ନୀଳମଣି ଏପି-ଲେୟାର ୱେଫର୍ ଗାଲିୟମ୍ ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍ ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ୱେଫର୍ ଉପରେ 100 ମିମି 4inch GaN |
GaN ନୀଳ ଏଲଇଡି କ୍ୱାଣ୍ଟମ୍ ଭଲ ଗଠନର ଅଭିବୃଦ୍ଧି ପ୍ରକ୍ରିୟା |ବିସ୍ତୃତ ପ୍ରକ୍ରିୟା ପ୍ରବାହ ନିମ୍ନଲିଖିତ ଅଟେ |
(1) ହାଇଡ୍ରୋଜେନ୍ ବାତାବରଣରେ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ବେକିଂ, ନୀଳମଣି ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପ୍ରଥମେ 1050 to ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ଗରମ କରାଯାଏ, ଉଦ୍ଦେଶ୍ୟ ହେଉଛି ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପୃଷ୍ଠକୁ ସଫା କରିବା;
(୨) ଯେତେବେଳେ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ତାପମାତ୍ରା 510 drops କୁ ଖସିଯାଏ, 30nm ମୋଟା ଥିବା ଏକ ନିମ୍ନ ତାପମାତ୍ରା GaN / AlN ବଫର୍ ସ୍ତର ନୀଳମଣି ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପୃଷ୍ଠରେ ଜମା ହୁଏ |
)
(4) ଟ୍ରାଇମେଥାଇଲ୍ ଆଲୁମିନିୟମ୍ ଏବଂ ଟ୍ରାଇମେଥାଇଲ୍ ଗାଲିୟମ୍ ର ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଗ୍ୟାସ୍ 0.15um ମୋଟା ସହିତ ସିଲିକନ୍-ଡୋପଡ୍ N- ପ୍ରକାର A⒑ ମାଳଦ୍ୱୀପ ପ୍ରସ୍ତୁତ କରିବାକୁ ବ୍ୟବହୃତ ହୋଇଥିଲା |
5
6
()) ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ବାତାବରଣରେ 700 at ରେ ଆନ୍ନାଲିଙ୍ଗ୍ ଦ୍ୱାରା ଉଚ୍ଚମାନର P- ପ୍ରକାର GaN ସିବୁୟାନ୍ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ପ୍ରାପ୍ତ ହେଲା |
(8) N- ପ୍ରକାର G ଷ୍ଟାସିସ୍ ପୃଷ୍ଠକୁ ପ୍ରକାଶ କରିବାକୁ P- ପ୍ରକାର G ଷ୍ଟାସିସ୍ ପୃଷ୍ଠରେ ଏଚିଂ;
(9) p-GaNI ପୃଷ୍ଠରେ Ni / Au କଣ୍ଟାକ୍ଟ ପ୍ଲେଟଗୁଡିକର ବାଷ୍ପୀକରଣ, ll-GaN ପୃଷ୍ଠରେ △ / ଅଲ କଣ୍ଟାକ୍ଟ ପ୍ଲେଟଗୁଡିକର ବାଷ୍ପୀକରଣ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଡ୍ ଗଠନ କରିବା |
ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟକରଣ
| ଆଇଟମ୍ | | GaN-TCU-C100 | | GaN-TCN-C100 | |
| ପରିମାପ | e 100 mm ± 0.1 mm | |
| ମୋଟା | | 4.5 ± 0.5 um କଷ୍ଟମାଇଜ୍ ହୋଇପାରିବ | | |
| ଓରିଏଣ୍ଟେସନ୍ | ସି-ବିମାନ (0001) ± 0.5 ° | | |
| ଚାଳନା ପ୍ରକାର | | N- ପ୍ରକାର (Undoped) | N- ପ୍ରକାର (ସି-ଡୋପଡ୍) |
| ପ୍ରତିରୋଧକତା (300K) | <0.5 Q ・ ସେମି | | <0.05 Q ・ ସେମି | |
| ବାହକ ଏକାଗ୍ରତା | | <5x1017ସେ। ମି-3 | > 1x1018ସେ। ମି-3 |
| ଗତିଶୀଳତା | | ~ 300 ସେମି |2/ ଭି | ~ 200 ସେମି |2/ ଭି |
| ସ୍ଥାନାନ୍ତର ଘନତା | | 5x10 ରୁ କମ୍8ସେ। ମି-2(XRD ର FWHM ଦ୍ୱାରା ଗଣିତ) | |
| ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଗଠନ | | ନୀଳମଣି ଉପରେ GaN (ମାନକ: SSP ବିକଳ୍ପ: DSP) | |
| ବ୍ୟବହାର ଯୋଗ୍ୟ ପୃଷ୍ଠଭୂମି | | > 90% | | |
| ପ୍ୟାକେଜ୍ | ଏକ ଶ୍ରେଣୀ 100 ପରିଷ୍କାର କୋଠରୀ ପରିବେଶରେ, 25pcs କ୍ୟାସେଟ୍ କିମ୍ବା ଏକକ ୱାଫର୍ ପାତ୍ରରେ, ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ବାତାବରଣରେ ପ୍ୟାକେଜ୍ | | |
ବିସ୍ତୃତ ଚିତ୍ର
