ନୀଳମଣି ଉପରେ 100mm 4inch GaN ଏପି-ସ୍ତର ୱାଫର ଗାଲିୟମ୍ ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍ ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ୱାଫର
GaN ନୀଳ LED କ୍ୱାଣ୍ଟମ୍ କୂପର ଗଠନର ବୃଦ୍ଧି ପ୍ରକ୍ରିୟା। ବିସ୍ତୃତ ପ୍ରକ୍ରିୟା ପ୍ରବାହ ନିମ୍ନଲିଖିତ ଅଟେ।
(୧) ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରାରେ ବେକିଂ, ନୀଳମଣି ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପ୍ରଥମେ ହାଇଡ୍ରୋଜେନ୍ ବାୟୁମଣ୍ଡଳରେ ୧୦୫୦ ℃ ରେ ଗରମ କରାଯାଏ, ଉଦ୍ଦେଶ୍ୟ ହେଉଛି ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପୃଷ୍ଠକୁ ସଫା କରିବା;
(2) ଯେତେବେଳେ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ତାପମାତ୍ରା 510℃ କୁ ଖସିଯାଏ, ନୀଳମଣି ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପୃଷ୍ଠରେ 30nm ଘନତା ସହିତ ଏକ ନିମ୍ନ-ତାପମାନର GaN/AlN ବଫର ସ୍ତର ଜମା ହୁଏ;
(୩) ତାପମାତ୍ରା ୧୦ ℃ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ବୃଦ୍ଧି ପାଇଲେ, ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଗ୍ୟାସ ଆମୋନିଆ, ଟ୍ରାଇମିଥାଇଲଗାଲିୟମ୍ ଏବଂ ସିଲେନ୍ ଇଞ୍ଜେକ୍ସନ କରାଯାଏ, ଯଥାକ୍ରମେ ଅନୁରୂପ ପ୍ରବାହ ହାରକୁ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରାଯାଏ, ଏବଂ 4um ଘନତାର ସିଲିକନ୍-ଡୋପ୍ଡ୍ N-ପ୍ରକାର GaN ବୃଦ୍ଧି କରାଯାଏ;
(୪) ୦.୧୫um ଘନତା ସହିତ ସିଲିକନ୍-ଡୋପ୍ଡ୍ N-ଟାଇପ୍ A⒑ ମହାଦେଶ ପ୍ରସ୍ତୁତ କରିବା ପାଇଁ ଟ୍ରାଇମିଥାଇଲ୍ ଆଲୁମିନିୟମ୍ ଏବଂ ଟ୍ରାଇମିଥାଇଲ୍ ଗାଲିୟମ୍ ର ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଗ୍ୟାସ୍ ବ୍ୟବହୃତ ହୋଇଥିଲା;
(5) 50nm Zn-ଡୋପ୍ଡ InGaN 8O0℃ ତାପମାତ୍ରାରେ ଟ୍ରାଇମିଥାଇଲଗାଲିୟମ୍, ଟ୍ରାଇମିଥାଇଲିଣ୍ଡିମ୍, ଡାଇଇଥାଇଲଜିଙ୍କ୍ ଏବଂ ଆମୋନିଆ ଇଞ୍ଜେକ୍ସନ କରି ଏବଂ ବିଭିନ୍ନ ପ୍ରବାହ ହାରକୁ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରି ପ୍ରସ୍ତୁତ କରାଯାଇଥିଲା;
(6) ତାପମାତ୍ରାକୁ 1020℃ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ବୃଦ୍ଧି କରାଯାଇଥିଲା, 0.15um Mg ଡୋପେଡ୍ P-ଟାଇପ୍ AlGaN ଏବଂ 0.5um Mg ଡୋପେଡ୍ P-ଟାଇପ୍ G ରକ୍ତ ଶର୍କରା ପ୍ରସ୍ତୁତ କରିବା ପାଇଁ ଟ୍ରାଇମିଥାଇଲାଲୁମିନିୟମ୍, ଟ୍ରାଇମିଥାଇଲାଲିୟମ୍ ଏବଂ ବିସ୍ (ସାଇକ୍ଲୋପେଣ୍ଟାଡାଇନିଲ୍) ମ୍ୟାଗ୍ନେସିୟମ୍ ଇଞ୍ଜେକ୍ସନ୍ କରାଯାଇଥିଲା;
(୭) ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ବାୟୁମଣ୍ଡଳରେ 700℃ ତାପମାତ୍ରାରେ ଆନିଲିଂ କରି ଉଚ୍ଚମାନର P-ଟାଇପ୍ GaN ସିବୁୟାନ୍ ଫିଲ୍ମ ପ୍ରାପ୍ତ କରାଯାଇଥିଲା;
(୮) N-ଟାଇପ୍ G ଷ୍ଟାସିସ୍ ପୃଷ୍ଠକୁ ପ୍ରକାଶ କରିବା ପାଇଁ P-ଟାଇପ୍ G ଷ୍ଟାସିସ୍ ପୃଷ୍ଠରେ ଖୋଦନ;
(9) p-GaNI ପୃଷ୍ଠରେ Ni/Au ସମ୍ପର୍କ ପ୍ଲେଟର ବାଷ୍ପୀଭବନ, ll-GaN ପୃଷ୍ଠରେ △/Al ସମ୍ପର୍କ ପ୍ଲେଟର ବାଷ୍ପୀଭବନ ହୋଇ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଡ୍ ଗଠନ।
ବିଶେଷତାଗୁଡ଼ିକ
| ଆଇଟମ୍ | GaN-TCU-C100 | GaN-TCN-C100 |
| ପରିମେୟ ପରିସର | e 100 ମିମି ± 0.1 ମିମି | |
| ଘନତା | ୪.୫±୦.୫ um କଷ୍ଟମାଇଜ କରାଯାଇପାରିବ | |
| ଦିଗନିର୍ଦ୍ଦେଶନ | ସି-ପ୍ଲେନ୍ (୦୦୦୧) ±୦.୫° | |
| ପରିବହନ ପ୍ରକାର | N-ଟାଇପ୍ (ଅନଡୋପ୍ ହୋଇଛି) | N-ଟାଇପ୍ (Si-ଡୋପେଡ୍) |
| ପ୍ରତିରୋଧକତା (300K) | < ୦.୫ ପ୍ରାଇନ୍ ସେମି | < ୦.୦୫ ପ୍ର・ସେମି |
| ବାହକ ଏକାଗ୍ରତା | < 5x1017ସେମି-3 | > ୧x୧୦18ସେମି-3 |
| ଗତିଶୀଳତା | ~ 300 ସେମି2/ବଦ୍ରୁତ | ~ ୨୦୦ ସେମି2/ବଦ୍ରୁତ |
| ସ୍ଥାନଚ୍ୟୁତି ଘନତା | 5x10 ରୁ କମ୍8ସେମି-2(XRD ର FWHM ଦ୍ୱାରା ଗଣନା କରାଯାଇଛି) | |
| ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଗଠନ | ନୀଳମଣି ଉପରେ GaN (ମାନକ: SSP ବିକଳ୍ପ: DSP) | |
| ବ୍ୟବହାରଯୋଗ୍ୟ ପୃଷ୍ଠକ୍ଷେତ୍ର | > ୯୦% | |
| ପ୍ୟାକେଜ୍ | ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ବାୟୁମଣ୍ଡଳରେ, 25 ପିସି କିମ୍ବା ସିଙ୍ଗଲ୍ ୱାଫର କଣ୍ଟେନରର କ୍ୟାସେଟରେ 100 ଶ୍ରେଣୀର ସଫା କୋଠରୀ ପରିବେଶରେ ପ୍ୟାକେଜ୍ କରାଯାଇଛି। | |
ବିସ୍ତୃତ ଚିତ୍ର
