା (Ω·ସେମି) | 4ଘ-ଉ | 0.015 ~ 0.028 Ω · cm / 0.015 ~ 0.025ohm · cm | |||
| ୪/୬ଘଣ୍ଟା-SI | >୧E୫ | ||||
| ପ୍ରାଥମିକ ସମତଳ ଦିଗନିର୍ଦ୍ଦେଶ | {10-10}±5.0° | ||||
| ପ୍ରାଥମିକ ଫ୍ଲାଟ ଲମ୍ବ (ମିମି) | ୪୭.୫ ମିମି±୨.୫ ମିମି | ||||
| ଧାର | ଚାମ୍ଫର | ||||
| ଟିଟିଭି/ଧନୁ /ୱାର୍ପ (ଉମ) | ≤୧୫ /≤୪୦ /≤୬୦ | ||||
| AFM ସମ୍ମୁଖ (Si-ଫେସ୍) | ପୋଲିଶ୍ Ra≤1 nm | ||||
| CMP Ra≤0.5 nm | |||||
| ଏଲଟିଭି | ≤3μm(୧୦ମିମି*୧୦ମିମି) | ≤5μm(୧୦ମିମି*୧୦ମିମି) | ≤୧୦μମି(୧୦ମିମି*୧୦ମିମି) | ||
| ଟିଟିଭି | ≤5μm | ≤୧୦μମି | ≤୧୫μମି | ||
| କମଳା ଚୋପା/ଖାଦ/ଫାଟ/ସଂକ୍ରମଣ/ଦାଗ/ଦାଗ | କିଛି ନୁହେଁ | କିଛି ନୁହେଁ | କିଛି ନୁହେଁ | ||
| ଇଣ୍ଡେଣ୍ଟଗୁଡ଼ିକ | କିଛି ନୁହେଁ | କିଛି ନୁହେଁ | କିଛି ନୁହେଁ | ||
6-ଇଞ୍ଚ ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ସିଙ୍ଗଲ୍ ସ୍ଫଟିକ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଏକ ଉଚ୍ଚ-କ୍ଷମତା ସମ୍ପନ୍ନ ସାମଗ୍ରୀ ଯାହା ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ, ଗବେଷଣା ଏବଂ ଅପ୍ଟୋଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ସ ଶିଳ୍ପରେ ବ୍ୟାପକ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ। ଏହା ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ତାପଜ ପରିବାହିତା, ଯାନ୍ତ୍ରିକ ସ୍ଥିରତା ଏବଂ ଉଚ୍ଚ-ତାପମାନ ପ୍ରତିରୋଧ ପ୍ରଦାନ କରେ, ଯାହା ଏହାକୁ ଉଚ୍ଚ-ଶକ୍ତି ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ଡିଭାଇସ୍ ନିର୍ମାଣ ଏବଂ ନୂତନ ସାମଗ୍ରୀ ଗବେଷଣା ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ କରିଥାଏ। ବିଭିନ୍ନ ଗ୍ରାହକଙ୍କ ଚାହିଦା ପୂରଣ କରିବା ପାଇଁ ଆମେ ବିଭିନ୍ନ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟକରଣ ଏବଂ କଷ୍ଟମାଇଜେସନ୍ ବିକଳ୍ପ ପ୍ରଦାନ କରୁ।ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ୱେଫର୍ ବିଷୟରେ ଅଧିକ ବିବରଣୀ ପାଇଁ ଆମ ସହିତ ଯୋଗାଯୋଗ କରନ୍ତୁ!
ବିସ୍ତୃତ ଚିତ୍ର
