ସିଲିକନ୍ ଡାଇଅକ୍ସାଇଡ୍ ୱେଫର୍ SiO2 ୱେଫର୍ ମୋଟା ପଲିସିଡ୍, ପ୍ରାଇମ୍ ଏବଂ ଟେଷ୍ଟ ଗ୍ରେଡ୍ |

ସିଲିକନ୍ ଅକ୍ସାଇଡ୍ ୱାଫର୍ ହେଉଛି ସିଲିକନ୍ ଡାଇଅକ୍ସାଇଡ୍ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ଯାହା ବାୟୁମଣ୍ଡଳୀୟ ଚାପ ଫର୍ଣ୍ଣେସ୍ ଟ୍ୟୁବ୍ ଉପକରଣ ସହିତ ତାପଜ ଅକ୍ସିଡେସନ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟା ବ୍ୟବହାର କରି ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରାରେ (800 ° C ~ 1150 ° C) ଅମ୍ଳଜାନ କିମ୍ବା ଜଳୀୟ ବାଷ୍ପ ମାଧ୍ୟମରେ ସିଲିକନ୍ ୱାଫର୍ ପୃଷ୍ଠରେ ବ grown ିଥାଏ |ପ୍ରକ୍ରିୟାର ଘନତା 50 ନାନୋମିଟରରୁ 2 ମାଇକ୍ରନ୍ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ, ପ୍ରକ୍ରିୟାର ତାପମାତ୍ରା 1100 ଡିଗ୍ରୀ ସେଲସିୟସ୍ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ, ଅଭିବୃଦ୍ଧି ପଦ୍ଧତିକୁ "ଓଦା ଅମ୍ଳଜାନ" ଏବଂ "ଶୁଖିଲା ଅମ୍ଳଜାନ" ରେ ବିଭକ୍ତ କରାଯାଇଛି |ଥର୍ମାଲ୍ ଅକ୍ସାଇଡ୍ ହେଉଛି ଏକ "ବ grown ଼ିଥିବା" ଅକ୍ସାଇଡ୍ ସ୍ତର, ଯାହାର ଅଧିକ ସମାନତା, ଉନ୍ନତ ଘନତା ଏବଂ CVD ଜମା ହୋଇଥିବା ଅକ୍ସାଇଡ୍ ସ୍ତର ଅପେକ୍ଷା ଅଧିକ ଡାଇଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ ଶକ୍ତି ଅଛି, ଫଳସ୍ୱରୂପ ଉନ୍ନତ ମାନର |

ଶୁଖିଲା ଅମ୍ଳଜାନ ଅକ୍ସିଡେସନ୍ |

ସିଲିକନ୍ ଅମ୍ଳଜାନ ସହିତ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା କରେ ଏବଂ ଅକ୍ସାଇଡ୍ ସ୍ତର କ୍ରମାଗତ ଭାବରେ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ସ୍ତର ଆଡକୁ ଗତି କରେ |କମ୍ ଅଭିବୃଦ୍ଧି ହାର ସହିତ 850 ରୁ 1200 ° C ତାପମାତ୍ରାରେ ଶୁଖିଲା ଅକ୍ସିଡେସନ୍ କରାଯିବା ଆବଶ୍ୟକ, ଏବଂ MOS ଇନସୁଲେଟେଡ୍ ଗେଟ୍ ଅଭିବୃଦ୍ଧି ପାଇଁ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଇପାରିବ |ଏକ ଉଚ୍ଚ ଗୁଣବତ୍ତା, ଅଲ୍ଟ୍ରା-ପତଳା ସିଲିକନ୍ ଅକ୍ସାଇଡ୍ ସ୍ତର ଆବଶ୍ୟକ ହେଲେ ଓଦା ଅକ୍ସିଡେସନ୍ ଅପେକ୍ଷା ଶୁଖିଲା ଅକ୍ସିଡେସନ୍ ପସନ୍ଦ କରାଯାଏ |ଶୁଖିଲା ଅକ୍ସିଡେସନ୍ କ୍ଷମତା: 15nm ~ 300nm |

2. ଓଦା ଅକ୍ସିଡେସନ୍ |

ଏହି ପଦ୍ଧତି ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ଅବସ୍ଥାରେ ଫର୍ଣ୍ଣେସ୍ ଟ୍ୟୁବ୍ ପ୍ରବେଶ କରି ଏକ ଅକ୍ସାଇଡ୍ ସ୍ତର ସୃଷ୍ଟି କରିବାକୁ ଜଳୀୟ ବାଷ୍ପ ବ୍ୟବହାର କରେ |ଓଦା ଅମ୍ଳଜାନ ଅକ୍ସିଡେସନର ଘନତା ଶୁଖିଲା ଅମ୍ଳଜାନ ଅକ୍ସିଡେସନ ଅପେକ୍ଷା ଟିକେ ଖରାପ, କିନ୍ତୁ ଶୁଖିଲା ଅମ୍ଳଜାନ ଅକ୍ସିଡେସନ ତୁଳନାରେ ଏହାର ସୁବିଧା ହେଉଛି ଏହାର ଉଚ୍ଚ ଅଭିବୃଦ୍ଧି ହାର ଅଛି, 500nm ରୁ ଅଧିକ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ଅଭିବୃଦ୍ଧି ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ |ଓଦା ଅକ୍ସିଡେସନ୍ କ୍ଷମତା: 500nm ~ 2µm |

AEMD ର ବାୟୁମଣ୍ଡଳୀୟ ଚାପ ଅକ୍ସିଡେସନ୍ ଫର୍ଣ୍ଣେସ୍ ଟ୍ୟୁବ୍ ହେଉଛି ଏକ ଚେକ୍ ଭୂସମାନ୍ତର ଫର୍ଣ୍ଣେସ୍ ଟ୍ୟୁବ୍, ଯାହା ଉଚ୍ଚ ପ୍ରକ୍ରିୟା ସ୍ଥିରତା, ଭଲ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ସମାନତା ଏବଂ ଉନ୍ନତ କଣିକା ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ଦ୍ୱାରା ବର୍ଣ୍ଣିତ |ସିଲିକନ୍ ଅକ୍ସାଇଡ୍ ଫର୍ଣ୍ଣେସ୍ ଟ୍ୟୁବ୍ ପ୍ରତି ଟ୍ୟୁବ୍ ପ୍ରତି 50 ୱାଫର୍ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ କରିପାରିବ, ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଆନ୍ତ a- ଏବଂ ୱାଫର୍ ସମାନତା ସହିତ |